【技术实现步骤摘要】
本技术属于打磨设备领域，具体涉及一种靶材打磨用的平面磨床。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板在生产完成后、溅射镀膜前，需要进行打磨抛光处理，由于基板为脆性材质，在打磨时散热量大，并且基板体量较小，在采用传统磨床时难以打磨，导致基板生产成本很高。
技术实现思路
本技术为了解决上述现有技术中存在的问题，本技术提供了一种靶材打磨用的平面磨床，能够方便基板固定，便于基板散热，保证基板的打磨质量。本技术采用的具体技术方案是：一种靶材打磨用的平面磨床，包括床身、工作台、砂轮，工作台与床身形成滑动配合，砂轮设置在工作台上方，砂轮轴线沿水平方向设置，所述的工作台上端面增设有基板安装盘，基板安装盘包括矩形结构的盘身、盘身上套装设置有固定螺栓，盘身借助固定螺栓与工作台形成固定连接，盘身上端面矩阵式排列有多个橡胶吸盘，每列橡胶吸盘借助连通管相互连通，连通管连接有抽气机。所述的固定螺栓下端呈圆锥形结构，固定螺栓借助于固定帽安装在盘身上，固定帽外侧固定设置有手轮。所述的盘身上端面设置有喷淋口，喷淋口数量与连通管数量相同。所述的盘身呈槽体结构，所述的橡胶吸盘设置在盘身的槽体结构内。所述的盘身槽体深度为35-50mm。本技术的有益效果是：本技术，采用吸盘进行基板的安装固定，极大方便基板的安装，并...
【技术保护点】
一种靶材打磨用的平面磨床，包括床身(1)、工作台(2)、砂轮(3)，工作台(2)与床身(1)形成滑动配合，砂轮(3)设置在工作台(2)上方，砂轮(3)轴线沿水平方向设置，其特征在于：所述的工作台(2)上端面增设有基板安装盘，基板安装盘包括矩形结构的盘身(4)、盘身(4)上套装设置有固定螺栓(5)，盘身(4)借助固定螺栓(5)与工作台(2)形成固定连接，盘身(4)上端面矩阵式排列有多个橡胶吸盘(6)，每列橡胶吸盘(6)借助连通管(7)相互连通，连通管(7)连接有抽气机。
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种靶材打磨用的平面磨床，包括床身(1)、工作台(2)、砂轮(3)，
工作台(2)与床身(1)形成滑动配合，砂轮(3)设置在工作台(2)上
方，砂轮(3)轴线沿水平方向设置，其特征在于：所述的工作台(2)上
端面增设有基板安装盘，基板安装盘包括矩形结构的盘身(4)、盘身(4)
上套装设置有固定螺栓(5)，盘身(4)借助固定螺栓(5)与工作台(2)
形成固定连接，盘身(4)上端面矩阵式排列有多个橡胶吸盘(6)，每列橡
胶吸盘(6)借助连通管(7)相互连通，连通管(7)连接有抽气机。
2.根据权利要求1所述的一种靶材打磨用的平面磨床，其特征在于：
技术研发人员：崔娜，朱辉，闫丽娜，张卫，康林杰，郄奕，
申请(专利权)人：河北东同光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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