一种用于液晶显示器的阵列基板制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于液晶显示器的阵列基板。所述阵列基板包括：衬底基板；多个薄膜晶体管开关，薄膜晶体管开关包括源极，栅极，漏极，设置在衬底基板上；有机绝缘膜，覆盖薄膜晶体管开关，包括暴露漏极的第一接触孔，接触孔上有延展槽；公共电极，形成在有机绝缘膜上；钝化膜，形成在公共电极上，并有第二接触孔通过第一接触孔导通暴露漏极；像素电极，设置在钝化膜上并与第二接触孔暴露的漏极接触。本实用新型专利技术通过设置延展槽在不改变第一接触孔孔径大小也不改变像素结构的前提下，大大提高第一接触孔的扩张面积，有利于后续工艺中取向膜铺展到所述接触孔中，从而改善显示装置显色不均的不良。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于液晶显示器的阵列基板及其制造方法。
技术介绍
通常，液晶显示器利用液晶的光学各向异性和偏振特性实现显示功能。因为液晶分子的取向上具有方向性，可通过将电场施加至液晶来控制液晶分子的取向方向。因此，当通过电场调整液晶分子的取向方向时，液晶分子的取向可改变，进而由于液晶的光学各向异性，光在液晶的分子取向方向上被折射，从而显示图像信息。当前，液晶显示器由于出色的分辨率和视频实现能力而颇受关注。扭曲向列型液晶显示器包括彩膜基板、阵列基板以及填充在彩膜基板与阵列基板之间的液晶，其中在彩膜基板上形成有公共电极，在阵列基板上形成有像素电极。在这种类型的LCD中，公共电极和像素电极通过垂直施加的电场来驱动液晶，从而提供出色的透光率、开口率等。然而，扭曲向列型液晶显示器由垂直施加的电场来驱动液晶的缺点在于视角特性不佳。因此，为了克服这个缺点，已经提出了具有出色视角特性的面内场型液晶显示器。在面内场型液晶显示器中，薄膜晶体管形成在衬底基板上并通过有机绝缘膜绝缘，然后在公共电极与像素电极之间形成钝化膜以便在公共电极与像素电极之间施加垂直电场或水平电场，之后控制液晶静态排列的取向膜整面覆盖在形成像素电极的衬底基板上，其中像素电极通过有机绝缘膜设置的接触孔与薄膜晶体管电连接。然而，将薄膜晶体管与像素电极连接的接触孔的孔径有限，因此取向膜可能无法铺展到接触孔中。图1是现有阵列基板的剖面图。参照图1，有机绝缘膜10设置在薄膜晶体管的漏极1072上。有机绝缘膜10具有暴露漏极1072的接触孔101。钝化膜15设置在有机绝缘膜10上，并且像素电极20通过接触孔101与漏极1072连接。可使用凸版转印取向液来形成取向膜30。然而，由于取向液的扩散性能和接触孔101的孔径限制，有时凸版转印的取向液无法铺展到接触孔101中，而是堆积在接触孔101周围。当取向膜30没有铺展到接触孔101中时，取向膜30在接触孔101周围产生堆叠。此种工艺缺陷会在后续液晶显示器点亮时产生显色不均的不良。
技术实现思路
本技术提供一种用于液晶显示器的阵列基板，所述阵列基板通过设置具有延展槽的接触孔而大大提高取向膜流进接触孔的概率，可解决有关取向膜未铺展进接触孔的问题。所述阵列基板包括：衬底基板；多个薄膜晶体管开关，所述多个薄膜晶体管开关形成于所述衬底基板上，每个薄膜晶体管开关包括栅极、源极和漏极；有机绝缘膜，所述有机绝缘膜设置在所述薄多个膜晶体管开关上，所述有机绝缘膜包括暴露所述漏极的第一接触孔，其中所述第一接触孔有倾斜表面；公共电极，所述公共电极设置在所述有机绝缘膜上；钝化膜，所述钝化膜设置在所述公共电极上，所述钝化膜包括第二接触孔，所述第二接触孔暴露由所述第一接触孔暴露的漏极；以及像素电极，所述像素电极设置在所述钝化膜上，并且所述像素电极与所述漏极接触；其中所述有机绝缘膜具有形成在所述第一接触孔倾斜表面上的远离通孔中心的延展槽。相应的，本技术还提供了一种液晶显示器，所述液晶显示器包括如上所述的阵列基板。与现有技术相比，本技术提供的阵列基板，通过使用半色调掩模板在有机绝缘膜层中直接形成具有延展槽的接触孔，不增加额外工艺，有效改善有机绝缘膜上接触孔周围取向膜的铺展情况，进而改善液晶显示器的显色不均问题。附图说明图1为现有阵列基板的剖面图；图2为本技术的实施方式提供的阵列基板平面图；图3为本技术的接触孔在衬底基板上的正投影形状；图4为阵列基板沿图2中LL′线所取的剖面图；图5为本技术优选的阵列基板平面图；图6为沿图5中CC′线所取的显示面板的剖面图；图7为取向膜流进通孔示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的阵列基板及液晶显示器作进一步详细说明。