一种去离子钢瓶清洗及灌装设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种去离子钢瓶清洗及灌装设备，所述去离子钢瓶清洗及灌装设备包括：箱体、设置于所述箱体上用于改变所述待清洗的去离子钢瓶的放置角度的钢瓶倾倒部件、及用于控制清洗或灌装的控制面板；其中，所述箱体上设置有真空输出口、去离子水输出口及气体输出口，所述真空输出口通过一真空管路与所述待灌装的去离子钢瓶相通，所述去离子水输出口和所述气体输出口分别通过一去离子水管路和一气体管路与所述待清洗的去离子钢瓶相通。通过对控制面板进行操作，实现自动化清洗去离子钢瓶或灌装去离子钢瓶，操作过程简单，避免耗费大量人力物力进行钢瓶的再加工，提高了清洗及灌装的效率，降低了成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化工装备
，尤其涉及一种去离子钢瓶清洗及灌装设备。
技术介绍
化学气相沉积(CVD)的机台在运行过程中都需要使用高频的射频(RadioFrequency)，但高频射频的使用会产生大量的废热，为了使机台稳定在恒定温度，通常大部分化学气相沉积机台使用热交换器(Heaterexchange)对射频激发的废热降温。为了防止射频的大量流失，热交换器都需要使用没有导电性质且阻值必须大于2MΩ的去离子水(DIwater)，但是纯的离子水阻值通常小于0.5MΩ，为了使其阻值大于2MΩ，通常采用在热交换器水流环路里接入去离子钢瓶(DItank)提高去离子的水阻值。去离子钢瓶里面所含成分为：去离子水、异丙醇和树脂。热交换器在接入去离子钢瓶后，去离子水的阻值将会从0.5MΩ左右上升到6MΩ左右，以满足生产之工艺要求；但是去离子水阻值也会随着使用时间变长而不断变小，当水阻值小于2MΩ时就需要更换去离子钢瓶。在化学气相沉积区域应用材料生产的设备都需要分别配置独立的去离子钢瓶，一般一个去离子钢瓶可使用2个月左右，因此去离子钢瓶的需求量非常大，增大了生产成本。为了减少成本支出，出现了以下几种方案：1)将使用过的去离子钢瓶交给有资质的厂家重新加工以实现去离子钢瓶的重复利用。但该方案存在的缺点为：所需的成本仍然较高，成本降低不够明显；2)尝试在没有设备辅助的情况下人工对去离子钢瓶进行重复利用，相关工序包括：清洗去离子钢瓶，填充树脂，注入50％去离子水和注入50％乙二醇，从而达到跟新的去离子钢瓶一样的效果。但该方案虽然进一步降低了成本，但其存在的缺点为：人工做去离子钢瓶的重复利用需要耗时耗力，效率较低，特别是在清洗和填充树脂这两个工序，一般清洗工序都需要重复4到5次，且钢瓶比较重(约25千克/个)，在没有辅助设备的情况下大大增加了因操作而受伤的风险。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种去离子钢瓶清洗及灌装设备，以解决现有技术中去离子钢瓶进行重复利用的方法存在成本高、耗时耗力的问题。为了解决上述技术问题，本技术提供一种去离子钢瓶清洗及灌装设备，用于对待清洗的去离子钢瓶进行清洗，并对待灌装的去离子钢瓶进行灌装，所述去离子钢瓶清洗及灌装设备，包括：箱体、设置于所述箱体上用于改变所述待清洗的去离子钢瓶的放置角度的钢瓶倾倒部件、及用于控制清洗或灌装的控制面板；其中，所述箱体上设置有真空输出口、去离子水输出口及气体输出口，所述真空输出口通过一真空管路与所述待灌装的去离子钢瓶相通，所述去离子水输出口和所述气体输出口分别通过一去离子水管路和一气体管路与所述待清洗的去离子钢瓶相通。可选的，在所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，所述控制面板上设置有电源开关、用于控制所述去离子水管路中去离子水通断的去离子水开关、用于控制所述气体管路中气体通断的气体开关、及用于控制所述真空管路真空状态的真空开关。可选的，在所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，所述真空管路、去离子水管路和气体管路上均各设置有气动阀。可选的，在所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，所有气动阀的驱动气体均为氮气。可选的，在所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，还包括设置于所述箱体上的用于提供输入所述驱动气体的驱动气体输入口。可选的，在所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，所述箱体上还设置有用于实现真空状态的真空输入口、用于提供输入所述去离子水的去离子水输入口及用于提供输入所述气体的气体输入口。可选的，在所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，所述真空输入口与所述真空输出口之间设置有第一管路，所述去离子水输入口与去离子水输出口之间设置有第二管路，所述气体输入口与所述气体输出口之间设置有第三管路，所述第一管路、第二管路和第三管路上均各设置有一电磁阀，所述控制面板连接所述电磁阀。可选的，在所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，所述钢瓶倾倒部件包括用于放置所述待清洗的去离子钢瓶的托盘、与所述托盘固定连接的操作杆、设置于操作杆一侧的轴承，所述轴承固定在所述箱体上。可选的，在所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，还包括设置于所述箱体的底部用于排污的排污口。