坩埚熔制机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种坩埚熔制机，其技术方案要点是，包括加热装置、供加热装置升降的升降装置、驱动坩埚进入加热的往复倾动装置、与往复倾动装置联动的旋转磨头，还包括安装往复倾动装置的底座，底座上设有驱动往复倾动装置的线性驱动装置，所述线性驱动装置包括横向导轨、转动连接至底座上与横向导轨配合的滚动件、驱动滚动件于横向导轨上滚动并带动底板线性运动的驱动装置，如此设置，往复倾动装置可以根据线性驱动装置进行移进移出，上料时，坩埚需要套设至旋转磨头上较为方便，下料时，加热过后的坩埚在倾倒出之后，需要通过线性驱动装置将整个往复倾动装置移出，不会直接翻转到外侧，避免造成误伤工作人员。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及坩埚成型设备领域，特别涉及一种坩埚熔制机。
技术介绍
石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品，是半导体产业的龙头产业。广泛应用于电子、化工等诸多行业。真空电弧法生产石英坩埚设备是生产坩埚的技术设备。它以电弧为热源，离心成型的工艺制造坩埚。其特点是设备可操作性强，工艺成熟，产品利润空间大，市场前景广阔。该种设备主要包括加热装置、往复倾动装置、升降装置,原料根据往复倾动装置旋转进入,加热装置根据升降装置在原料旋转后下压至坩埚顶部。在实际生产使用过程中发现：往复倾动装置上的旋转磨头是供坩埚套设的，坩埚在翻转进翻转出的过程中，下料具有一定的安全隐患，在下料过程中，由于往复倾动装置会将电弧加热过后的产品倾倒出来，人如果靠的太近会误伤。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种坩埚熔制机，其具有进料方便、稳定的优点。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种坩埚熔制机，包括加热装置、供加热装置升降的升降装置、驱动坩埚进入加热的往复倾动装置、与往复倾动装置联动的旋转磨头，还包括安装往复倾动装置的底座，底座上设有驱动往复倾动装置的线性驱动装置，所述线性驱动装置包括横向导轨、转动连接至底座上与横向导轨配合的滚动件、驱动滚动件于横向导轨上滚动并带动底板线性运动的驱动装置。如此设置，往复倾动装置可以根据线性驱动装置进行移进移出，上料时，坩埚需要套设至旋转磨头上较为方便，下料时，加热过后的坩埚在倾倒出之后，需要通过线性驱动装置将整个往复倾动装置移出，不会直接翻转到外侧，避免造成误伤工作人员。进一步设置：所述驱动装置为伺服电机。如此设置，伺服电机能精准控制线性驱动装置的行程位置。进一步设置：所述往复倾动装置包括转动连接至底座上的曲柄、驱动曲柄转动的第一旋转电机、转动连接至曲柄上的转动连杆、转动连接至底座上且带动旋转磨头运动的摆动连杆、铰接转动连杆和摆动连杆的过渡连杆。如此设置，通过第一旋转电机驱动曲柄转动，转动连接一端作圆周运动，另一端根据曲柄的转动形成往复运动，再由过渡连杆作用至摆动连杆上，由此，摆动连杆带动旋转磨头往复摆动。进一步设置：所述底座上设有连接旋转磨头的安装座，摆动连杆作用至安装座上，所述安装座内设有驱动旋转磨头转动的第二旋转电机。如此设置，摆动连杆作用在安装座上，避免摆动连杆与旋转磨头自身的旋转相互干涉。进一步设置：所述加热装置包括熔制电极和隔热板，所述隔热板上设有供熔制电极穿设抵触至坩埚顶侧的通孔。如此设置，隔隔热板可以将熔制电极的热量集中至坩埚避免，避免热量不均匀扩散，导致坩埚避免受热不均匀。进一步设置：所述隔热板呈倾斜设置，形成的开口朝向线性驱动装置一侧。如此设置，隔热板呈倾斜设置，便于坩埚在通过线性驱动装置移进的时候，不与隔热板相互干涉。进一步设置：所述升降装置包括竖直设置的线性模组，该线性模组为螺母丝杆模组。进一步设置：所述螺母丝杆模组包括竖向导轨、滑移连接至竖向导轨上的滑块，螺母固定至滑块上，丝杆穿设滑块连接至竖向导轨的两端，所述导轨上设有驱动丝杆转动的第三旋转电机，由丝杆带动螺母转动进而驱动滑块线性运动。如此设置，传统的螺母丝杆模组可以提供加热装置的升降，螺母丝杆的配合可以增加提升的载重，同时使提升稳定性更好，不发生径向偏移。进一步设置：所述升降装置包括竖直设置的线性模组，该线性模组为滚珠丝杆模组。进一步设置：所述滚珠丝杆模组包括竖向导轨、滑移连接至竖向导轨上的滑块，螺母固定至滑块上，丝杆穿设滑块连接至竖向导轨的两端，丝杆与螺母配合的螺纹槽内套设有滚珠，所述导轨上设有驱动丝杆转动的第三旋转电机，由丝杆带动螺母转动进而驱动滑块线性运动。如此设置，滚珠丝杆模组相较于螺母丝杆模组，由于滚珠丝杠副的丝杠轴与丝杠螺母之间有很多滚珠在做滚动运动，相互摩擦小，能得到较高的运动效率。综上所述，本技术具有以下有益效果：该坩埚熔制机具有速度快、节省能源、温度分布均匀、热效率高、生产能力高等优点。附图说明图1是坩埚熔制机的整体结构示意图；图2是线性驱动装置的结构示意图；图3是往复倾动装置的结构示意图；图4是加热装置、升降装置的结构示意图。