【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石英管清洗装置领域,特别涉及一种石英管同轴传动卧式清洗机。
技术介绍
在半导体硅片生产工艺中,石英管需要定期进行清洗,以保证其洁净度。目前的清洗方法是将石英管放置在耐酸碱槽中,手动加入清洗化学剂,然后手动那刷子清洗,最后手拿水枪喷淋清洗。但是这种做法清洗效率低下,也容易对工作人员的安全和健康造成伤害。为此,目前有中国专利授权公告号CN201572761U(授权公告日2010.9.8)公开了一种太阳能电池石英管清洗机,但是该太阳能电池石英管清洗机不能实现清洗液方便回收,且清洗效果也不完全理想。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷,提供一种石英管同轴传动卧式清洗机,以解决上述问题。本技术所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:石英管同轴传动卧式清洗机,其特征在于,包括底架和至少两水平并排设置在所述底架内的清洗单元,每一清洗单元包括:清洗槽,所述清洗槽内壁周向设置有若干侧部喷淋管,所述清洗槽的面向石英管开口的第一端部内壁设置有延伸入石英管内壁的端部喷淋管,所述清洗槽的底部设置有废液回收孔,该废液回收孔与一废液回收装置连接。设置在清洗槽底部且沿清洗槽长度方向平行间隔设置的一对转动轴,所述转动轴沿长度方向间隔设置有若干带动石英管转动的阻尼圈,所述转动轴的端部设置有第一传动齿轮;设置在与所述清洗槽的第一端部相对的第二端部外侧的传动机构,所述传动机构 ...
【技术保护点】
石英管同轴传动卧式清洗机,其特征在于,包括底架和至少两水平并排设置在所述底架内的清洗单元,每一清洗单元包括:清洗槽,所述清洗槽内壁周向设置有若干侧部喷淋管,所述清洗槽的面向石英管开口的第一端部内壁设置有延伸入石英管内壁的端部喷淋管,所述清洗槽的底部设置有废液回收孔,该废液回收孔与一废液回收装置连接;设置在清洗槽底部且沿清洗槽长度方向平行间隔设置的一对转动轴,所述转动轴沿长度方向间隔设置有若干带动石英管转动的阻尼圈,所述转动轴的端部设置有第一传动齿轮;设置在与所述清洗槽的第一端部相对的第二端部外侧的传动机构,所述传动机构的传动输出端延伸入所述清洗槽内且与所述第一传动齿轮传动连接。
【技术特征摘要】
1.石英管同轴传动卧式清洗机,其特征在于,包括底架和至少两水平并
排设置在所述底架内的清洗单元,每一清洗单元包括:
清洗槽,所述清洗槽内壁周向设置有若干侧部喷淋管,所述清洗槽的面
向石英管开口的第一端部内壁设置有延伸入石英管内壁的端部喷淋管,所述
清洗槽的底部设置有废液回收孔,该废液回收孔与一废液回收装置连接;
设置在清洗槽底部且沿清洗槽长度方向平行间隔设置的一对转动轴,所
述转动轴沿长度方向间隔设置有若干带动石英管转动的阻尼圈,所述转动轴
的端部设置有第一传动齿轮;
设置在与所述清洗槽的第一端部相对的第二端部外侧的传动机构,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:李杰,
申请(专利权)人:上海提牛机电设备有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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