【技术实现步骤摘要】
本申请是申请号为201280055476.4,题为“具有被动转子的机器人驱动器”的中国专利申请的分案申请。其母案申请日为2012年9月14日。
示例性与非限定实施方式大体上涉及机器人驱动器并且更具体地说,涉及具有被动转子的驱动器。
技术介绍
用于半导体集成电路与平面面板显示器的传统制造技术通常包括通过全自动组合设备工具处理硅晶片与通常称作为基板的玻璃面板。通常的组合设备工具可以包括具有载荷锁定件与处理单元的真空室。此工具通常通过机器人操控器(机器人或基板传送装置)服务,机器人操控器从载荷锁定件通过处理单元并且返回到载荷锁定件来循环基板。另一个机器人可以定位在用作真空室的载荷锁定件与通过外部传送系统服务的标准加载端口之间的接口的大气传送单元中。
技术实现思路
下面的
技术实现思路
仅旨在是示例性的。
技术实现思路
不是旨在限定权利要求的范围。根据一个方面,提供了示例基板传送装置,其包括:包括第一电机的驱动部分,其中第一电机包括定子与被动转子;以及连接到第一电机的第一可移动臂组件。基板传送装置配置为以便第一可移动臂组件可定位在真空室中,被动转子与真空室内部的环境连通。根据另一个方面,示例方法包括提供包括驱动部分与连接到驱动部分的第一可移动臂组件的基板传送装置,其中驱动部分包括含有定子与被动转子的电机;并且将基板传送装置连接到真空室,其中第一可移动臂组件定位在真空室中,被动转子与真空室内部的环境连通。根据另一 ...
【技术保护点】
一种装置,包括:电机的定子,其中围绕所述定子提供封套;机器人驱动外壳,被配置为至少部分容纳所述电机;以及连接,其将所述封套连接到所述机器人驱动外壳,其中所述连接将所述封套散热到所述机器人驱动外壳,其中所述封套和所述连接形成从所述定子到所述外壳的热传递散热路径以从所述定子移除热量并将所述热量传递到所述机器人驱动外壳。
【技术特征摘要】
2011.09.16 US 61/627,030;2012.08.15 US 61/683,2971.一种装置,包括:
电机的定子,其中围绕所述定子提供封套;
机器人驱动外壳,被配置为至少部分容纳所述电机;以及
连接,其将所述封套连接到所述机器人驱动外壳,其中所述连接将所述封套散热到所
述机器人驱动外壳,其中所述封套和所述连接形成从所述定子到所述外壳的热传递散热路
径以从所述定子移除热量并将所述热量传递到所述机器人驱动外壳。
2.根据权利要求1所述的装置,其中所述封套包括围绕所述定子的金属中间环,其中所
述环位于围绕所述定子的与所述封套的顶侧和底侧间隔开的中间位置。
3.根据权利要求1所述的装置,其中所述封套包括与所述机器人驱动外壳一体形成的
部分,使得所述部分形成所述封套的部分和所述机器人驱动外壳的部分。
4.根据权利要求1所述的装置,其中所述封套的第一部分位于所述机器人驱动外壳内
侧的内部区域中并且所述封套的第二部分位于延伸在所述外壳外侧。
5.根据权利要求1所述的装置,其中所述定子包括无刷电机定子。
6.根据权利要求1所述的装置,其中所述电机包括没有磁体的基本上实心转子。
7.根据权利要求1所述的装置,其中所述机器人驱动外壳内侧的内部区域包括第一环
境并且所述机器人驱动外壳外侧的区域包括第二不同大气环境,并且其中所述封套位于所
述第一环境和所述第二不同大气环境二者中。
8.根据权利要求1所述的装置,其中所述封套包括围绕所述定子的模制封装。
9.根据权利要求8所述的装置,其中所述封套包括连接到所述模制封装的热导体环,其
中所述热导体环围绕所述定子并且位于所述机器人驱动外壳的外侧。
10.一种装置,包括:
电机的定子,其中中间热传递环围绕所述定子位于与所述定子的顶侧和底侧向内间隔
的中间位...
【专利技术属性】
技术研发人员:M·霍塞克,T·哈,C·霍夫迈斯特,D·普尔,
申请(专利权)人:柿子技术公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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