一种平板玻璃的电镜样品的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，该平板玻璃中含有铂金析晶，其中，该制备方法包括：S1、确定铂金析晶在平板玻璃中的位置，并将该位置对应的所述平板玻璃的两个表面分别标记为第一标记区和第二标记区；确定所述第一标记区所在的表面与所述铂金析晶之间的距离；S2、打磨所述第一标记区，使得所述第一标记区形成粗糙的表面，并且在所述第二标记区上覆盖防腐蚀膜；S3、对形成了粗糙表面的所述第一标记区进行酸液腐蚀。通过本发明专利技术的制备方法制备含有铂金析晶杂质的平板玻璃的电镜样品，能够很好地保护平板玻璃中的铂金析晶不脱落，使得平板玻璃中的铂金析晶缺陷恰好仅部分位于平板玻璃的外部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及玻璃领域，具体涉及一种平板玻璃的电镜样品的制备方法。
技术介绍
随着平板显示技术的快速发展以及便携式电子产品如笔记本电脑、平板电脑、智能手机和智能穿戴设备的急速普及，液晶显示器在其中扮演的角色越来越重要，具有轻薄化、高分辨率、高画质的液晶显示器产品更为市场所接受。优质的显示器玻璃成为制作高品质显示器的重要条件，然而在玻璃生产过程中，由于工艺波动，或工艺条件的不匹配，会造成一些固相(结石、析晶、未熔物等)或气相缺陷(气泡)的产生，这些缺陷夹杂在玻璃中就会影响产品品质，严重的将会使产品废弃。此类玻璃缺陷中的针状铂金缺陷尤其难以应对，该缺陷是由于玻璃熔解工序中所使用的铂金材料在高温状态下溶解或挥发，在玻璃液中形成针状析晶或颗粒状析晶，由于这类缺陷的尺寸极小，在线的检验人员和检验设备不易将其检出，一旦流到客户端，就会在面板制作工序产生不良品，影响生产成本和效率。所以消除此类缺陷显得尤为重要，若要解决问题首先要了解问题，对此类缺陷的检测，通常使用扫描电镜，然而扫描电镜只能测试样品表面部分，对于包含于样品内部的缺陷，只能通过加工处理，使缺陷暴露在外才能检测。这种铂金缺陷若用机械方式研磨抛光，因为它尺寸太小，极易被磨掉，成功率太低无法实施，如果直接用酸液进行腐蚀，很容易就会把缺陷腐蚀破坏从而无法观测。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，采用本专利技术的制备方法制备平板玻璃的电镜样品，能够恰好使铂金析晶缺陷部分暴露在平板玻璃的表面而不会使铂金析晶掉落。为了实现上述目的，本专利技术提供一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，该平板玻璃中含有铂金析晶，其中，该制备方法包括：S1、确定铂金析晶在平板玻璃中的位置，并将该位置对应的所述平板玻璃的两个表面分别标记为第一标记区和第二标记区；确定所述第一标记区所在的表面与所述铂金析晶的之间的距离；所述第一标记区所在的表面与所述铂金析晶的之间的距离不大于所述第二标记区所在的表面与所述铂金析晶的之间的距离；S2、打磨所述第一标记区，使得所述第一标记区形成粗糙的表面，并且在所述第二标记区上覆盖防腐蚀膜；S3、对形成了粗糙表面的所述第一标记区进行酸液腐蚀，腐蚀所用的酸为浓度4-25重量％的氢氟酸，相对于1mm的所述第一标记区所在的表面与所述铂金析晶的之间的距离，腐蚀的时间为2h-5h。通过本专利技术的制备方法制备含有铂金析晶杂质的平板玻璃的电镜样品，能够很好地保护平板玻璃中的铂金析晶不脱落，使得平板玻璃中的铂金析晶缺陷恰好仅部分位于平板玻璃的外部。本专利技术的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是本专利技术含有铂金析晶缺陷的平板玻璃的一种具体实施方式的结构示意图。图2是本专利技术打磨后的含有铂金析晶缺陷的平板玻璃的一种具体实施方式的结构示意图。图3是本专利技术铂金析晶缺陷部分暴露在外部的平板玻璃的一种具体实施方式的结构示意图。附图标记说明1铂金析晶2平板玻璃3第一标记区4第二标记区5防腐蚀膜具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。