静电电容触摸开关面板制造技术

提供能够形成高质量的设计形状、抑制了可见光的反射的透明的传感器电极且质感优良、并且具有充分的耐环境性的静电电容触摸开关面板。静电电容触摸开关面板(1)具备玻璃基板(2)、和在该玻璃基板(2)中形成的传感器部(3)而成，传感器部(3)具有传感器电极(4)，该传感器电极(4)由在玻璃基板(2)的触摸面(2a)的相反面(2b)侧使用溅射或者真空蒸镀按照开关形状形成的Al薄膜构成，传感器部(3)在Al薄膜的至少一部分与玻璃基板(2)之间具有中间层，该中间层由包含从Cr、Mo、以及W选择的至少一个金属的薄膜构成。

Electrostatic capacitance touch switch panel

The present invention provides an electrostatic capacitive touch switch panel which can form a high quality design shape, and can inhibit the reflection of visible light. Electrostatic capacitive touch panel switch (1) with a glass substrate (2), and on the glass substrate (2) formed in the sensor unit (3) and (3), the sensor part has a sensor electrode (4), the sensor electrode (4) from the glass substrate (2) of the touch surface (2a) the opposite side (2b) using vacuum evaporation or sputtering Al films formed according to the shape of the switch, the sensor part (3) in at least a portion of the Al film and the glass substrate (2) is the middle layer, the middle layer is made from Cr, Mo, and contains at least one metal selected by W the film composition.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过静电电容的变化检测用户的手指等接近了与电极对应的预定位置的静电电容触摸开关面板，特别涉及在玻璃基板中直接设置了传感器电极的静电电容触摸开关面板。
技术介绍
在家电机器、AV机器、PC/OA机器、工业机械、其他电子设备中，作为向各机器的输入单元之一，使用有静电电容方式的触摸开关面板。图11以及图12示出既存的静电电容开关面板的侧面图。关于图11所示的静电电容触摸开关面板11，成为在丙烯酸等的树脂罩12上通过印刷或者激光修整实施开关设计12a，传感器电极13设置于印刷基板(PCB)14上，并将它们粘合了的构造。另外，控制部15安装于PCB14。另一方面，关于图12所示的静电电容触摸开关面板11’，控制部15配置于外部，与触摸开关面板11’经由树脂制的柔性印刷布线板(FPC)16连接。在这些结构的静电电容触摸开关面板中，当用手指接触罩12的表面后，在传感器电极13与手指之间引起静电耦合而使电极的静电电容变化。传感器电极13是分成与开关设计对应的多个位置而设置的，对各传感器电极13分配布线，将各传感器电极13和控制部15通过上述布线(在图12中还包括FPC16)连接。在控制部15中，对传感器电极13中的静电电容的变化量进行数值化，在其数值超过预先决定的阈值时，判定为手指已经接触。由此，在控制部15中，能够探测哪一个传感器电极13的静电电容已经变化，能够检测手指接触到哪一个触摸开关部分。另外，作为零件点数少且改善了外观的静电电容触摸开关，提出有在玻璃基板等基板上设置了由金属薄膜构成的开关电极和虚设电极的例子(参照专利文献1)。该开关中的开关电极成为包括预定形状(设计)的标志的结构。另外，金属薄膜是在由钠钙玻璃等构成的玻璃基板上，通过溅射法、蒸镀法、CVD法等对铝、铝合金(铝-钽等)、铌、钼、金、银、铜等材料进行成膜并按照预定的图案形状曝光之后，进行蚀刻而形成的。另外，以保护由金属薄膜构成的开关电极的目的，在该电极上，印刷在低软化点玻璃料中混合黑色颜料、白色颜料等着色用颜料而得到的膏并烧成而形成绝缘部件(保护层)。另外，如专利文献1的图5所示，玻璃基板的连接端子和印刷基板经由连接器与FPC连接。专利文献1：日本特开2013-77555号公报
技术实现思路