根据下面说明书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。图2是本技术的实施方式提供的阵列基板平面图，图4是完成取向膜印刷制程后沿图2中LL′线所取的局部剖面图。参照图2，图4，在包括多个子像素P的衬底基板1上设置有多条沿一个方向延伸的栅极线103以及多条与栅极线103交叉的数据线107。图2中所示的子像素P由栅极线103和数据线107交叉所限定，其中栅极线103与数据线107交叠的部分用做栅极1031。参照图4，根据本技术的用于液晶显示器的阵列基板包括设置在衬底基板1上的遮光层21，设置在遮光层21上的缓冲保护层22，缓冲保护层22上设置的多晶硅层3，以及隔绝栅极1031与多晶硅层3的栅极绝缘层4，其中栅极1031设置在栅极绝缘层4上，还包括设置在栅极1031上的层间绝缘层8，其中源极1071与漏极1072分别通过层间绝缘层8与栅极绝缘层4上的接触孔与多晶硅层3连接。尽管本技术附图中源极1071，栅极1031和漏极1072布局如此，然而本技术并不限于此。有机绝缘膜10设置在源极1071和漏极1072上，用于对有机绝缘膜10下方的元件进行保护和绝缘。有机绝缘膜10在阵列基板中具有相对大的厚度，并且在有机绝缘膜10上形成暴露漏极1072的第一接触孔101，因为第一接触孔101较深，为了便于取向膜30在第一接触孔101上的铺展所以将其设置为具有上开口大下开口小的倾斜表面。其中第一接触孔101在衬底基板1上的正投影图形为圆形、椭圆形、多边形中的任意一种，或者三种形状的任意组合，本实施例以第一接触孔101为圆形为例说明。像素电极20与漏极1072通过第一接触孔101彼此接触。公共电极19设置在有机绝缘膜10上，通过第三接触孔191与有机绝缘膜10暴露的漏极1072绝缘设置，用于产生公共电压。钝化膜15设置在公共电极19上。钝化膜15使公共电极19与像素电极20绝缘，并且钝化膜15具有暴露漏极1072的第二接触孔151。在本实用新型的实施方式中，钝化膜15形成的第二接触孔151设置在第一接触孔101中，第二接触孔151用于暴露第一接触孔101暴露的漏极1072。其中形成在钝化膜15中的第二接触孔151也可与形成在有机绝缘膜10中的第一接触孔101部分地交叠设置。像素电极20设置在钝化膜15上，并且通过第一接触孔101和第二接触孔151与漏极1072本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于液晶显示器的阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板；多个薄膜晶体管开关，所述多个薄膜晶体管开关形成于所述衬底基板上，每个薄膜晶体管开关包括栅极、源极和漏极；有机绝缘膜，所述有机绝缘膜设置在所述多个薄膜晶体管开关上，所述有机绝缘膜包括暴露所述漏极的第一接触孔，其中所述第一接触孔有倾斜表面；公共电极，所述公共电极设置在所述有机绝缘膜上；钝化膜，所述钝化膜设置在所述公共电极上，所述钝化膜包括第二接触孔，所述第二接触孔暴露由所述第一接触孔暴露的漏极；以及像素电极，所述像素电极设置在所述钝化膜上，并且所述像素电极与所述漏极接触；所述有机绝缘膜具有形成在所述第一接触孔倾斜表面上的远离通孔中心的延展槽。

【技术特征摘要】
1.一种用于液晶显示器的阵列基板，其特征在于，包括：
衬底基板；
多个薄膜晶体管开关，所述多个薄膜晶体管开关形成于所述衬底基板上，每个薄膜晶体管开关包括栅极、源极和漏极；
有机绝缘膜，所述有机绝缘膜设置在所述多个薄膜晶体管开关上，所述有机绝缘膜包括暴露所述漏极的第一接触孔，其中所述第一接触孔有倾斜表面；
公共电极，所述公共电极设置在所述有机绝缘膜上；
钝化膜，所述钝化膜设置在所述公共电极上，所述钝化膜包括第二接触孔，所述第二接触孔暴露由所述第一接触孔暴露的漏极；以及
像素电极，所述像素电极设置在所述钝化膜上，并且所述像素电极与所述漏极接触；
所述有机绝缘膜具有形成在所述第一接触孔倾斜表面上的远离通孔中心的延展槽。
2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，形成在所述有机绝缘膜上的所述延展槽至少有...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈杰坤，林嘉民，杨琛喻，
申请(专利权)人：厦门天马微电子有限公司，天马微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35