一种自动OLED基板高效热处理设备制造技术

本发明专利技术公开了一种产线用OLED基板高效热处理设备，包括腔体，基板出口和基板入口，基板入口设置在腔体左侧腔壁的下部，基板出口设置在腔体右侧腔壁的上部；还包括由处理室左部、处理室中部和处理室右部组成的处理室，处理室放置在腔体内部；所述水平向传动装置和升降装置都与计算机相连。本发明专利技术的产线用OLED基板高效热处理设备优点为：能够在产线上自动运行，工艺误差低，成本低，体积小。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示器件的热处理
，特别是一种自动OLED基板高效热处理设备。
技术介绍
由于OLED对水汽特别敏感以及退火和热固化等低温热处理工艺的需要，在整个工艺制程中除了用于活化，氢化以及结晶等中、高温热处理工艺(大于500℃)以外，还较多的使用了低温热处理工艺(80-230℃)，目前这一类低温热处理工艺设备大多使用独立方式，通常是离线独立设备配置封包装置,然后通过工厂的物流转运系统如:空中往返运输车和存储货架等方式和其他设备进行工艺连接。该方式通常使得连线转运过程复杂、时间延长、产能降低且成本增加。由于该类型设备通常采用的方式为CCBS(ContinuousCleanBatchsystem)即进出口由同一只机械手，同一个窗口进出热处理腔体完成，就是一片一片的装进取出，突出的是装和取同时连续的进行，和单台固化炉原理一样，这从程序上就无法避免当工艺时间(ex:1800s,230℃)到达时，机械手却正在进行入口的动作而导致实际加热时间过长，根据经验如果从距离热处理腔体的盒内进行取片装载，延误时间会超过100秒甚至更长，一方面这种方式本身影响对加热系统的充分利用，降低了产能，更重要的是工艺控制得不到保证，影响产品质量。通常使用CCBS的系统内部没有对进入加热腔体的基片进行管理，即有可能玻璃在腔体内发生破碎而不被识别，继续装载和取放动作，那么由于破碎造成的微粒将会大面积污染产品。也有一些工艺设备配置为平衡穿梭式传输的产线方式将上下流工艺进行衔接，但往往该方式使得设备长度超过十米以上，对于洁净间的建造和维护成本大大增加。
技术实现思路
本专利技术是解决上述问题，提供一种能在产线上使用并且入口和出口不在一起的自动OLED基板高效热处理设备。本专利技术的自动OLED基板高效热处理设备，包括腔体，基板出口和基板入口，基板入口设置在腔体左侧腔壁的下部，基板出口设置在腔体右侧腔壁的上部；还包括由处理室左部、处理室中部和处理室右部组成的处理室，处理室放置在腔体内部；处理室左部包括处理室左部底层、处理室左部一层、处理室左部二层、处理室左部三层和处理室左部四层，处理室左部底层、处理室左部一层、处理室左部二层、处理室左部三层和处理室左部四层依次重叠；处理室中部包括处理室中部底层、处理室中部一层、处理室中部二层、处理室中部三层和处理室中部四层，处理室中部底层、处理室中部一层、处理室中部二层、处理室中部三层和处理室中部四层依次重叠；处理室右部包括处理室右部底层、处理室右部一层、处理室右部二层、处理室右部三层和处理室右部四层，处理室右部底层、处理室右部一层、处理室右部二层、处理室右部三层和处理室右部四层依次重叠；处理室左部底层、处理室左部一层、处理室左部二层、处理室左部三层、处理室左部四层、处理室中部底层、处理室中部一层、处理室中部二层、处理室中部三层、处理室中部四层、处理室右部底层、处理室右部一层、处理室右部二层、处理室右部三层和处理室右部四层都设置有水平向传动装置；处理室右部一层、处理室左部二层、处理室右部三层和处理室左部四层还设置有升降装置；所述水平向传动装置和升降装置都与计算机相连。优选地，所述处理室左部底层、处理室左部一层、处理室左部二层、处理室左部三层、处理室左部四层、处理室中部底层、处理室中部一层、处理室中部二层、处理室中部三层、处理室中部四层、处理室右部底层、处理室右部一层、处理室右部二层、处理室右部三层和处理室右部四层都含设置有水平方位的拨动式传感器。优选地，所述处理室右部一层、处理室左部二层、处理室右部三层和处理室左部四层还设置有垂直方向的拨动式传感器。优选地，所述水平向传动装置的材质为PI材质。优选地，所述处理室左部底层、处理室中部底层和处理室右部底层安装有驱动装置。优选地，所述驱动装置和拨动式传感器之间的连接线材采用铠装隔热材料包裹。综上所述，本专利技术的自动OLED基板高效热处理设备优点为：能够在产线上自动运行，工艺误差低，成本低，体积小。附图说明图1为自动OLED基板高效热处理设备腔体图；图2为自动OLED基板高效热处理设备结构图；图3为处理室结构图；图4为本专利技术的实施例处理室内部流程图。具体实施方式下面结合附图和具体的实施例对本专利技术作进一步的阐述。