具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置，其特征在于：所述信号发生器固定安装在一主支撑架上，所述膜厚控制探头通过一副支撑架与所述主支撑架相连接，所述主支撑架和所述副支撑架之间设置有转动机构，通过所述主支撑架与所述副支撑架之间的相对转动实现所述膜厚控制探头的角度调整。本实用新型专利技术的优点是：能够精确控制膜厚，为镀膜工艺开发提供多种可选方案；结构简单合理，拆装方便，适于推广。

Film thickness control device with adjustable angle film thickness control probe

The utility model relates to the technical field of vacuum coating, especially a thickness control device with adjustable angle film thickness control probe membrane, which is characterized in that the signal generator is fixed on a main supporting frame, the film thickness control probe through a support frame and the main supporting frame is connected. A rotating mechanism is arranged between the main frame and the auxiliary supporting frame, rotate the relative film thickness control probe angle adjustment between through the main frame and the auxiliary support frame. The utility model has the advantages that the thickness of the film can be precisely controlled, and a plurality of alternative schemes are provided for the development of the coating process; the structure is simple and reasonable, the assembly and disassembly is convenient, and the utility model is suitable for popularization.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜
，尤其是一种具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置。
技术介绍
膜厚控制系统是真空镀膜装置中的一个重要模块。目前，主要有两类膜厚控制方式。第一种方式为石英晶体膜厚控制方式。这种方式利用石英晶振片的振动频率与其质量的定量关系来获得石英晶片上沉积的薄膜厚度信息。第二种方式为光学膜厚控制方式。这种方式利用镀膜过程中光学监控玻璃的光学厚度的变化来获得所镀薄膜的物理厚度。在实现上述两种膜厚控制方式的膜厚控制装置中，安装有石英晶振片和光学监控玻璃的部件均可以被称为膜厚控制探头。膜厚控制探头属于直接与蒸镀的膜料分子接触的部件，探头与蒸发源的距离的远近、探头法线与膜料分子入射方向之间的夹角的大小均是影响膜厚控制系统精度的因素。通常情况下，膜厚控制探头的法线方向是固定的，不利于分析膜料分子从不同方向入射到探头时的膜厚控制精度的差异。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置，通过设置角度调节机构使膜厚控制探头可转动，从而改变膜料分子进入膜厚控制探头的入射角度，提升膜厚控制探头的探测精度，尤其适用于使用多探头的膜厚控制装置。本技术目的实现由以下技术方案完成：一种具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置，所述装置至少包括膜厚控制探头，信号发生器，所述信号发生器与所述膜厚控制探头相连以实现信号发生，其特征在于：所述信号发生器固定安装在一主支撑架上，所述膜厚控制探头通过一副支撑架与所述主支撑架相连接，所述主支撑架和所述副支撑架之间设置有转动机构，通过所述主支撑架与所述副支撑架之间的相对转动实现所述膜厚控制探头的角度调整。所述膜厚控制探头的固定盘上固定设置有若干探头单元，所述若干探头单元呈圆周状布置，所述膜厚控制探头与一位置控制机构相连接，所述位置控制机构连接控制所述固定盘转动。所述位置控制机构包括驱动装置、主动轴和从动轴，所述驱动装置与所述主动轴的一端相连接，所述主动轴的另一端与所述从动轴的一端通过锥齿轮相啮合，所述从动轴的另一端固定连接在所述固定盘上。所述信号发生器为振荡包或光源。