图中，1、加热装置；2、升降装置；3、往复倾动装置；4、旋转磨头；5、底座；6、线性驱动装置；7、横向导轨；8、滚动件；9、转轴；10、驱动装置；11、曲柄；12、第一旋转电机；13、转动连杆；14、摆动连杆；15、过渡连杆；16、安装座；17、第二旋转电机；18、熔制电极；19、隔热板；20、螺母丝杆模组；21、螺母；22、丝杆；23、竖向导轨；24、滑块；25、第三旋转电机。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。实施例1：一种坩埚熔制机，如图1所示，包括加热装置1、供加热装置1升降的升降装置2、驱动坩埚进入加热的往复倾动装置3、与往复倾动装置3联动的旋转磨头4、安装往复倾动装置3的底座5，底座5上设有驱动往复倾动装置3的线性驱动装置6。如图2所示，线性驱动装置6包括横向导轨7，横向导轨7平铺至地面上，底座5上转动连接有与横向导轨7配合的滚动件8，滚动件8为滚轮，底座5上分布四个滚轮，同轴的滚轮之间通过转轴9连接，底座5上设有驱动转轴9转动从而驱动滚动件8转动的驱动装置10，驱动装置10为伺服电机，伺服电机输出旋转，带动滚轮在横向导轨7上滚动爬行，并带动底板整体沿导轨方向前进和后退。如图3所示，往复倾动装置3包括转动连接至底座5上的曲柄11、驱动曲柄11转动的第一旋转电机12、曲柄11的的外缘上转动连接有转动连杆13，转动连杆13沿曲柄11的径向方向设置，在旋转磨头4的底部的底座5上设有摆动连杆14，摆动连杆14的中部转动连接至底座5上，上端连接至旋转磨头4上，转动连杆13的下端和摆动连杆14背向曲柄11一侧的端部连接一过渡连杆15，过渡连杆15分别与两者铰接，由第一旋转电机12输出旋转，驱动曲柄11旋转，并由曲柄11驱使摆动连杆14一端圆周摆动，另一端线性运动，则通过过渡连杆15带动摆动连杆14绕铰接点摆动，摆动连杆14随之带动旋转磨头4摆动。底座5上设有连接旋转磨头4的安装座16，摆动连杆14作用至安装座16上，安装座16内设有驱动旋转磨头4转动的第二旋转电机17，摆动连杆14作用在安装座16上，避免摆动连杆14与旋转磨头4自身的旋转相互干涉。如图4所示，加热装置1包括熔制电极18和隔热板19，隔热板19上设有供熔制电极18穿设抵触至坩埚顶侧的通孔。升降装置2包括竖直设置的线性模组，该线性模组为螺母丝杆模组20，螺母丝杆模组20包括竖向导轨23、滑移连接至竖向导轨23上的滑块24，隔热板19固定至滑块24上随滑块24运动，螺母21固定至滑块24上，丝杆22穿设滑块24连接至竖向导轨23的两端，导轨上设有驱动丝杆22转动的第三旋转电机25，由丝杆22带动螺母21转动进而驱动滑块24线性运动，滑块24线性运动则带动隔热板19升降，从而使坩埚能套设至通孔内，供熔制电极18下压抵触。隔热板19呈倾斜设置，形成的开口朝向线性驱动装置6一侧，便于坩埚在通过线性驱动装置6移进的时候，不与隔热板19相互干涉。实施例2：一种坩埚熔制机,与实施例1的不同之处在于，升降装置2包括竖直设置的线性模组，该线性模组为滚珠丝杆模组，滚珠丝杆模组本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种坩埚熔制机，包括加热装置（1）、供加热装置（1）升降的升降装置（2）、驱动坩埚进入加热的往复倾动装置（3）、与往复倾动装置（3）联动的旋转磨头（4），其特征在于：还包括安装往复倾动装置（3）的底座（5），底座（5）上设有驱动往复倾动装置（3）的线性驱动装置（6），所述线性驱动装置（6）包括横向导轨（7）、转动连接至底座（5）上与横向导轨（7）配合的滚动件（8）、驱动滚动件（8）于横向导轨（7）上滚动并带动底板线性运动的驱动装置（10）。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚熔制机，包括加热装置（1）、供加热装置（1）升降的升降装置（2）、驱动坩埚进入加热的往复倾动装置（3）、与往复倾动装置（3）联动的旋转磨头（4），其特征在于：还包括安装往复倾动装置（3）的底座（5），底座（5）上设有驱动往复倾动装置（3）的线性驱动装置（6），所述线性驱动装置（6）包括横向导轨（7）、转动连接至底座（5）上与横向导轨（7）配合的滚动件（8）、驱动滚动件（8）于横向导轨（7）上滚动并带动底板线性运动的驱动装置（10）。2.根据权利要求1所述的坩埚熔制机，其特征在于：所述驱动装置（10）为伺服电机。3.根据权利要求1所述的坩埚熔制机，其特征在于：所述往复倾动装置（3）包括转动连接至底座（5）上的曲柄（11）、驱动曲柄（11）转动的第一旋转电机（12）、转动连接至曲柄（11）上的转动连杆（13）、转动连接至底座（5）上且带动旋转磨头（4）运动的摆动连杆（14）、铰接转动连杆（13）和摆动连杆（14）的过渡连杆（15）。4.根据权利要求3所述的坩埚熔制机，其特征在于：所述底座（5）上设有连接旋转磨头（4）的安装座（16），摆动连杆（14）作用至安装座（16）上，所述安装座（16）内设有驱动旋转磨头（4）转动的第二旋转电机（17）。5.根据权利要求4所述的坩埚熔制机，其特征在于：所述加热装置（1）包括熔制电极（18）和隔热板(19)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐晓军，朱国平，舒晓峰，季军，
申请(专利权)人：江阴龙源石英制品有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32