在使用丙烯酸等的树脂罩的情况下，如果在高温、低温、多湿等严苛的环境下长时间使用，则存在树脂罩面、电极面劣化之虞。另外，在通过印刷等形成开关设计的情况下，在可实现的设计中存在界限，难以形成例如微细图案。相对于此，在专利文献1的静电电容触摸开关中，通过在玻璃基板中用金属薄膜设置开关电极(传感器电极)，能够改善耐环境性，还能够形成微细图案。但是，在使开关电极成为铝薄膜的情况下，开关电极都成为同色(光泽银色)而无法形成其他颜色的开关电极。另外，在想要在开关电极部分中形成由其他颜色构成的标志等的情况下，考虑与该标志对应的部分成为不完全形成开关电极的开口部，对背面涂饰实施期望的着色。但是，在该情况下，无法进行无开关电极的开口部中的触摸检测。另外，虽然考虑不成为完全的开口部，而按照在目视下成为大致透明那样的微细格子状形成开关电极(辅助电极)的方法，但在用铝薄膜将其形成的情况下，具有可见光(波长约400～700nm)的反射率极其高，易于产生刺目感这样的特性，所以从触摸面的视觉辨认特性(透射性)劣化。另外，对于在专利文献1的金属薄膜中使用的材料，未必改善耐环境性。例如，在使用铜的情况下，耐蚀性劣化，所以使用领域被限制。另外，在使用金、银等贵金属的情况下，昂贵且产品成本变高。相对于这些，铝的耐蚀性优良并且相对贵金属成本低，但在形成透明电极的情况下，存在可见光反射率高所引起的上述问题。另外，即使在使用由耐环境性优良的铝构成的金属薄膜，进而设置利用低软化点玻璃料的保护层的情况下，在设置于室外、加热器等工业机械的附近，而在低温、高温(-50℃～430℃程度)下，在存在水分(多湿)、酸、碱、粉尘等的严苛的环境下使用的情况下，无法充分对应。另外，在施加强的振动、压力的情况下，存在由金属薄膜构成的电极布线的断线等之虞。特别，在与外部的控制部的连接中使用树脂制FPC的情况下，存在在上述严苛的环境下该部分劣化损伤之虞。本专利技术是为了处置这样的问题而完成的，其目的在于提供一种能够形成高质量的设计形状、抑制了可见光的反射的透明的传感器电极且质感优良、并且、具有充分的耐环境性的静电电容触摸开关面板。本专利技术提供一种静电电容触摸开关面板，具备玻璃基板、和在该玻璃基板上形成了的传感器部而成，其特征在于，所述传感器部具有传感器电极，该传感器电极由在所述玻璃基板的触摸面的相反面侧使用溅射或者真空蒸镀按照开关形状形成了的铝(以下记载为Al)薄膜构成，所述传感器部在所述铝薄膜的至少一部分与所述玻璃基板之间具有中间层，该中间层由包含从铬(以下记载为Cr)、钼(以下记载为Mo)、以及钨(以下记载为W)选择的至少一个金属的薄膜构成。在所述铝薄膜的至少一部分中具有透光部，该透光部是所述铝薄膜以及所述中间层重叠的格子状，该格子之间是开口部。所述传感器部具有在所述玻璃基板的形成了所述Al薄膜的表面侧形成了的、保护所述传感器电极的保护层。所述传感器部具有在所述玻璃基板的形成了所述Al薄膜的表面侧的所述传感器电极之间的空间或者所述传感器电极中形成了的透光部的位置中形成了的、使来自照明光源的光扩散的光扩散层。所述中间层包含从Al的氧化物、以及钛(以下记载为Ti)的氧化物选择的至少一个氧化物。所述静电电容触摸开关面板一体地具有照明光源、和进行利用所述传感器部的触摸检测以及所述照明光源的驱动的控制部。具有在所述玻璃基板的形成了所述传感器部的面侧设置了的罩玻璃，所述玻璃基板和所述罩玻璃被玻璃密封，在该玻璃密封了的空间内配设所述传感器部，具有与所述传感器部连接，从所述玻璃密封了的空间向外部延伸出了的金属制的外部连接端子。另外，所述玻璃基板和所述罩玻璃是不经由隔离部件直接通过密封用玻璃进行玻璃密封而成的。另外，所述玻璃密封了的空间内是真空、或者填充了惰性气体。本专利技术的静电电容触摸开关面板是具备玻璃基板、和在该玻璃基板上形成了的传感器部而成的，上述传感器部具有传感器电极，该传感器电极由在玻璃基板的触摸面的相反面侧使用溅射或者真空蒸镀按照开关形状形成了的Al薄膜构成，上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电电容触摸开关面板，具备玻璃基板和在该玻璃基板上形成的传感器部而成，其特征在于：所述传感器部具有传感器电极，所述传感器电极由在所述玻璃基板的触摸面的相反面侧使用溅射或者真空蒸镀形成为开关形状的铝薄膜构成，所述传感器部在所述铝薄膜的至少一部分与所述玻璃基板之间具有中间层，该中间层由包含从铬、钼以及钨中选择出的至少一种金属的薄膜构成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.10.09 JP 2013-211517;2013.10.09 JP 2013-211511.一种静电电容触摸开关面板，具备玻璃基板和在该玻璃基板上
形成的传感器部而成，其特征在于：
所述传感器部具有传感器电极，所述传感器电极由在所述玻璃基
板的触摸面的相反面侧使用溅射或者真空蒸镀形成为开关形状的铝
薄膜构成，
所述传感器部在所述铝薄膜的至少一部分与所述玻璃基板之间
具有中间层，该中间层由包含从铬、钼以及钨中选择出的至少一种金
属的薄膜构成。
2.根据权利要求1所述的静电电容触摸开关面板，其特征在于：
在所述铝薄膜的至少一部分中具有透光部，该透光部是所述铝薄膜以
及所述中间层重叠的格子状，该格子之间是开口部。
3.根据权利要求1所述的静电电容触摸开关面板，其特征在于：
所述传感器部具有保护层，该保护层形成于在所述玻璃基板的形成了
所述铝薄膜的表面侧，保护所述传感器电极。
4.根据权利要求1所述的静电电容触摸开关面板，其特征在于：
所述传感器部具有光扩散层，该光扩散层形成于在所述玻璃基板的形
成了所述铝薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：前田忠己，神田勇，加藤浩司，冈本崇弘，作田仁司，山中美沙，胜村尚矢，中山裕记，
申请(专利权)人：株式会社则武，则武伊势电子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP