测试片以及测试片的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种测试片以及测试片的制造方法，所述测试片安置于待测试装置的端子与测试设备的垫片之间以使所述端子与所述垫片彼此电连接，所述方法的步骤包含：制造框架，所述框架包括分别形成于对应于所述待测试装置的所述端子的每一位置处的孔；将框架嵌入至模具并用液体模制材料填充模具；将磁场以模具的厚度方向施加至模具；固化液体模制材料；以及将等于或大于预定温度的热量施加至框架。本发明专利技术通过所述方法即使在较小加压力的情况下仍能保证牢固电连接且能简单地制造测试片。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种制造测试片的方法，通过所述方法能简单地制造测试片且即使在较小负载的情况下仍能保证牢固电连接，以及是关于使用此方法制造的测试片。
技术介绍
一般来说，执行电试验以判定待测试装置(诸如，所制造半导体装置)是否有缺陷。详言之，测试设备通过将试验信号传输至待测试装置来判定待测试装置的基板是否具有短路。测试设备以及待测试装置并不直接彼此接触。实情为，测试设备以及待测试装置通过诸如试验插座的媒介装置彼此间接接触。当测试设备的端子直接接触待测试装置的端子时，测试设备的端子在重复试验期间受到磨损或破坏。当测试设备的端子受到破坏时，应替换测试设备，此情况导致成本增加。因此，当使用试验插座时，待测试装置接触安装于测试设备上的试验插座，且因此当试验插座由于试验插座与待测试装置之间的重复接触而受到磨损或破坏时，仅需要替换试验插座，此情况导致替换成本减少。诸如包含弹簧的弹簧式顶针的各种装置可用作试验插座。然而，最近已使用含有导电粒子的弹性测试片。图1中示出此测试片的实例。通过在弹性材料内含有多个导电粒子(21)而形成测试片(1)。多个导电粒子(21)以测试片(1)的厚度方向定向且形成单一导电部分(20)。多个导电部分(20)可以测试片(1)的表面方向配置且面向待测试设备(50)的端子(51)。配置于并不面向待测试设备(50)的端子(51)的位置处的绝缘支撑件(10)与导电部分(20)组合，且因此支撑导电部分(20)并使导电部分(20)彼此绝缘。当测试片(1)安装于测试设备(40)上时，测试片(1)的导电部分(20)接触测试设备(40)的垫片(41)。接着，当如图2中所示出的下降待测试设备(50)时，待测试设备(50)的端子(51)分别接触导电部分(20)并向下按压测试片(1)。因此，导电部分(20)中的每一者内的导电粒子(21)彼此接触并在端子(51)与接触垫片(41)之间建立电连接。此后，当自测试设备(40)施加预定试验信号时，试验信号通过测试片(1)传输至待测试设备(50)，且由待测试设备(50)反射的反射信号通过测试片(1)进入测试设备(40)。此测试片仅当在厚度方向上受到按压时在其厚度方向上导电。测试片并不使用诸如焊接或弹簧的机械构件，且因此可达成耐用且小型电连接。另外，由于测试片能够吸收机械冲击或变形，因此软连接是可能的。因此，测试片广泛用于在各种电路装置与测试设备之间建立电连接。通过使用新近的测试片经历试验的待测试装置经建构，使得每单位面积配置大量端子，端子之间的间隔减小。在此状况下(也即，当端子数目增加且其间的间隔减小时)，牢固地接触待测试装置的端子以及测试片所需的加压力将增加。然而，当极大地增加加压力时，端子中的一些或测试片可受到破坏。因此，考虑到上文问题，如图3中所示出的各自垂直延伸的凹槽(11)可形成于绝缘支撑件(10)中，使得端子中的一些或测试片可甚至在较小加压力的情况下容易地变形。为如上文所描述地在绝缘支撑件(10)内形成凹槽(11)，将激光光束用于照射导电部分之间的区域，或使用切割设备。然而，上文方法要求许多时间。特定言之，当存在许多导电部分时，密集地形成凹槽并不容易。另外，由于凹槽由于其特性而垂直凹陷，因此凹槽可主要仅吸收导电部分的上部部分的变形。因此，甚至无法预期导电部分的变形。
