【技术实现步骤摘要】
各种实施例涉及可以包括光子晶体传感元件的传感器以及用于制造具有光子晶体传感元件的传感器的方法。
技术介绍
许多传感器设备依赖于振动的晶体隔膜从而进行工作。隔膜的振动能够产生可以被转换为电脉冲的信号。然而,隔膜被这种振动施压。环境压力对于隔膜的大的以及/或突然的振动可以导致隔膜中的破裂并且因此使得传感器无法操作。由于在校准隔膜的正确弹力(弹性常数)以及因此的设备的正确操作电压中经常产生问题,制造例如耐震的鲁棒的隔膜传感器可能非常具有挑战性。公开一种传感器以及用于制造传感器的方法,其可以执行晶体隔膜传感器的许多相同的功能但是不需要移动部件。
技术实现思路
在各种实施例中,提供一种传感器。该传感器可以包括具有开口的基底、在该基底中的光源、在基底中的光学探测器以及跨越该开口的结构,该开口贯穿基底的中心部分。根据各种实施例,同样地公开一种用于制造传感器的方法。附图说明在附图中,贯穿不同的视图,相同的参考标号大体上指代本公开中的相同部分。附图未必按照比例,而是通常强调图示本公开的原理。在下面的描述中,参照附图对本公开的各个实施例进行描述,其中:图1示出了根据可能的实施例的传感器的横截面表示,该传感器可以包括基底、光源、光学探测器以及多个布置在光源和光学探测器之间的光学路径中的在基底中的光学空腔;图2A示出了根据一个实施例的图1的传感器的侧视横截面表示;图2B示出了根 ...
【技术保护点】
一种气体传感器,包括:基底;光源;光学探测器;在所述基底中或者在所述基底之上的层结构中的多个光学空腔;其中所述多个光学空腔被布置在所述光源和所述光学探测器之间的光学路径中;以及气体探测器,被耦合到所述光学探测器,并且被配置为接收代表由所述光学探测器接收到的光学信号的信号并且基于所接收到的信号来确定一个或多个预先限定的气体是否存在于所述多个光学空腔中。
【技术特征摘要】
2014.12.02 US 14/557,5841.一种气体传感器,包括:
基底;
光源;
光学探测器;
在所述基底中或者在所述基底之上的层结构中的多个光学空腔;
其中所述多个光学空腔被布置在所述光源和所述光学探测器之间的
光学路径中;以及
气体探测器,被耦合到所述光学探测器,并且被配置为接收代表
由所述光学探测器接收到的光学信号的信号并且基于所接收到的信
号来确定一个或多个预先限定的气体是否存在于所述多个光学空腔
中。
2.根据权利要求1所述的气体传感器,
其中所述光源被配置为生成被传输到所述光学探测器的光源信
号。
3.根据权利要求1所述的气体传感器,进一步包括:
被形成在所述基底之上并且被电耦合到所述光源的第一对接触
焊盘以及被形成在所述基底之上并且被电耦合到所述光学探测器的
第二对接触焊盘。
4.根据权利要求1所述的气体传感器,
其中所述光源包括第一半导体二极管;并且
其中所述光学探测器包括第二半导体二极管。
5.根据权利要求1所述的气体传感器,
其中所述多个光学空腔包括光子晶体结构。
6.根据权利要求1所述的气体传感器,
其中所述多个光学空腔包括在所述基底中的穿孔,其中一系列的
片状结构分隔所述穿孔。
7.一种温度传感器,包括:
基底;
光源;
光学探测器;
在所述基底中的多个光学空腔;
其中所述多个光学空腔被布置在所述光源和所述光学探测器之
间的光学路径中;以及
处理电路,被耦合到所述光学探测器并且被配置为处理由所述光
学探测器接收到的光学信号并且基于所接收到的信号来确定温度。
8.根据权利要求7所述的温度传感器,进一步包括:
被形成在所述基底之上并且被电耦合到所述光源的第一对接触
焊盘以及被形成在所述基底之上并且被电耦合到所述光学探测器的
第二对接触焊盘。
9.根据权利要求7所述的温度传感器,
其中所述多个光学空腔包括在所述基底中的穿孔,其中一系列的
片状结构分隔所述穿孔。
10.根据权利要求7所述的温度传感器,
其中所述光源被配置为生成被传输到所述光学探测器的光源信
号。
11.根据权利要求7所述的温度传感器,进一步包括:
包括所述多...
【专利技术属性】
技术研发人员:J·希尔瓦诺德索萨,T·格里勒,U·赫德尼格,P·伊尔西格勒,T·奈德哈特,V·K·拉贾拉曼,
申请(专利权)人:英飞凌科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:德国;DE
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