【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空
,具体地说是一种前置于真空获得设备的气体过滤装置。
技术介绍
真空泵工作领域广泛,实际工艺复杂多变,被抽气体中夹杂裹挟的粉尘、水油蒸汽如果进入真空泵抽系统,将给设备带来很大危害,影响生产,增加设备维护成本和周期。在泵前置一气体过滤器有利于保护真空泵,也有利于整个抽气系统的排气清洁保持。目前多数过滤器采用单级、圆柱形滤芯、进气与出气简单上下对向布置、过滤介质单一、无压力监测的滤气形式。缺点为:功能单一,效率低,功体比小,维护间隔短,过滤器内部清洁困难。
技术实现思路
针对上述问题,本专利技术的目的在于提供一种前置于真空获得设备的气体过滤装置。为了实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种前置于真空获得设备的气体过滤装置,包括上级过滤器、中间连接盘及下级过滤器,其中下级过滤器的下端设有下级进气口,上端与上级过滤器的底部连接,所述上级过滤器的顶部设有上级排气口,所述中间连接盘设置于上级过滤器的底部,所述中间连接盘上沿周向设有多个将上级过滤器和下级过滤器连通的通孔。所述下级过滤器包括下级过滤器腔体和设置于下级过滤器腔体内的下级滤芯,所述下级进气口设置于下级过滤器腔体的下端侧壁上,所述下级滤芯的侧壁上背对下级进气口的位置设有下级滤芯进气口,所述下级滤芯的顶部设有与中间连接盘上的通孔连通的下级滤芯出气口。所述上级过滤器包括上盖板、上级过滤腔体及设置于上级过滤腔体内的上级滤芯,其中上盖板设置于上级过滤腔体的顶部,所述上级排气口设置于上盖板上,所述上级滤芯的中心孔与 ...
【技术保护点】
一种前置于真空获得设备的气体过滤装置,其特征在于:包括上级过滤器(A)、中间连接盘(5)及下级过滤器(B),其中下级过滤器(B)的下端设有下级进气口(2),上端与上级过滤器(A)的底部连接,所述上级过滤器(A)的顶部设有上级排气口(10),所述中间连接盘(5)设置于上级过滤器(A)的底部,所述中间连接盘(5)上沿周向设有多个将上级过滤器(A)和下级过滤器(B)连通的通孔。
【技术特征摘要】
1.一种前置于真空获得设备的气体过滤装置,其特征在于:包括上级过
滤器(A)、中间连接盘(5)及下级过滤器(B),其中下级过滤器(B)的下
端设有下级进气口(2),上端与上级过滤器(A)的底部连接,所述上级过滤
器(A)的顶部设有上级排气口(10),所述中间连接盘(5)设置于上级过滤
器(A)的底部,所述中间连接盘(5)上沿周向设有多个将上级过滤器(A)
和下级过滤器(B)连通的通孔。
2.按权利要求1所述的前置于真空获得设备的气体过滤装置,其特征在
于:所述下级过滤器(B)包括下级过滤器腔体(1)和设置于下级过滤器腔
体(1)内的下级滤芯(3),所述下级进气口(2)设置于下级过滤器腔体(1)
的下端侧壁上,所述下级滤芯(3)的侧壁上背对下级进气口(2)的位置设
有下级滤芯进气口,所述下级滤芯(3)的顶部设有与中间连接盘(5)上的
通孔连通的下级滤芯出气口。
3.按权利要求1所述的前置于真空获得设备的气体过滤装置,其特征在
于:所述上级过滤器(A)包括上盖板(12)、上级过滤腔体(7)及设置于上
级过滤腔体(7)内的上级滤芯,其中上盖板(12)设置于上级过滤腔体(7)
的顶部,所述上级排气口(10)设置于上盖板(12)上,所述上级滤芯的中
心孔与上级排气口(10)连通,所述中间连接盘(5)...
【专利技术属性】
技术研发人员:王光玉,汤剑,李昌龙,
申请(专利权)人:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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