一种阻挡水雾装置及划片机制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种水雾阻挡装置及划片机，阻挡水雾装置包括设置在第一气孔和第二气孔的侧壁的具有导向作用的第一气槽、第二气槽和分别与第一气槽、第二气槽连通的第一气体流通通道、第二气体流通通道以及第一进气口、第二进气口，压力气体依次通过气管、第一进气口、第一气体流通通道以及第一气槽，压力气体同时还依次通过气管、第二进气口、第二气体流通通道以及第二气槽，分别在第一气孔与第二气孔中形成气旋，具有结构简单，安装方便，便于维修的优点，同时与原有显微镜部件连接，空间利用率高，成本低，实用性强，适合各种复杂机型，可广泛应用划片机领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及划片机设备领域，尤其涉及一种阻挡水雾装置及划片机。
技术介绍
信息化高速发展的背景下，半导体制品需求量增大，从而使自动划片机的需求量日益增多。但产品的老化及损坏，增加着售后维修成本。其中水雾对Z向溜板及光栅尺的腐蚀，加速了自动划片机设备的老化及损坏。Z向溜板的材料为灰口铸铁，极易被腐蚀；光栅尺精度微米级，附着污渍会改变光的反射角度，影响侧值增加误差。目前，多数自动划片机采用通过塑料卷帘阻挡水雾，但在高速划切过程中产生的大量水雾会从各个方向渗出，显微镜观测口尤甚，现有装置阻挡水雾效果不佳，水雾通过显微镜观测口附着在Z向溜板及光栅尺上产生腐蚀和污渍。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种阻挡水雾装置及划片机，解决阻挡水雾效果不佳的问题。为解决上述问题，本专利技术提供一种阻挡水雾装置，包括：底板和与底板连接的相对设立的侧壁，底板表面沿底板的厚度方向设置有第一气孔和第二气孔，第一气孔和第二气孔的孔壁上沿着径向方向分别设置有具有导向作用的第一气槽和第二气槽，底板的侧面设置有第一进气口和第二进气口，底板的内部设置有第一气体流通通道和第二气体流通通道，第一气体流通通道的一端与第一气槽连通，第一气体流通通道的另一端连接第一进气口，第二气体流通通道的一端与第二气槽连通，第二气体流通通道的另一端连接第二进气口，第一进气口与第二进气口连接输送压力气体的气管。压力气体依次通过气管、第一进气口、第一气体流通通道以及第一气槽，在第一气孔中形成阻挡水雾的气旋，压力气体同时还依次通过气管、第二进气口、第二气体流通通道以及第二气槽，在第二气孔中形成阻挡水雾的气旋。可选地，底板与侧壁上设置有用于将阻挡水雾装置与镜头连接的第一连接部。可选地，第一连接部为固定孔。可选地，底板上远离第一进气口与第二进气口的一侧设置有用于连接镜头除水吹气管的第二连接部。可选地，底板上靠近第一进气口与第二进气口一侧设置有用于固定阻挡水雾装置的第三连接部。可选地，第一气孔与第二气孔均为圆形通孔。可选地，第一气槽与第一气体流通通道相切连接，第二气槽与第二气体流通通道相切连接。可选地，第一气槽与第二气槽、第一气体流通通道与第二气体流通通道、第一进气口与第二进气口均轴对称设置，第一气孔与第二气孔内形成的气旋方向相反。可选地，第一气孔中形成的气旋方向与第二气孔中形成的气旋方向相同，均为逆时针方向。本专利技术还提供一种划片机，包括上述阻挡水雾装置。综上所述，阻挡水雾装置包括设置在第一气孔和第二气孔的孔壁上具有导向作用的第一气槽、第二气槽和分别与第一气槽、第二气槽连通的第一气体流通通道、第二气体流通通道以及第一进气口、第二进气口，压力气体依次通过气管、第一进气口、第一气体流通通道以及第一气槽，压力气体同时还依次通过气管、第二进气口、第二气体流通通道以及第二气槽，分别在第一气孔和第二气孔中形成气旋，水雾接触到旋涡状气旋被弹开，从而改变水雾流动方向，防止水雾腐蚀设备零部件,延缓设备老化，保证设备精度，具有结构简单，安装方便，便于维修的优点，同时水雾阻挡装置与显微镜镜头连接形成显微固定装置，空间利用率高，成本低，实用性强。附图说明图1为本专利技术具体实施例的阻挡水雾装置的结构示意图；图2为本专利技术具体实施例的阻挡水雾装置的原理示意图；图3为本专利技术具体实施例的划片机的结构简图。附图标记说明1、底板；2、侧壁；3、第一进气口；4、第一气流流通通道；5、第一气槽；6、第一气孔；7、第二气孔；8、第二气槽；9、第二气流流通通道；10、第二进气口；11、阻挡水雾装置；12、镜头除水吹气管；13、显微镜观测口；14、显微镜外罩；15、空气主轴；16、Z向溜板；17、Z向光栅尺；A、旋转气旋运动方向；B、水雾运动方向。具体实施方式为使本专利技术要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。参见图1～图3，本实施例中，阻挡水雾装置11包括：底板1和与底板1连接的一对相对设立的侧壁2，底板1表面上沿厚度方向设置有第一气孔6和第二气孔7，第一气孔6和第二气孔7为圆形通孔，第一气孔6和第二气孔7的孔壁上均开有具有导向作用的第一气槽5和第二气槽8。本实施例中，底板1的侧面设置有第一进气口3和第二进气口10，底板1的内部设置有第一气体流通通道4和第二气体流通通道7，其中第一气槽5与第二气槽8均为环形气槽。