可选的，在所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，还包括用于支撑及移动所述箱体的滑轮，所述滑轮设置于所述箱体底部。可选的，在所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，还包括用于承载待灌装的去离子钢瓶的固定底座，所述固定底座设置于所述箱体一侧。在本技术所提供的去离子钢瓶清洗及灌装设备中，所述去离子钢瓶清洗及灌装设备包括：箱体、设置于所述箱体上用于改变所述待清洗的去离子钢瓶的放置角度的钢瓶倾倒部件、及用于控制清洗或灌装的控制面板；其中，所述箱体上设置有真空输出口、去离子水输出口及气体输出口，所述真空输出口通过一真空管路与所述待灌装的去离子钢瓶相通，所述去离子水输出口和所述气体输出口分别通过一去离子水管路和一气体管路与所述待清洗的去离子钢瓶相通。通过对控制面板进行操作，实现自动化清洗去离子钢瓶或灌装去离子钢瓶，操作过程简单，避免耗费大量人力物力进行钢瓶的再加工，提高了清洗及灌装的效率，降低了成本。附图说明图1是本技术一实施例中去离子钢瓶清洗及灌装设备的结构示意图；图2是本技术一实施例中去离子钢瓶清洗及灌装设备的箱体内部的结构示意图。图中：箱体-1；真空输出口-10；去离子水输出口-11；气体输出口-12；真空输入口-13；去离子水输入口-14；气体输入口-15；驱动气体输入口-16；第一管路-17；第二管路-18；第三管路-19；钢瓶倾倒部件-2；托盘-20；操作杆-21；轴承-22；控制面板-3；电源开关-30；去离子水开关-31；气体开关-32；真空开关-33；待灌装的去离子钢瓶-4；待清洗的去离子钢瓶-5；气动阀-V1；电磁阀-V2；排污口-6；滑轮-7；固定底座-8；漏斗-9。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的去离子钢瓶清洗及灌装设备作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参考图1，其为本技术实施例的去离子钢瓶清洗及灌装设备的结构示意图。如图1所示，所述去离子钢瓶清洗及灌装设备用于对待清洗的去离子钢瓶进行清洗，并对待灌装的去离子钢瓶进行灌装，主要包括：箱体1、设置于所述箱体1上用于改变所述待清洗的去离子钢瓶的放置角度的钢瓶倾倒部件2、及用于控制清洗或灌装的控制面板3；其中，所述箱体1上设置有真空输出口10、去离子水输出口11及气体输出口12，所述真空输出口10通过一真空管路与所述待灌装的去离子钢瓶4相通，所述去离子水输出口11和所述气体输出口12分别通过一去离子水管路和一气体管路与所述待清洗的去离子钢瓶5相通。其中，真空状态、去离子水及氮气分别来源于厂务真空、厂务去离子水及厂务氮气。为了便于人工操作，所述控制面板3上设置有电源开关30、用于控制所述去离子水管路中去离子水通断的去离子水开关31、用于控制所述气体管路中气体通断的气体开关32、及用于控制所述真空管路真空状态的真空开关33。所述电源开关30开启或关闭实现对去离子钢瓶清洗及灌装设备供应能源的控制。请结合参考图1及图2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种去离子钢瓶清洗及灌装设备，用于对待清洗的去离子钢瓶进行清洗，并对待灌装的去离子钢瓶进行灌装，其特征在于，所述去离子钢瓶清洗及灌装设备包括：箱体、设置于所述箱体上用于改变所述待清洗的去离子钢瓶的放置角度的钢瓶倾倒部件、及用于控制清洗或灌装的控制面板；其中，所述箱体上设置有真空输出口、去离子水输出口及气体输出口，所述真空输出口通过一真空管路与所述待灌装的去离子钢瓶相通，所述去离子水输出口和所述气体输出口分别通过一去离子水管路和一气体管路与所述待清洗的去离子钢瓶相通。

【技术特征摘要】
1.一种去离子钢瓶清洗及灌装设备，用于对待清洗的去离子钢瓶进行清洗，并对待灌装的去离子钢瓶进行灌装，其特征在于，所述去离子钢瓶清洗及灌装设备包括：箱体、设置于所述箱体上用于改变所述待清洗的去离子钢瓶的放置角度的钢瓶倾倒部件、及用于控制清洗或灌装的控制面板；其中，所述箱体上设置有真空输出口、去离子水输出口及气体输出口，所述真空输出口通过一真空管路与所述待灌装的去离子钢瓶相通，所述去离子水输出口和所述气体输出口分别通过一去离子水管路和一气体管路与所述待清洗的去离子钢瓶相通。2.如权利要求1所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备，其特征在于，所述控制面板上设置有电源开关、用于控制所述去离子水管路中去离子水通断的去离子水开关、用于控制所述气体管路中气体通断的气体开关、及用于控制所述真空管路真空状态的真空开关。3.如权利要求1所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备，其特征在于，所述真空管路、去离子水管路和气体管路上均各设置有气动阀。4.如权利要求3所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备，其特征在于，所有气动阀的驱动气体均为氮气。5.如权利要求4所述的去离子钢瓶清洗及灌装设备，其特征在于，还包括设置于所述箱体上的用于提供输入所述驱动气体的驱动气体输入口。6.如权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡可绿，徐伟成，陈平，黄伟彬，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12