技术实现思路
技术问题本专利技术概念提供一种制造测试片的方法，通过所述方法即使在较小加压力的情况下仍能保证牢固电连接且能简单地制造测试片，以及提供一种使用此方法制造的测试片。技术解决方案根据本专利技术概念的实施例，提供一种制造安置于待测试装置的端子与测试设备的垫片之间且将所述端子电连接至所述垫片的测试片的方法，所述方法包含：自第一材料制造框架，当将预定温度或更大的热量施加至所述第一材料时所述第一材料能够自固态改变至气态，所述框架包括分别形成于对应于所述待测试装置的所述端子的位置处的孔；将所述框架嵌入至模具并用通过在液体聚合物内分布磁性导电粒子所形成的液体模制材料填充所述模具；将磁场以所述模具的厚度方向施加至所述模具，使得所述导电粒子在所述液体模制材料内配置于对应于所述待测试装置的所述端子的所述位置中的每一者处；通过固化所述液体模制材料制造与所述框架整合的测试片；以及通过将预定温度或更大的热量施加至所述框架来气化所述框架而自所述测试片移除所述框架而在所述测试片内形成连通孔。所述第一材料可为发泡剂。所述发泡剂可为碳酸钠、偶氮甲酰胺或苯磺酰肼。所述框架可进一步包含第二材料，当将热量施加至呈固态的所述第二材料时所述第二材料改变至液体。所述第二材料可为石蜡烃或醇脂肪酸酯。所述框架可包含位于所述测试片内的内部部分以及暴露于所述测试片外部的暴露部分。由于所述内部部分连接至所述暴露部分，因此呈气态的所述第一材料可自所述内部部分释放至外部。所述连通孔可彼此连接，且所述连通孔中的每一者的至少一部分可连接至外部。多个框架可彼此分隔开地配置于所述测试片的厚度方向上。根据本专利技术概念的另一实施例，提供一种制造安置于待测试装置的端子与测试设备的垫片之间且将所述端子电连接至所述垫片的测试片的方法，所述方法包含：制造包括分别形成于对应于所述待测试装置的所述端子的位置处的通孔的框架；将所述框架嵌入至模具并用通过在液体聚合物内分布磁性导电粒子所形成的液体模制材料填充所述模具；将磁场以所述模具的厚度方向施加至所述模具，使得所述导电粒子在所述液体模制材料内以所述厚度方向配置于对应于所述待测试装置的所述端子的所述位置中的每一者处；通过固化所述液体模制材料制造与所述框架整合的测试片；以及通过以所述测试片的平面方向移动所述框架而自所述测试片移除所述框架而在所述测试片内形成连通孔。所述框架的至少一部分可暴露于所述测试片外部。所述框架可包含以规则间隔彼此分隔开地配置且各自以一个方向延伸的横杆型部件。多个框架可配置于所述测试片的厚度方向上，使得在所述测试片的厚度方向上彼此邻近的所述框架的横杆型部件以直角彼此交叉。所述连通孔可彼此连接，且所述连通孔中的每一者的至少一部分可连接至外部。多个所述框架可彼此分隔开地配置于所述测试片的厚度方向上。根据本专利技术概念的另一实施例，提供一种使用前述方法制造的测试片。根据本专利技术概念的另一实施例，提供一种安置于待测试装置的端子与测试设备的垫片之间且将所述端子电连接至所述垫片的测试片，所述测试片包含：分别配置于对应于所述待测试装置的所述端子的位置处的多个导电部分，所述导电部分中的每一者以所述测试片的厚度方向延伸且通过在弹性绝缘材料中含有多个导电粒子而形成；以及分别支撑所述多个导电部分并使所述多个导电部分彼此绝缘的绝缘支撑件。所述绝缘支撑件包含连通孔，每一连通孔以垂直于所述厚度方向的方向延伸通过所述多个导电部分之间的区域，且所述连通孔中的每一者的末端连接至外部。