【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械领域,特别是,涉及一种干式蚀刻机用防护罩。
技术介绍
在实际生产中,由于干式蚀刻机LOADLOCK端整个暴露在车间灰区,使得整个传送过程中,硅片也裸漏在灰区,容易造成硅片污染,降低后期加工的良品率,一定程度上增加了生产成本。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本技术的目的在于提供一种干式蚀刻机用防护罩,其装置在干式蚀刻机LOADLOCK端,可以隔离灰区,将污染源隔离,减少颗粒沾污,提高产品良率,且PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)为透明材质,不影响关照亮度,不影响生产的正常进行。为解决上述问题,本技术所采用的技术方案如下:一种干式蚀刻机用防护罩,包括一块顶板和两块侧板,所述侧板对称固定在顶板两边,所述侧板底部设置有密封条,所述顶板和侧板均为PMMA材质。优选的,所述顶板和侧板之间一体成型。优选的,所述顶板和侧板之间通过粘接方式固定,所述顶板与侧板连接处顶板拐角α为45°,所述侧板与顶板连接处侧板拐角β为45°。优选的,所述顶板上设置有提手。优选的,所述侧板上设置有拉手,所述拉手靠近侧板底端。优选的,所述顶板和侧板两面均为抛光面。优选的,所述顶板和侧板厚度相同。优选的,所述顶板厚度为0.5-1.5cm。相比现有技术,本技术的有益效果在于:本技术可以装置在干式蚀刻机LOADLOCK端,可以隔离灰区,将污染源隔离,减少颗粒沾污,提高产品 ...
【技术保护点】
一种干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,包括一块顶板和两块侧板,所述侧板对称固定在顶板两边,所述侧板底部设置有密封条,所述顶板和侧板均为PMMA材质。
【技术特征摘要】
1.一种干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,包括一块顶板和
两块侧板,所述侧板对称固定在顶板两边,所述侧板底部设置有密封
条,所述顶板和侧板均为PMMA材质。
2.如权利要求1所述的干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,
所述顶板和侧板之间一体成型。
3.如权利要求1所述的干式蚀刻机用防护罩,其特征在于,
所述顶板和侧板之间通过粘接方式固定,所述顶板与侧板连接处顶板
拐角α为45°,所述侧板与顶板连接处侧板拐角β为45°。
4.如权利要求1-3任一项所述的干...
【专利技术属性】
技术研发人员:高清忠,
申请(专利权)人:苏州同冠微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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