【技术实现步骤摘要】
本技术主要涉及离子源领域，尤其涉及一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置。
技术介绍
离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。离子源作为装置的核心部件由于结构复杂容易出现故障且部分离子源灯丝需定期更换，往往需要经常拆卸。对于大型高真空装置一旦真空被破坏再达到高真空状态往往需要很长时间，浪费人力物力。如何实现不破坏真空且实现离子源的快速拆卸迫在眉睫。
技术实现思路
本技术目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置，离子源的头部可以在高真空装置内通过长杆的伸缩来变换位置且头部可以任意角度旋转，从而满足一些特殊装置（如粒子加速器）内部不同位置产生等离子体的性能要求；为了实现离子源的快速拆卸采用插板阀隔断真空技术来实现离子源和主真空室分离，然后单独拆卸离子源，从而实现不破坏真空完成离子源的拆卸。本技术是通过以下技术方案实现的：一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置，包括有离子源，其特征在于：所述离子源上套设有压块座，压块座通过第一压紧螺栓向上固定在过渡法兰上，压块座与过渡法兰之间设有第一密封圈，实现离子源伸缩及旋转时的动密封；所述过渡法兰通过第二压紧螺栓向上固定在插板阀的下法兰上，过渡法兰与插板阀的下法兰之间设有第二密封圈，插板阀的上法兰通过第三压紧螺栓向上固定在主真空室法兰上，插板阀的上法兰与主真空室法兰之间设有第三密封圈；所述离子源通过压紧密封装置实现自由伸缩长度及旋转，通过开关插板阀的...
【技术保护点】
一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置，包括有离子源，其特征在于：所述离子源上套设有压块座，压块座通过第一压紧螺栓向上固定在过渡法兰上，压块座与过渡法兰之间设有第一密封圈；所述过渡法兰通过第二压紧螺栓向上固定在插板阀的下法兰上，过渡法兰与插板阀的下法兰之间设有第二密封圈，插板阀的上法兰通过第三压紧螺栓向上固定在主真空室法兰上，插板阀的上法兰与主真空室法兰之间设有第三密封圈；所述离子源通过压紧密封装置实现自由伸缩长度及旋转，通过开关插板阀的阀芯实现离子源和主真空室之间真空联通和隔断。
【技术特征摘要】
1.一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置，包括有离子源，其特征在于：所述离子源上套设有压块座，压块座通过第一压紧螺栓向上固定在过渡法兰上，压块座与过渡法兰之间设有第一密封圈；所述过渡法兰通过第二压紧螺栓向上固定在插板阀的下法兰上，过渡法兰与插板阀的下法兰之间设有第二密封圈，插板阀的上法兰通过第三压紧螺栓向...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢亚红，顾玉明，胡纯栋，谢远来，宋云涛，
申请(专利权)人：中国科学院等离子体物理研究所，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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