本技术的优点是：能够精确控制膜厚，为镀膜工艺开发提供多种可选方案；结构简单合理，拆装方便，适于推广。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中角度调节机构的结构示意图；图3为本技术中膜厚控制探头的结构示意图。具体实施方式以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：如图1-3所示，图中标记1-17分别表示为：膜厚控制探头1、转动机构2、安装法兰3、位置控制机构4、振荡包5、主动轴6、主动轴锥齿轮7、从动轴8、从动轴锥齿轮9、中间锥齿轮10、主支撑架11、副支撑架12、紧固螺丝13、定位孔14、探头单元15、工作探头单元16、固定盘17。实施例：如图1所示，本实施例中具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置主体包括膜厚控制探头1、转动机构2、安装法兰3、位置控制机构4和振荡包5这五个部分，其中膜厚控制探头1用于探测从蒸发源蒸发出的膜料分子的镀膜速率和镀膜厚度，转动机构2用于改变膜厚控制探头相对于膜料分子入射方向的角度，安装法兰3用于将装置整体固定安装在真空镀膜室的特定位置，位置控制器4用于控制膜厚控制探头1中多个探头单元的转动，振荡包5用于引起膜厚控制探头1中探头单元的石英晶体以特定频率振动，起到信号发生器的作用。如图2所示，转动机构2包括紧固螺丝13和定位孔14，定位孔14开设在主支撑架11上，紧固螺丝13穿过定位孔14并与膜厚控制探头1相连接固定的副支撑架12构成连接。在使用时，拧松定位孔14中的紧固螺丝13使其松动，然后使主支撑架11和副支撑架12之间产生相对转动，从而改变膜厚控制探头1相对于膜料分子入射方向的角度，此时紧固螺丝13在定位孔14中滑动；调整完成后，再将紧固螺丝13拧紧，使主支撑架11和副支撑架12之间连接固定，完成膜厚控制探头1的角度调整。如图3所示，在膜厚控制探头1上设置有六个探头单元15，六个探头单元15呈圆周状固定布置在固定盘17上，其中图中所示的工作探头单元16指的是处于固定盘17的该工位上且可进行探测工作的探头单元15，也就是说，当任意一个探头单元15转动到图中工作探头单元16所处的位置时，该探头单元15进行膜料分子的镀膜速率和镀膜厚度的探测工作，成为工作探头单元16。为了实现该膜厚控制探头1上的各探头单元15的旋转，在主支撑架11上设置了位置调整机构4。如图2所示，该位置调整机构4包括驱动装置（图1中标号4所指位置的圆盘状装置）、主动轴6和从动轴8，其中驱动装置与主动轴6构成传动连接使得主动轴6可在驱动装置的连接驱动下旋转，主动轴锥齿轮7套装在主动轴6的一端部并与中间锥齿轮10的一侧相啮合使主动轴6的旋转可通过主动轴锥齿轮7传递至中间锥齿轮10，中间锥齿轮10的另一侧与从动轴锥齿轮9相啮合，从动轴锥齿轮9套装在从动轴8的一端部使从动轴8在中间锥齿轮10和从动轴锥齿轮9的啮合传动下旋转。从动轴8与固定盘17相连接固定并位于六个探头单元15的中心位置，使得固定盘17在从动轴8的驱动下旋转，从而实现位于固定盘17上的六个探头单元15的转动。本实施例在具体实施时：石英晶振片作为探头单元15设置在膜厚控制探头1之中，因此相应作为石英晶振片的信号发生器的是振荡包5；而当探头单元15采用光学监控玻璃时，其信号发生器则选择为光源，此时，光源的射入位置可根据实际情况进行设计。虽然以上实施例已经参照附图对本技术目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本技术作出各种改进和变换，如：位置控制机构4的具体结构，安装法兰3的安装位置等，故在此不一一赘述。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置，所述装置至少包括膜厚控制探头，信号发生器，所述信号发生器与所述膜厚控制探头相连以实现信号发生，其特征在于：所述信号发生器固定安装在一主支撑架上，所述膜厚控制探头通过一副支撑架与所述主支撑架相连接，所述主支撑架和所述副支撑架之间设置有转动机构，通过所述主支撑架与所述副支撑架之间的相对转动实现所述膜厚控制探头的角度调整。

【技术特征摘要】
1.一种具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置，所述装置至少包括膜厚控制探头，信号发生器，所述信号发生器与所述膜厚控制探头相连以实现信号发生，其特征在于：所述信号发生器固定安装在一主支撑架上，所述膜厚控制探头通过一副支撑架与所述主支撑架相连接，所述主支撑架和所述副支撑架之间设置有转动机构，通过所述主支撑架与所述副支撑架之间的相对转动实现所述膜厚控制探头的角度调整。2.根据权利要求1所述的一种具有可调节角度膜厚控制探头的膜厚控制装置，其特征在于：所述膜厚控制探头的固定盘上固定设置有若干探...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙汝磊，李刚正，吴萍，孙英会，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31