一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法及系统技术方案

本发明专利技术涉及一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法及系统，其方法包括以下步骤,S1，洗边机台按照预设的洗边对涂有光阻的控片进行光阻洗边；S2，在膜厚机台上对预设的洗边设定一个规格范围,并根据设定的规格范围建立多个膜厚测量点，并根据多个膜厚测量点对光阻洗边后的控片的对应位置分别进行光阻膜厚量测，输出多个膜厚测量点的位置信息；S3，将输出的多个膜厚测量点的位置信息与设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。本发明专利技术可以定期监控，及时地监控洗边机台的光阻洗边精度的变化，及时发现问题，减少良率损失；同时可以避免采用游标卡尺认为测量造成的误差，提高测量光阻洗边的测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光阻洗边监控的方法及系统，具体涉及一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法及系统。
技术介绍
机台光阻洗边是通过洗边机台对控片(一种晶圆)进行涂覆光阻并对涂有光阻的控片按照洗边的精度要求进行边缘清洗，所以洗边机台的光阻洗边精度是非常重要的。在现有技术中，一般只有在机台维护时才会测量洗边机台的光阻洗边的精度，这样一来，间隔时间太长，有问题不能及时发现，导致生产良率下降；同时测量洗边机台的光阻洗边精度的方法为人为的用游标卡尺量，这样会存在一些主观的误差。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法及系统，可以定期、及时和精确的监控光阻洗边。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，包括以下步骤,S1，洗边机台按照预设的洗边对涂有光阻的控片进行光阻洗边；S2，在膜厚机台上对预设的洗边设定一个规格范围,并根据设定的规格范围建立多个膜厚测量点，并根据多个膜厚测量点对光阻洗边后的控片的对应位置分别进行光阻膜厚量测，输出多个膜厚测量点的位置信息；S3，将输出的多个膜厚测量点的位置信息与设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度本专利技术的有益效果是：本专利技术一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法利用测量膜厚的方法来快速准确的监控洗边机台的光阻洗边精度，可以定期监控，及时地监控洗边机台的光阻洗边精度的变化，及时发现问题，减少良率损失；同时可以避免采用游标卡尺认为测量造成的误差，提高测量光阻洗边的测量精度。在上述技术方案的基础上，本专利技术还可以做如下改进。进一步，步骤S1具体为，S11，为洗边机台建立一个洗边控制程序，并在洗边控制程序中预设一个洗边；S12，洗边控制程序按照预设的洗边控制洗边机台对涂有光阻的控片进行光阻洗边。进一步，所述膜厚测量点的个数为8个,8个所述膜厚测量点的位置均在设定的规格范围内。进一步，8个所述膜厚测量点分别为设定的规格范围中的左边下限测量点、左边上限测量点、右边下限测量点、右边上限测量点、上边下限测量点、上边上限测量点、下边下限测量点和下边上限测量点。采用上述进一步方案的有益效果是：8个膜厚测量点，可以测量控片四个方向上的上限值和下限值，是测量点包围控片上光阻的洗边，提高测量精度。进一步，所述步骤S3具体为，S31，建立统计过程控制程序，并通过统计过程控制程序获取多个膜厚测量点的位置数据和设定的规格范围；S32，将获取到的多个膜厚测量点的位置数据和预设的洗边的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。采用上述进一步方案的有益效果是：本专利技术通过统计过程控制程序采用自动化的测量和对比模式，可以减少宕机，及时发现问题，避免人为因素误差。基于上述一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，本专利技术还提供一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的系统。一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的系统，利用上述所述的一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法进行测量,包括光阻洗边模块、膜厚测量模块和光阻精度监控模块，所述光阻洗边模块，其用于通过洗边机台按照预设的洗边对涂有光阻的控片进行光阻洗边；所述膜厚测量模块，其用于对预设的洗边设定一个规格范围,并根据设定的规格范围建立多个膜厚测量点，并根据多个膜厚测量点对光阻洗边后的控片的对应位置分别进行光阻膜厚量测，输出多个膜厚测量点的位置信息；所述光阻精度监控模块，其用于将输出的多个膜厚测量点的位置信息与设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。本专利技术的有益效果是：本专利技术一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的系统利用测量膜厚的方法来快速准确的监控洗边机台的光阻洗边精度，可以定期监控，及时地监控洗边机台的光阻洗边精度的变化，及时发现问题，减少良率损失；同时可以避免采用游标卡尺认为测量造成的误差，提高测量光阻洗边的测量精度。在上述技术方案的基础上，本专利技术还可以做如下改进。进一步，所述光阻洗边模块具体为，为洗边机台建立一个洗边控制程序，并在洗边控制程序中预设一个洗边；洗边控制程序按照预设的洗边控制洗边机台对涂有光阻的控片进行光阻洗边。进一步，所述膜厚测量点的个数为8个,8个所述膜厚测量点的位置均在设定的规格范围内。进一步，8个所述膜厚测量点分别为设定的规格范围中的左边下限测量点、左边上限测量点、右边下限测量点、右边上限测量点、上边下限测量点、上边上限测量点、下边下限测量点和下边上限测量点。采用上述进一步方案的有益效果是：8个膜厚测量点，可以测量控片四个方向上的上限值和下限值，是测量点包围控片上光阻的洗边，提高测量精度。