一种电感扫描测头的测试装置及测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电感扫描测头的测试装置及测试方法，测试装置包括扫描测头和微进给装置，所述微进给装置包括微分头、立柱、底板、平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件，所述立柱固定在所述底板上，所述微分头可转动地固定在所述立柱上，所述微分头可沿所述立柱上下移动，所述平面度调节部件用于调节所述底板的平面度，所述X方向调节部件和Y方向部件分别用于调节所述底板沿X方向运动和沿Y方向运动，所述微分头的头部用于对所述扫描测头的测量球施加不同的进给量。本发明专利技术结构简单，可以利用精度很高的微分头对扫描测头的单轴、平面和空间性能进行测试，测试方法简单。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测量领域，具体涉及一种电感扫描测头的测试装置及测试方法。
技术介绍
三坐标测量机(CoordinateMeasuringMachine，简称CMM)是20世纪60年代发展起来的一种新型高效精密测量仪器。它的出现，一方面是由于自动机床、数控高效加工以及原来越多复杂形状零件加工需要快速有效的检测设备与之配套；另一方面是由于电子技术、计算机技术、数字控制技术以及精密加工技术的发展为CMM的产生提供了技术基础。1960年，英国FERRANTI公司研制成功世界上第一台CMM，到20世纪60年代末，已有近十个国家的三十多家公司在生产CMM，不过这一时期的CMM尚处于初级阶段。进入20世纪80年代后，以Zeiss，Leitz，DEA，LK，Mitutoy，SIP，Ferranti，Moore等为代表的众多公司不断推出新产品，使得CMM的发展速度加快。现代CMM不仅能在计算机控制下完成各种复杂测量，而且可以通过与数控机床交换信息，实现对加工的控制，而且还可以根据测量数据实现返求工程。目前，CMM已广泛应用于机械制造业，汽车工业，电子工业，航空航天工业和国防工业等各部门，成为现代工业检测和质量控制不可缺少的万能测量设备。三坐标测量机需要用测头来拾取信号，测头的性能直接影响三坐标测量机的测量精度和测量效率，没有先进的测头就无法发挥测量机的功能。在CMM上使用的测头，按照工作方式可以分为触发式和扫描式；触发式测头是一种开关测头，在测量过程中能够获得离散的测量点，由于测得的数据有限，因而很难实现自由曲面的精确测量。扫描式测头不仅可以作为触发式测头使用，而且能输出与测针位移量成比例的电信号，信号输入计算机与测量机的三轴坐标叠加得到被测点的空间坐标。这种测头的采样频率可以很高，还可以确定被测点所在表面的法向矢量的方向，尤其适合曲面测量。扫描式测头具有分辨率高、精度高、通用性强和可靠耐用的特点，通常装备在高精度的坐标测量机上。在齿轮、叶片和螺纹等曲面结构的测量上有广泛应用。扫描测头是将测量力和测量运动分解成三个相互垂直的分力和分运动进行解耦。三个分力和分运动可以用线性传感器进行测量，这种测量原理简单明了，精度较高。但是，目前的三维扫描测头三个方向是相互串联在一起的，而并非相互独立的测量机构，这种结构有一个明显的缺点，即一个方向的测量误差会对其他方向的测量结果产生影响，导致最后综合测量误差比较大。另外，由于各层都是柔性结构，制造和装配将可能影响各层的精度甚至造成各层之间的耦合。因此，设计合理的测试装置和测试方法，既可以用于测头制造和装配过程中的质量控制；同时，也是测头标定的重要仪器。总之，对测头的制造和使用具有很重要的价值。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本专利技术提供了一种电感扫描测头的测试装置，结构更加简单。一种电感扫描测头的测试装置，包括扫描测头和微进给装置，其特征是，所述微进给装置包括微分头、立柱、底板、平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件，所述立柱固定在所述底板上，所述微分头可转动地固定在所述立柱上，所述微分头可沿所述立柱上下移动，所述平面度调节部件用于调节所述底板的平面度，所述X方向调节部件和Y方向部件分别用于调节所述底板沿X方向运动和沿Y方向运动，所述微分头的头部用于对所述扫描测头的测量球施加不同的进给量。在一个实施例中，所述微进给装置还包括微分头支架、第一滑动铰链和第二滑动铰链，所述立柱包括第一立柱和第二立柱，所述微分头固定在所述微分头支架上，所述微分头支架可绕着第一滑动铰链和第二滑动铰链转动，所述第一滑动铰链和第二滑动铰链分别可沿着第一立柱和第二立柱滑动，所述微分头位于所述第一立柱和第二立柱之间。在一个实施例中，所述平面度调节部件为三个调节螺钉，通过旋转三个调节螺钉来调节所述底板的平面度。在一个实施例中，所述X方向调节部件为两个调节螺钉，通过旋转两个调节螺钉来调节所述底板沿X方向运动，所述Y方向调节部件为两个调节螺钉，通过旋转两个调节螺钉来调节所述底板沿Y方向运动。本专利技术还提供了一种采用所述的电感扫描测头的测试装置的测试方法，包括如下步骤：S1、调整所述微分头的高度以及转动所述微分头，使所述微分头处于与所述扫描测头的选定坐标轴方向的测量杆的夹角在设定角度范围内的直线上；S2、调节所述平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件，使得所述扫描测头的选定坐标轴上具有电压输出，而所述选定坐标轴以外的其他坐标轴没有电压输出；S3、拧动所述微分头，对所述选定坐标轴方向的测量杆的测量球施加进给量，记录所述选定坐标轴对应的输出电压，并根据所述选定坐标轴上的测微传感器已知的输出电压-进给量曲线，计算得到所述测量球的测量进给量；S4、根据所述进给量和测量进给量评价所述扫描测头的所述选定坐标轴上的测量性能。