所述连通孔中的每一者的横截面可为圆形或矩形。如自所述测试片的顶部检视，所述连通孔可形成网格。有益效果根据本专利技术概念的测试片包含水平延伸的连通孔以即使在较小加压力的情况下仍促进牢固电连接，且所述测试片被简单地制造。附图说明图1为现有测试片的横截面图；图2说明图1的操作；图3为另一现有测试片的横截面图；图4至图8说明根据本专利技术概念的实施例的制造测试片的方法；图9为通过图4至图8中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试片的制造方法，其制造安置于待测试装置的端子与测试设备的垫片之间且将所述端子电连接至所述垫片的测试片，所述测试片的制造方法包括：自第一材料制造框架，当将预定温度或更大的热量施加至所述第一材料时所述第一材料能够自固态改变至气态，所述框架包括分别形成于对应于所述待测试装置的所述端子的位置处的孔；将所述框架嵌入至模具且用通过在液体聚合物内分布磁性导电粒子所形成的液体模制材料填充所述模具；将磁场以所述模具的厚度方向施加至所述模具，使得所述导电粒子在所述液体模制材料内配置于对应于所述待测试装置的所述端子的所述位置中的每一者处；通过固化所述液体模制材料制造与所述框架整合的测试片；以及通过将预定温度或更大的热量施加至所述框架来气化所述框架而自所述测试片移除所述框架而在所述测试片内形成连通孔。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.04.11 KR 10-2014-00436851.一种测试片的制造方法，其制造安置于待测试装置的端子与测试设备的垫片之间且将所述端子电连接至所述垫片的测试片，所述测试片的制造方法包括：自第一材料制造框架，当将预定温度或更大的热量施加至所述第一材料时所述第一材料能够自固态改变至气态，所述框架包括分别形成于对应于所述待测试装置的所述端子的位置处的孔；将所述框架嵌入至模具且用通过在液体聚合物内分布磁性导电粒子所形成的液体模制材料填充所述模具；将磁场以所述模具的厚度方向施加至所述模具，使得所述导电粒子在所述液体模制材料内配置于对应于所述待测试装置的所述端子的所述位置中的每一者处；通过固化所述液体模制材料制造与所述框架整合的测试片；以及通过将预定温度或更大的热量施加至所述框架来气化所述框架而自所述测试片移除所述框架而在所述测试片内形成连通孔。2.根据权利要求1所述的测试片的制造方法，其中所述第一材料为发泡剂。3.根据权利要求2所述的测试片的制造方法，其中所述发泡剂为碳酸钠、偶氮甲酰胺或苯磺酰肼。4.根据权利要求1所述的测试片的制造方法，其中所述框架进一步包含第二材料，当将热量施加至呈固态的所述第二材料时所述第二材料改变至液体。5.根据权利要求4所述的测试片的制造方法，其中所述第二材料为石蜡烃或醇脂肪酸酯。6.根据权利要求1所述的测试片的制造方法，其中所述框架包括位于所述测试片内的内部部分以及暴露于所述测试片外部的暴露部分，且由于所述内部部分连接至所述暴露部分，因此呈气态的所述第一材料自所述内部部分释放至所述外部。7.根据权利要求1所述的测试片的制造方法，其中所述连通孔彼此连接，且所述连通孔中的每一者的至少一部分连接至所述外部。8.根据权利要求1所述的测试片的制造方法，其中多个框架彼此分隔开地配置在所述测试片的厚度方向上。9.一种测试片的制造方法，其制造安置于待测试装置的端子与测试设备的垫片之间且将所述端子电连接至所述垫片的测试片，所述测试片的制造方法包括：制造包括分别形成于对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：李柄周，李学龙，金锺元，
申请(专利权)人：株式会社ISC，
类型：发明
国别省市：韩国;KR