本专利技术的自动OLED基板高效热处理设备，包括腔体1，基板出口2和基板入口3，基板入口3设置在腔体1左侧腔壁的下部，基板出口2设置在腔体1右侧腔壁的上部；还包括由处理室左部4、处理室中部5和处理室右部6组成的处理室，处理室放置在腔体1内部；处理室左部4包括处理室左部底层41、处理室左部一层42、处理室左部二层43、处理室左部三层44和处理室左部四层45，处理室左部底层41、处理室左部一层42、处理室左部二层43、处理室左部三层44和处理室左部四层45依次重叠；处理室中部5包括处理室中部底层51、处理室中部一层52、处理室中部二层53、处理室中部三层54和处理室中部四层55，处理室中部底层51、处理室中部一层52、处理室中部二层53、处理室中部三层54和处理室中部四层55依次重叠；处理室右部6包括处理室右部底层61、处理室右部一层62、处理室右部二层63、处理室右部三层64和处理室右部四层65，处理室右部底层61、处理室右部一层62、处理室右部二层63、处理室右部三层64和处理室右部四层65依次重叠；处理室左部底层41、处理室左部一层42、处理室左部二层43、处理室左部三层44、处理室左部四层45、处理室中部底层51、处理室中部一层52、处理室中部二层53、处理室中部三层54、处理室中部四层55、处理室右部底层61、处理室右部一层62、处理室右部二层63、处理室右部三层64和处理室右部四层65都设置有水平向传动装置；处理室右部一层62、处理室左部二层43、处理室右部三层64和处理室左部四层45还设置有升降装置。所述处理室左部底层41、处理室左部一层42、处理室左部二层43、处理室左部三层44、处理室左部四层45、处理室中部底层51、处理室中部一层52、处理室中部二层53、处理室中部三层54、处理室中部四层55、处理室右部底层61、处理室右部一层62、处理室右部二层63、处理室右部三层64和处理室右部四层65都含设置有水平方位的拨动式传感器。所述处理室右部一层62、处理室左部二层43、处理室右部三层64和处理室左部四层45还设置有垂直方向的拨动式传感器。所述水平向传动装置的材质为PI材质。所述处理室左部底层41、处理室中部底层51和处理室右部底层61本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动OLED基板高效热处理设备，其特征在于：包括腔体(1)，基板出口(2)和基板入口(3)，基板入口(3)设置在腔体(1)左侧腔壁的下部，基板出口(2)设置在腔体(1)右侧腔壁的上部；还包括由处理室左部(4)、处理室中部(5)和处理室右部(6)组成的处理室，处理室放置在腔体(1)内部；处理室左部(4)包括处理室左部底层(41)、处理室左部一层(42)、处理室左部二层(43)、处理室左部三层(44)和处理室左部四层(45)，处理室左部底层(41)、处理室左部一层(42)、处理室左部二层(43)、处理室左部三层(44)和处理室左部四层(45)依次重叠；处理室中部(5)包括处理室中部底层(51)、处理室中部一层(52)、处理室中部二层(53)、处理室中部三层(54)和处理室中部四层(55)，处理室中部底层(51)、处理室中部一层(52)、处理室中部二层(53)、处理室中部三层(54)和处理室中部四层(55)依次重叠；处理室右部(6)包括处理室右部底层(61)、处理室右部一层(62)、处理室右部二层(63)、处理室右部三层(64)和处理室右部四层(65)，处理室右部底层(61)、处理室右部一层(62)、处理室右部二层(63)、处理室右部三层(64)和处理室右部四层(65)依次重叠；处理室左部底层(41)、处理室左部一层(42)、处理室左部二层(43)、处理室左部三层(44)、处理室左部四层(45)、处理室中部底层(51)、处理室中部一层(52)、处理室中部二层(53)、处理室中部三层(54)、处理室中部四层(55)、处理室右部底层(61)、处理室右部一层(62)、处理室右部二层(63)、处理室右部三层(64)和处理室右部四层(65)都设置有水平向传动装置；处理室右部一层(62)、处理室左部二层(43)、处理室右部三层(64)和处理室左部四层(45)还设置有升降装置；所述水平向传动装置和升降装置都与计算机相连。...

【技术特征摘要】
1.一种自动OLED基板高效热处理设备，其特征在于：包括腔体(1)，基板出口(2)
和基板入口(3)，基板入口(3)设置在腔体(1)左侧腔壁的下部，基板出口(2)设置在
腔体(1)右侧腔壁的上部；还包括由处理室左部(4)、处理室中部(5)和处理室右部(6)
组成的处理室，处理室放置在腔体(1)内部；处理室左部(4)包括处理室左部底层(41)、
处理室左部一层(42)、处理室左部二层(43)、处理室左部三层(44)和处理室左部四层
(45)，处理室左部底层(41)、处理室左部一层(42)、处理室左部二层(43)、处理室
左部三层(44)和处理室左部四层(45)依次重叠；处理室中部(5)包括处理室中部底层(51)、
处理室中部一层(52)、处理室中部二层(53)、处理室中部三层(54)和处理室中部四层
(55)，处理室中部底层(51)、处理室中部一层(52)、处理室中部二层(53)、处理室
中部三层(54)和处理室中部四层(55)依次重叠；处理室右部(6)包括处理室右部底层(61)、
处理室右部一层(62)、处理室右部二层(63)、处理室右部三层(64)和处理室右部四层
(65)，处理室右部底层(61)、处理室右部一层(62)、处理室右部二层(63)、处理室
右部三层(64)和处理室右部四层(65)依次重叠；处理室左部底层(41)、处理室左部一
层(42)、处理室左部二层(43)、处理室左部三层(44)、处理室左部四层(45)、处理
室中部底层(51)、处理室中部一层(52)、处理室中部二层(53)、处理室中部三层(54)、
处理室中部四层(55)、处理室右部底层(61)、...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：四川虹视显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51