The utility model discloses a pre heating type epitaxial furnace, the reaction chamber and is located in the epitaxial furnace set market market above the center of the injector, the market for small cap is provided with a plurality of base wafer is placed at the bottom of the market, is provided with a heating coil, at least one inlet pipe and is communicated with the injector and injected into the reaction chamber through the input source the gas inlet pipe is provided with a pre heating device, the pre heating device comprises at least a series in the intake pipe of the two pipe body, the pipe body are respectively provided with a heating element, the tube body forming the heating chamber for heating of the step by step through the source gas, thereby improving the injector into the reaction chamber of the gas source temperature, avoid the radial temperature gradient, so the market temperature uniformity, saving gas source, while improving the stability of epitaxial process.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体技术,特别是涉及一种预加热式外延炉。
技术介绍
外延晶片,例如碳化硅外延晶片通常是采用CVD(化学气相沉积)的方法来生长,具体是将衬底置于外延炉反应室中,将含有构成薄膜元素的化合物、单质气体通入反应室,借助气相化学反应在衬底表面上沉积固体薄膜。目前商业化的外延炉,大部分为水平行星式反应室外延炉,主要由输气管路、注入器、大盘和加热线圈组成。加热线圈为一个一体化的呈现“蚊香型”的加热线圈,置于大盘底部负责为大盘加热。源气由输气管道经大盘中心位置上方的注入器进入反应室内部,源气沿着大盘的径向输运。由于源气的温度一般为室温,而通常反应室内的温度高达上千度以达到晶体外延生长温度,这样会导致注入器下方附近的大盘温度较低,而远离注入器的大盘温度相对较高,即沿大盘的径向形成一个较大的温度梯度,该温度梯度的存在不仅会造成源气的浪费,更会导致注入器附近气体的分解效率低而容易产生一些反应异物,严重情况下会堵塞注入器的出气孔,对外延工艺的稳定性造成较大的干扰和影响。
技术实现思路
本技术提供了一种预加热式外延炉,其克服了现有技术所存在的不足之处。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种预加热式外延炉,该外延炉的反应室内设置大盘及位于大盘中心上方的注入器,大盘上设置若干用于放置晶片的小盘基座,大盘底部设置有加热线圈,至少一进气管路与注入器相通并通过注入器向反应室内输入源气。所述进气管路上设置有预加热装置,该预加热装置包括串联于进气管路上的至少两个管体,各管体分别设置有加热元件,管体内形成加热腔以对通过的源气进行逐级加热。优选的,所述管体是石英管,所述加热元件是电阻丝, ...
【技术保护点】
一种预加热式外延炉,该外延炉的反应室内设置大盘及位于大盘中心上方的注入器,大盘上设置若干用于放置晶片的小盘基座,大盘底部设置有加热线圈,至少一进气管路与注入器相通并通过注入器向反应室内输入源气,其特征在于:所述进气管路上设置有预加热装置,该预加热装置包括串联于进气管路上的至少两个管体,各管体分别设置有加热元件,管体内形成加热腔以对通过的源气进行逐级加热。
【技术特征摘要】
1.一种预加热式外延炉,该外延炉的反应室内设置大盘及位于大盘中心上方的注入器,大盘上设置若干用于放置晶片的小盘基座,大盘底部设置有加热线圈,至少一进气管路与注入器相通并通过注入器向反应室内输入源气,其特征在于:所述进气管路上设置有预加热装置,该预加热装置包括串联于进气管路上的至少两个管体,各管体分别设置有加热元件,管体内形成加热腔以对通过的源气进行逐级加热。2.根据权利要求1所述的预加热式外延炉,其特征在于:所述管体是石英管,所述加热元件是电阻丝,绕设于石英管外部。3.根据权利要求2所述的预加热式外延炉,其特征在于:所述电阻丝由铁铬铝合金或镍铬合金...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱卫宁,冯淦,赵建辉,
申请(专利权)人:瀚天天成电子科技厦门有限公司,
类型:新型
国别省市:福建;35
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