在一个实施例中，所述步骤S3包括如下步骤：根据所述进给量和测量进给量，判断所述扫描测头的所述选定坐标轴方向上的测量精度；或者，使所述微分头对所述测量球施加不同的进给量，并分别记录对应的输出电压，得到相同进给量下的多个不同输出电压，计算在相同的进给量下任意两个输出电压之间的最大差值作为所述选定坐标轴上的重复性精度；或者，使所述微分头对所述测量球施加不同的进给量，并分别记录对应的输出电压，得到输出电压-进给量数据组；根据所述输出电压-进给量数据组绘制输出电压-进给量曲线；使用最小二乘法计算输出电压-进给量曲线的线性度误差。本专利技术还提供了一种采用所述的电感扫描测头的测试装置的测试方法，包括如下步骤：S1、调节所述平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件，使所述微分头的头部接触选定坐标轴以外的其他任一坐标轴的测量球，并使得所述扫描测头的选定坐标轴上没有电压输出，而所述选定坐标轴以外的其他两个坐标轴具有电压输出；S2、拧动所述微分头，对所述测量球施加进给量，记录所述其他两个坐标轴的输出电压，并根据已知的两个坐标轴上的测微传感器的输出电压-进给量曲线，计算得到测量进给量；S3、根据所述进给量和测量进给量，测试所述扫描测头的所述其他两个坐标轴确定的平面上的测量性能。在一个实施例中，在步骤S3中，根据所述进给量和测量进给量，判断所述扫描测头在所述其他两个坐标轴确定的平面上的测量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电感扫描测头的测试装置，包括扫描测头和微进给装置，其特征是，所述微进给装置包括微分头、立柱、底板、平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件，所述立柱固定在所述底板上，所述微分头可转动地固定在所述立柱上，所述微分头可沿所述立柱上下移动，所述平面度调节部件用于调节所述底板的平面度，所述X方向调节部件和Y方向部件分别用于调节所述底板沿X方向运动和沿Y方向运动，所述微分头的头部用于对所述扫描测头的测量球施加不同的进给量。

【技术特征摘要】
1.一种电感扫描测头的测试装置，包括扫描测头和微进给装置，其特
征是，所述微进给装置包括微分头、立柱、底板、平面度调节部件、X方
向调节部件和Y方向调节部件，所述立柱固定在所述底板上，所述微分头
可转动地固定在所述立柱上，所述微分头可沿所述立柱上下移动，所述平
面度调节部件用于调节所述底板的平面度，所述X方向调节部件和Y方向
部件分别用于调节所述底板沿X方向运动和沿Y方向运动，所述微分头的
头部用于对所述扫描测头的测量球施加不同的进给量。
2.如权利要求1所述的电感扫描测头的测试装置，其特征是，所述微
进给装置还包括微分头支架、第一滑动铰链和第二滑动铰链，所述立柱包
括第一立柱和第二立柱，所述微分头固定在所述微分头支架上，所述微分
头支架可绕着第一滑动铰链和第二滑动铰链转动，所述第一滑动铰链和第
二滑动铰链分别可沿着第一立柱和第二立柱滑动，所述微分头位于所述第
一立柱和第二立柱之间。
3.如权利要求1所述的电感扫描测头的测试装置，其特征是，
所述平面度调节部件为三个调节螺钉，通过旋转三个调节螺钉来调节
所述底板的平面度。
4.如权利要求1所述的电感扫描测头的测试装置，其特征是，
所述X方向调节部件为两个调节螺钉，通过旋转两个调节螺钉来调节
所述底板沿X方向运动，所述Y方向调节部件为两个调节螺钉，通过旋转
两个调节螺钉来调节所述底板沿Y方向运动。
5.一种采用如权利要求1所述的电感扫描测头的测试装置的测试方
法，其特征是，包括如下步骤：
S1、调整所述微分头的高度以及转动所述微分头，使所述微分头处于
与所述扫描测头的选定坐标轴方向的测量杆的夹角在设定角度范围内的直
线上；
S2、调节所述平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件，
使得所述扫描测头的选定坐标轴上具有电压输出，而所述选定坐标轴以外
的其他坐标轴没有电压输出；
S3、拧动所述微分头，对所述选定坐标轴方向的测量杆的测量球施加
进给量，记录所述选定坐标轴对应的输出电压，并根据所述选定坐标轴上
的测微传感器已知的输出电压-进给量曲线，计算得到所述测量球的测量进

\t给量；
S4、根据所述进给量和测量进给量评价所述扫描测头的所述选定坐标
轴上的测量性能。
6.如权利要求5所述的测试方法，其特征是，
所述步骤S3包括如下步骤：
根据所述进给量和测量进给量，判断所述扫描测头的所述选定坐标轴
方向上的测量精度；
或者，
使所述微分头对所述测量球施加不同的进给量，并分别记录对应的输
出电压，得到相同进给量下的多个不同输出电压，计算在相同的进给量下
任意两个输出电压之间的最大差值作为所述选定坐标轴上的重复性精度；
或者，
使所述微分头对所述测量球施加不同的进给量，并分别记录对应的输
出电压，得到输出电压-进给量数据组；
...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈艳华，梁斌，刘厚德，王学谦，李志恒，
申请(专利权)人：清华大学深圳研究生院，
类型：发明
国别省市：广东;44