无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱制造方法及图纸

技术编号:14922882 阅读:6 留言:0更新日期:2017-03-30 15:08
本发明专利技术公开了一种无尘室循环过滤装置,其包括:过滤单元,其设置于无尘室内,该过滤单元与无尘室的顶部之间形成第一腔室;板体,其上开设有多个通孔,该板体设置于无尘室内并位于过滤单元的下方,该板体与过滤单元之间形成第二腔室,该板体与无尘室的底部之间形成第三腔室;回风通道,其两端分别连通第一腔室和第三腔室。本发明专利技术同时还公开了一种无尘室和手套箱。本发明专利技术与现有技术相比,在简化结构和降低成本的前提下,同样形成了高洁净度的无尘环境,使得洁净度同样可以达到ISO1级。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种过滤装置,具体涉及一种无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱
技术介绍
在电子行业、显示行业以及医学行业的科学研究与生产过程中,为了提高产品性能,通常都需要在无尘室或无尘设备中加工制造或进行相关科学实验。无尘设备的好坏直接关系到产品的好坏,这已经成为影响和制约我国电子行业、显示行业的瓶颈,能够达到ISO1级的高洁净无尘室更是几乎没有。目前所使用的一些过滤设备,虽然可以满足一些无尘室的过滤要求,但是对于一些小型的设备,例如手套箱等,其内部空间较小,传统的过滤设备在体积上与其存在矛盾,并且传统的过滤设备普遍结构都较为复杂,在使用成本和维护成本上也无法适应手套箱等的要求。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本专利技术提供了一种结构简单、成本低且可以适应手套箱等设备使用要求的无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱。为了达到上述目的,本专利技术的技术方案如下:无尘室循环过滤装置,其包括:过滤单元,其设置于无尘室内,该过滤单元与无尘室的顶部之间形成第一腔室;板体,其上开设有多个通孔,该板体设置于无尘室内并位于过滤单元的下方,该板体与过滤单元之间形成第二腔室,该板体与无尘室的底部之间形成第三腔室;回风通道,其两端分别连通第一腔室和第三腔室。本专利技术的无尘室循环过滤装置主要在无尘室内设置了过滤单元、板体和回风通道,把无尘室分别隔成了第一腔室、第二腔室和第三腔室,过滤单元通过驱动单元的运转将气体通过其过滤后垂直向下吹出,带走设备内的颗粒物,气体再依次经过第二腔体、板体、第三腔体和回风通道后重新回到第一腔体并被过滤单元吸入,如此循环过滤形成高洁净的无尘环境。因此,本专利技术与现有技术相比,在简化结构和降低成本的前提下,同样形成了高洁净度的无尘环境,使得洁净度同样可以达到ISO1级。在上述技术方案的基础上,本专利技术还可以作如下改进:作为优选的方案,上述的第一腔室和第三腔室还分别连接气体净化单元。采用上述优选的方案,纯化单元可以抽取部分气体除水除氧后,重新回到过滤单元的上部,经过滤单元过滤后成为无水无氧的气氛环境,从而进一步地提高无尘室的洁净度。作为优选的方案,上述的第一腔室和纯化单元之间连接的管道上设置有过滤器。采用上述优选的方案,可以对重新回到过滤单元的气体进行过滤,从而进一步地提高无尘室的洁净度。作为优选的方案,上述的过滤单元为FFU过滤器。采用上述优选的方案,可以实现较佳的过滤效果。作为优选的方案,上述的过滤单元通过支架安装于无尘室内,过滤单元与支架之间设置有密封圈。采用上述优选的方案,可以保证过滤单元安装的稳固性和密封性。作为优选的方案,上述的密封圈内设有周向的至少一腔室,腔室连通进出气单元,进出气单元上设置有至少一检测单元,检测单元电连接处理器,用于检测进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值,然后将气体压力值和/或气体浓度值发送至处理器。采用上述优选的方案,在设备运行过程中可以在两密封圈之间防止过滤单元与支架之间发生侧漏现象,即生产过程中或使用过程中检测过滤单元与支架之间有无侧漏,防止有气体没经过过滤单元而从侧方跑了。作为优选的方案,上述的进出气单元上设置进气控制部和/或出气控制部,其分别电连接处理器,处理器在收到气体压力值和/或气体浓度值后,与处理器内预设的值进行对比,然后处理器根据对比结果控制进气控制部和出气控制部通过进出气单元对腔室进行加气和/或减气。采用上述优选的方案,在设备运行过程中可以在两密封圈之间保持负压环境。作为优选的方案,上述的进出气单元为管路。采用上述优选的方案,可以便于气体的通过。无尘室,包括壳体,该壳体内设置有上述无尘室循环过滤装置。本专利技术的无尘室采用了上述的无尘室循环过滤装置,因此具有与其相同的技术效果。手套箱,包括壳体,该壳体内具有作为无尘室的腔体,该腔体内设置有上述无尘室循环过滤装置。本专利技术的手套箱采用了上述的无尘室循环过滤装置,因此具有与其相同的技术效果。附图说明图1为本专利技术的无尘室循环过滤装置及无尘室(手套箱)的结构示意图。图2为本专利技术的无尘室循环过滤装置中的密封检测部分的结构示意图。图3为本专利技术的无尘室循环过滤装置中的密封检测部分的系统架构图。其中,1.无尘室11.壳体12.腔体2.过滤单元21.第一腔室22.支架23.密封圈24.腔室25.进出气单元251.进气控制部252.出气控制部26.检测单元27.处理器28.报警单元3.板体31.通孔32.第二腔室33.第三腔室4.回风通道5.纯化单元51.管道52.过滤器。具体实施方式下面结合附图详细说明本专利技术的优选实施方式。为了达到本专利技术的目的,如图1所示,在本专利技术的无尘室循环过滤装置的其中一些实施方式中,其包括:过滤单元2,其设置于无尘室1内,也就是壳体11内,该过滤单元2与无尘室1的顶部之间形成第一腔室21;板体3,其上开设有多个通孔31,该板体3设置于无尘室1内并位于过滤单元2的下方,该板体3与过滤单元2之间形成第二腔室32,该板体3与无尘室1的底部之间形成第三腔室33;回风通道4,其两端分别连通第一腔室21和第三腔室33。其中,过滤单元2具体可以为FFU过滤器,其自带作为驱动单元的风机,可以实现较佳的过滤效果。本实施例的无尘室循环过滤装置主要在无尘室内设置了过滤单元、板体和回风通道,把无尘室分别隔成了第一腔室、第二腔室和第三腔室,过滤单元通过驱动单元的运转将气体通过其过滤后垂直向下吹出,带走设备内的颗粒物,气体再依次经过第二腔体、板体、第三腔体和回风通道后重新回到第一腔体并被过滤单元吸入,如此循环过滤形成高洁净的无尘环境。因此,本实施例与现有技术相比,在简化结构和降低成本的前提下,同样形成了高洁净度的无尘环境,使得洁净度同样可以达到ISO1级。为了进一步地优化本专利技术的实施效果,如图1所示,在本专利技术的无尘室循环过滤装置的另一些实施方式中,在上述内容的基础上,上述的第一腔室21和第三腔室33还分别连接气体净化单元5,该气体净化单元5用于除水除氧,具体可采用常用的纯化装置,除此之外,也可以采用其他已知的气体净化装置。采用该实施方式的方案,纯化单元可以抽取部分气体除水除氧后,重新回到过滤单元的上部,经过滤单元过滤后成为无水无氧的气氛环境,从而本文档来自技高网...
无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱

【技术保护点】
无尘室循环过滤装置,其特征在于,包括:过滤单元,其设置于无尘室内,所述过滤单元与所述无尘室的顶部之间形成第一腔室;板体,其上开设有多个通孔,所述板体设置于所述无尘室内并位于所述过滤单元的下方,所述板体与所述过滤单元之间形成第二腔室,所述板体与所述无尘室的底部之间形成第三腔室;回风通道,其两端分别连通所述第一腔室和所述第三腔室。

【技术特征摘要】
1.无尘室循环过滤装置,其特征在于,包括:
过滤单元,其设置于无尘室内,所述过滤单元与所述无尘室的顶部之间形成第一腔室;
板体,其上开设有多个通孔,所述板体设置于所述无尘室内并位于所述过滤单元的下方,所述板体与所述过滤单元之间形成第二腔室,所述板体与所述无尘室的底部之间形成第三腔室;
回风通道,其两端分别连通所述第一腔室和所述第三腔室。
2.根据权利要求1所述的无尘室循环过滤装置,其特征在于,所述第一腔室和第三腔室还分别连接气体净化单元。
3.根据权利要求2所述的无尘室循环过滤装置,其特征在于,所述第一腔室所述纯化单元之间连接的管道上设置有过滤器。
4.根据权利要求1所述的无尘室循环过滤装置,其特征在于,所述过滤单元为FFU过滤器。
5.根据权利要求1所述的无尘室循环过滤装置,其特征在于,所述过滤单元通过支架安装于所述无尘室内,所述过滤单元与所述支架之间设置有密封圈。
6.根据权利要求5所述的无尘室循环过滤装置,其特征在于,所述密封圈内...

【专利技术属性】
技术研发人员:张德龙
申请(专利权)人:威格气体纯化科技苏州股份有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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