一种低温纯化器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种低温纯化器，包括顺次连接的气体瓶、阀门分配箱、预冷器、低温纯化装置和加热器，所述低温纯化装置包括密闭腔体和纯化螺管，所述密闭腔体内充满降温材料，纯化螺管浸没于降温材料，纯化螺管内设有纯化介质，纯化螺管的一端与预冷器的输出端连接，纯化螺管的另一端与加热器相连接。其结构简单、成本低廉，所采用液态氧降温材料低温冷却效果好，工作效率高，操作简便，值得推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种纯化器，具体涉及一种低温纯化器。
技术介绍
随着国民经济高科技发展，人们对气体纯度的要求越来越高。半导体工业提供了一个对超高纯生产气体的需求不断增加的具体例子，在半导体的制造时，反应性气体的纯度对半导体器件的品质具有很重要的影响。为了满足这些需求，人们对气体超高纯化的方法进行了广泛的科技研究。超高纯气体通常是通过以下方法制得的：使用具有纯化器的纯化系统，对生产气体进行处理，从中除去杂质。目前，大部分的研究和开发努力都集中在纯化器中的介质上，并且己经能够使气体纯度达99.999%，但是在一些情况下，纯化器介质的吸收特性限制了特定纯化器介质所能达到的杂质去除水平，而且在低温纯化方面效果比较差。因此，人们仍然需要对气体纯化系统进行改进。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构简单，成本低廉，低温冷却效果好的一种低温纯化器。本技术采取的技术方案为：一种低温纯化器，其特征在于，包括顺次连接的气体瓶、阀门分配箱、预冷器、低温纯化装置和加热器，所述低温纯化装置包括密闭腔体和纯化螺管，所述密闭腔体内充满降温材料，纯化螺管浸没于降温材料，纯化螺管内设有纯化介质，纯化螺管的一端与预冷器的输出端连接，纯化螺管的另一端与加热器相连接。进一步地，所述预冷器与阀门分配箱的连接管道上设有载气体入口，低温纯化装置与加热器件的连接管道上设有载气体出口。进一步地，所述纯化介质为佛石、或氧化硅或碳的一种或多种的混合物。再进一步地，所述降温材料为液态氧。采取以上技术方案后，本技术的有益效果为：本技术结构简单、成本低廉，所采用液态氧降温材料低温冷却效果好，工作效率高，操作简便，值得推广应用。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：气体瓶1，阀门分配箱2，预冷器3，低温纯化装置4，加热器5，载气体入口6，纯化螺管7，纯化介质8，降温材料9，载气体出口10。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式做进一步详述：一种低温纯化器，包括顺次连接的气体瓶1、阀门分配箱2、预冷器3、低温纯化装置4和加热器5，所述低温纯化装置包括密闭腔体和纯化螺管7，所述密闭腔体内充满降温材料9，所述降温材料9为液态氧,纯化螺管7浸没于降温材料9，纯化螺管7内设有纯化介质8，所述纯化介质8为佛石、或氧化硅或碳的一种或多种的混合物,纯化螺管7的一端与预冷器3的输出端连接，纯化螺管7的另一端与加热器5相连接。所述预冷器3与阀门分配箱2的连接管道上设有载气体入口6，低温纯化装置4与加热器5间的连接管道上设有载气体出口10。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温纯化器，其特征在于，包括顺次连接的气体瓶、阀门分配箱、预冷器、低温纯化装置和加热器，所述低温纯化装置包括密闭腔体和纯化螺管，所述密闭腔体内充满降温材料，纯化螺管浸没于降温材料，纯化螺管内设有纯化介质，纯化螺管的一端与预冷器的输出端连接，纯化螺管的另一端与加热器相连接。

【技术特征摘要】
2015.07.01 CN 20152046275871.一种低温纯化器，其特征在于，包括顺次连接的气体瓶、阀门分配箱、预冷器、低温纯
化装置和加热器，所述低温纯化装置包括密闭腔体和纯化螺管，所述密闭腔体内充满降温
材料，纯化螺管浸没于降温材料，纯化螺管内设有纯化介质...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾大元，赵远，陈斌，徐辉，季成，陶爱堂，徐振兵，芦国富，陈卫，谢涛，刘小燕，毛金荣，
申请(专利权)人：泰兴市智光环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32