进一步，所述光阻精度监控模块具体为，建立统计过程控制程序，并通过统计过程控制程序获取多个膜厚测量点的位置数据和设定的规格范围；将获取到的多个膜厚测量点的位置数据和设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。采用上述进一步方案的有益效果是：采用上述进一步方案的有益效果是：本专利技术通过统计过程控制程序采用自动化的测量和对比模式，可以减少宕机，及时发现问题，避免人为因素误差。附图说明图1为本专利技术一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法的流程图；图2为本专利技术一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法中光阻洗边与膜厚检测点的结构示意图；图3为图2的侧视图。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本专利技术，并非用于限定本专利技术的范围。如图1所示，一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，包括以下步骤,S1，洗边机台按照预设的洗边对涂有光阻的控片进行光阻洗边；S2，在膜厚机台上对预设的洗边设定一个规格范围,并根据设定的规格范围建立多个膜厚测量点，并根据多个膜厚测量点对光阻洗边后的控片的对应位置分别进行光阻膜厚量测，输出多个膜厚测量点的位置信息；S3，将输出的多个膜厚测量点的位置信息与设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。步骤S1具体为，S11，为洗边机台建立一个洗边控制程序(trackrecipe)，并在洗边控制程序中预设一个洗边；S12，洗边控制程序按照预设的洗边控制洗边机台对涂有光阻的控片进行光阻洗边。在洗边机台的控制程序里面设定一个洗边值，比如说3mm，它会控制洗边机台的洗边喷嘴到指定的位置，对控片上的光阻进行清洗。所述膜厚测量点的个数为8个,8个所述膜厚测量点的位置均在设定的规格范围内。图2为本专利技术一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法中光阻洗边与膜厚检测点的结构示意图，在图2中，外圆为控片，内圆为光阻，外圆与内圆之间的箭头为光阻洗边，实心点为膜厚测量点；图3为图2的侧视图，图3中虚线代表的是光阻洗边的精度，即设定的规格范围，实心点为膜厚测量点；8个所述膜厚测量点分别为设定的规格范围中的左边下限测量点、左边上限测量点、右边下限测量点、右边上限测量点、上边下限测量点、上边上限测量点、下边下限测量点和下边上限测量点。所述步骤S3具体为，S31，建立统计过程控制程序(SPC)，并通过统计过程控制程序获取多个膜厚测量点的位置数据和设定的规格范围；S32，将获取到的多个膜厚测量点的位置数据和设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。以PR2000AEBR控片，预设的洗边为3mm，设定的规格本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，其特征在于：包括以下步骤,S1，洗边机台按照预设的洗边对涂有光阻的控片进行光阻洗边；S2，在膜厚机台上对预设的洗边设定一个规格范围,并根据设定的规格范围建立多个膜厚测量点，并根据多个膜厚测量点对光阻洗边后的控片的对应位置分别进行光阻膜厚量测，输出多个膜厚测量点的位置信息；S3，将输出的多个膜厚测量点的位置信息与设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。

【技术特征摘要】
1.一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，其特征在于：包括以下步骤,S1，洗边机台按照预设的洗边对涂有光阻的控片进行光阻洗边；S2，在膜厚机台上对预设的洗边设定一个规格范围,并根据设定的规格范围建立多个膜厚测量点，并根据多个膜厚测量点对光阻洗边后的控片的对应位置分别进行光阻膜厚量测，输出多个膜厚测量点的位置信息；S3，将输出的多个膜厚测量点的位置信息与设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。2.根据权利要求1所述的一种利用量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，其特征在于：步骤S1具体为，S11，为洗边机台建立一个洗边控制程序，并在洗边控制程序中预设一个洗边；S12，洗边控制程序按照预设的洗边控制洗边机台对涂有光阻的控片进行光阻洗边。3.根据权利要求1或2所述的一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，其特征在于：所述膜厚测量点的个数为8个,8个所述膜厚测量点的位置均在设定的规格范围内。4.根据权利要求3所述的一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，其特征在于：8个所述膜厚测量点分别为设定的规格范围中的左边下限测量点、左边上限测量点、右边下限测量点、右边上限测量点、上边下限测量点、上边上限测量点、下边下限测量点和下边上限测量点。5.根据权利要求1或2所述的一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，其特征在于：所述步骤S3具体为，S31，建立统计过程控制程序，并通过统计过程控制程序获取多个膜厚测量点的位置数据和设定的规格范围；S32，将获取到的多个膜厚测量点的位置数据和设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。6.一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的系统，其特征在于：利用上述权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李碧峰，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42