【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种精确测量光源平行性的方法及装置,属于光电测量领域。
技术介绍
随着机床领域对定位精度要求的不断提高,光栅尺的应用越来越广泛,其基本原理是利用了两光栅尺形成的莫尔条纹。光源的性能的好坏直接影响着莫尔条纹的对比度。目前没有关于测量光栅尺的光源平行性的专用设备相关资料,常规的平行性测量方法利用测量光斑尺寸来实现,精度较低,不适合于光栅尺光源平行性的精确测量。
技术实现思路
本专利技术为了解决现有技术无法实现光源平行性的精确测量问题,提出一种精确测量光源平行性的方法及装置。一种精确测量光源平行性的装置,其包括:标准光栅2、光电探测器3、固定件4、信号处理模块5、示波器6及电脑7;标准光栅2设置在待测光源1下方,标准光栅2固定件4的上面,光电探测器3设置在固定件4底部,且位于标准光栅2下方;光电探测器3与信号处理模块5连接,示波器6及电脑7分别与信号处理模块5相连。所述的光电探测器3可以选择线阵CCD。一种精确测量光源平行性的方法,包括以下步骤:第一步,将待测光源1放置标准光栅2的上方,将标准光栅2固定件4的上面,光电探测器3固定在固定件4底部,且待测光源1、标准光栅2和光电探测器3同轴设置,光电探测器3与信号处理模块5连接,示波器6及电脑7分别与信号处理模块5相连;第二步,待测光源1发出的光先入射到标准光栅2,再入射光电探测器3上,光电探测器3将所得到的光信号转化为电 ...
【技术保护点】
一种精确测量光源平行性的装置,其包括标准光栅(2)、光电探测器(3)、固定件(4)、信号处理模块(5)、示波器(6)及电脑(7),其特征是,标准光栅(2)设置在待测光源(1)下方,标准光栅(2)固定件(4)的上面,光电探测器(3)设置在固定件(4)底部,且位于标准光栅(2)下方;光电探测器(3)与信号处理模块(5)连接,示波器(6)及电脑(7)分别与信号处理模块(5)相连。
【技术特征摘要】
1.一种精确测量光源平行性的装置,其包括标准光栅(2)、光电探测器(3)、
固定件(4)、信号处理模块(5)、示波器(6)及电脑(7),其特征是,
标准光栅(2)设置在待测光源(1)下方,标准光栅(2)固定件(4)的
上面,光电探测器(3)设置在固定件(4)底部,且位于标准光栅(2)下方;
光电探测器(3)与信号处理模块(5)连接,示波器(6)及电脑(7)分别与
信号处理模块(5)相连。
2.根据权利要求1所述的一种精确测量光源平行性的装置,其特征是,所
述光电探测器(3)选用线阵CCD。
3.一种精确测量光源平行性的方法,其特征是,该方法包括以下步骤:
第一步,将待测光源(1)放置标准光栅(2)的上方,将标准光栅(2)固
定件(4)的上面,光电探测器(3)固定在固定件(4)底部,且待测光源(1)、
标准光栅(2)和光电探测器(3)同轴设置,光电探测器(3)...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙竹,曾琪峰,杨帆,孙强,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:吉林;22
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