其中，第一气体流通通道4的一端与第一气槽5连通，第一气体流通通道4的另一端连接第一进气口3。第二气体流通通道7的一端与第二气槽8连通，第二气体流通通道7的另一端连接第二进气口10，第一进气口3与第二进气口10连接输送压力气体的气管。本实施例中，第一气槽5与第一气体流通通道4相切连接，第二气槽8与第二气体流通通道7相切连接。当空气主轴15高速运转时，刀片接触到冷却水流，水流被打散雾化，向各个方向流动。此时压力气体接通，经气管流向阻挡水雾装置11，压力气体依次通过气管、第一进气口3、第一气体流通通道4以及第一气槽5，在第一气孔6中形成气旋；压力气体同时还依次通过气管、第二进气口10、第二气体流通通道7以及第二气槽8，在第二气孔7中形成气旋。其中，第一气槽5与第二气槽8、第一气体流通通道4与第二气体流通通道7、第一进气口3与第二进气口10均轴对称设置，第一气孔6与第二气孔7内形成的气旋方向相反。本实施例中，第一气体流通通道4在第一气槽5的左边相切，第二气体流通通道2与第二气槽7在右边相切，故而第一气孔6的气旋为顺时针方向，第二气孔7的气旋为逆时针方向，当然，本实施例并不限定相切的具体位置，具体位置取决于安装空间。本实施例中，第一气孔6中形成的气旋方向与第二气孔7中形成的气旋方向可以相同，均为逆时针方向，在地球北半球，科里奥利力(简称科氏力)造成流体逆时针旋转，本实施例中，气旋方向与科氏加速度方向一致，即气旋方向为逆时针方向，可以减小气体运动过程中的能量损失，从而提高防水雾的质量。本实施例中，气旋分布在镜头的四周并沿着第一气孔6或第二气孔7的轴线(即镜头的轴线)方向向下移动并经过显微镜观测口13排出，即为图3中的旋转气膜运动方向A。飞向显微镜观测口13的水雾遇到气旋后，运动轨迹改变，向周围运动(图3中的水雾运动方向B)，无法经过显微镜观测口13飘向上方附着在其它部件(例如Z向溜板16、Z向光栅尺17)上面，从而起到了阻碍水雾的作用，防止水雾腐蚀部件。本实施例中，阻挡水雾装置11还包括第一连接部和第二连接部，其中，第一连接部(例如固定孔)设置在底板1与侧壁2上，第一连接部用于连接阻挡水雾装置11与显微镜镜头，置于显微镜外罩14的内部，第二连接部设置在底板上远离第一进气口3与第二进气口10的一侧，第二连接部连接镜头除水吹气管12，当需要通过镜头观测时，镜头除水吹气管12吹去镜头附近的水雾。本实施例中，显微镜镜头观测口11下面布置传统的防水雾装置，例如挡板，共同起到阻挡水雾的作用。本实施例中，阻挡水雾装置11在有限的空间内将镜头固定机构和气膜包覆保护机构相结合，能有效提高空间的利用率。本实施例中，阻挡水雾装置11还包括底板上第一进气口3与第二进气口10一侧的第三连接部，例如凸台，凸台上设置有安装孔，用于将连接后的阻挡水雾装置11与显微镜镜头进行固定，例如固定在划片机上。综上所述，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阻挡水雾装置，其特征在于，所述阻挡水雾装置包括：底板和与所述底板连接的相对设立的侧壁，所述底板表面沿着所述底板的厚度方向设置有第一气孔和第二气孔，第一气孔和第二气孔的孔壁上沿着径向方向分别设置有具有导向作用的第一气槽和第二气槽，所述底板的侧面设置有第一进气口和第二进气口，所述底板的内部设置有第一气体流通通道和第二气体流通通道，所述第一气体流通通道的一端与所述第一气槽连通，所述第一气体流通通道的另一端连接第一进气口，所述第二气体流通通道的一端与所述第二气槽连通，所述第二气体流通通道的另一端连接第二进气口，所述第一进气口与所述第二进气口连接输送压力气体的气管；所述压力气体依次通过气管、第一进气口、第一气体流通通道以及第一气槽，在第一气孔中形成阻挡水雾的气旋，所述压力气体同时还依次通过气管、第二进气口、第二气体流通通道以及第二气槽，在第二气孔中形成阻挡水雾的气旋。

【技术特征摘要】
1.一种阻挡水雾装置，其特征在于，所述阻挡水雾装置包括：底板和与所述底板连接的相对设立的侧壁，所述底板表面沿着所述底板的厚度方向设置有第一气孔和第二气孔，第一气孔和第二气孔的孔壁上沿着径向方向分别设置有具有导向作用的第一气槽和第二气槽，所述底板的侧面设置有第一进气口和第二进气口，所述底板的内部设置有第一气体流通通道和第二气体流通通道，所述第一气体流通通道的一端与所述第一气槽连通，所述第一气体流通通道的另一端连接第一进气口，所述第二气体流通通道的一端与所述第二气槽连通，所述第二气体流通通道的另一端连接第二进气口，所述第一进气口与所述第二进气口连接输送压力气体的气管；所述压力气体依次通过气管、第一进气口、第一气体流通通道以及第一气槽，在第一气孔中形成阻挡水雾的气旋，所述压力气体同时还依次通过气管、第二进气口、第二气体流通通道以及第二气槽，在第二气孔中形成阻挡水雾的气旋。2.根据权利要求1所述的阻挡水雾装置，其特征在于，所述底板与所述侧壁上设置有用于将所述阻挡水雾装置与镜头连接的第一连接部。3.根据权利要求2所述的阻...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕超，孙彬，秦江，岳芸，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11