本专利技术提供一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，该平板玻璃2中含有铂金析晶1，其中，该制备方法包括：S1、确定铂金析晶1在平板玻璃2中的位置，并将该位置对应的平板玻璃2的两个表面分别标记为第一标记区3和第二标记区4；确定第一标记区3所在的表面与铂金析晶1之间的距离；第一标记区3所在的表面与铂金析晶1的之间的距离不大于第二标记区4所在的表面与铂金析晶1的之间的距离；S2、打磨第一标记区3，使得第一标记区3形成粗糙的表面，并且在第二标记区4上覆盖防腐蚀膜5；S3、对形成了粗糙表面的第一标记区3进行酸液腐蚀，腐蚀所用的酸为浓度4-25重量％的氢氟酸，相对于1mm的第一标记区3所在的表面与铂金析晶1的之间的距离，腐蚀的时间为2h-5h。TFT-LCD基板、TFT-LCD盖板玻璃、OLED器件基板、OLED器件盖板玻璃、PDP基板玻璃、玻璃导光板等玻璃材料，在生产过程中出现铂金析晶缺陷的检测均可以采用本专利技术的方法进行电镜样品的制备。根据本专利技术，酸液腐蚀所用的酸可以为浓度10-15重量％的氢氟酸，相对于1mm的第一标记区3所在的表面与铂金析晶1的之间的距离，腐蚀的时间可以为2.5h-3h。根据本专利技术，步骤S3中进行酸液腐蚀可以恰好至铂金析晶1部分暴露在平板玻璃2外部为止。进行酸液腐蚀的时间不能过长，以防铂金析晶1掉落入进行酸液腐蚀的酸溶液中。被打磨后的第一标记区3呈现粗糙的表面，按照初步计算的腐蚀所需时间对平板玻璃2进行酸液腐蚀，粗糙表面的平板玻璃2在酸液腐蚀过程中，凹陷处表面位置对应的铂金析晶1会先被腐蚀至平板玻璃2的外部，非凹陷处位置的铂金析晶1在相同的腐蚀时间时会仍然处于平板玻璃2的内部，因此，恰能得到部分铂金析晶1暴露在平板玻璃2外部的电镜样品。根据本专利技术，对平板玻璃2的酸液腐蚀可以为间断性的酸液腐蚀，对平板玻璃2进行一次酸液腐蚀后可以用清水清洗平板玻璃2，然后确定铂金析晶1与平板玻璃2表面的距离后再进行下一次酸液腐蚀。可以在显微镜下观察铂金析晶1距离平板玻璃2表面的大致深度，随着铂金析晶1距离平板玻璃2表面越近，逐渐减少酸液腐蚀的时间。根据本专利技术，确定铂金析晶1在平板玻璃2中位置的方法或确定第一标记区3所在的表面与铂金析晶1的之间的距离的方法可以包括通过显微镜观察并测定的方法。根据本专利技术，平板玻璃2的第一标记区3可以采用800#-1200#砂纸进行打磨。根据本专利技术，防腐蚀膜5可以包括透明胶带。在第二标记区4上粘贴透明胶带可以防止第二标记区4被酸液腐蚀，以方便后续对铂金析晶1缺陷的位置进行查找和定位。根据本专利技术，该方法还可以包括在进行步骤S1之前的将平板玻璃2进行超声清洗和烘干的操作。将平板玻璃2进行超声清洗和烘干后，通过显微镜观察确定铂金析晶1在平板玻璃2中的大体位置。根据本专利技术，铂金析晶1的长度可以为10-100微米。铂金析晶可以为颗粒状、针状等形状。本专利技术巧妙的利用了平板玻璃2表面伤痕在酸液腐蚀过程中逐渐放大的现象，使无伤痕位置的平板玻璃2固定保护铂金析晶1不至脱落，同时使凹坑中的铂金析晶1缺陷暴露出来以便扫描电镜检测，从而避免极小的铂金析晶2缺陷整体脱落，这样就极大的提高了样品制备效率和成功率，并且有利于后续对平板玻璃中铂金析晶缺陷的电镜观察。以下通过实施例进一步详细说明本专利技术。实施例1S1、将内部带有铂金析晶1缺陷的TFT-LCD基板进行超声清洗和烘干，通过显微镜观察确定铂金析晶1在TFT-LCD基板中的位置，并将该位置对应的TFT-LCD基板的两个表面分别通过油性记号笔画圈的方式标记为第一标记区3和第二标记区4；通过显微镜观察确定第一标记区3所在的表面与铂金析晶1之间的距离；第一标记区3所在的表面与所述铂金析晶1的之间的距离不大于第二标记区4所在的表面与铂金析晶1的之间的距离；按照相对于1mm的所述第一标记区3所在的表面与所述铂金析晶1的之间的距离腐蚀的时间为2h，计算铂金析晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，该平板玻璃(2)中含有铂金析晶(1)，其中，该制备方法包括：S1、确定铂金析晶(1)在所述平板玻璃(2)中的位置，并将该位置对应的所述平板玻璃(2)的两个表面分别标记为第一标记区(3)和第二标记区(4)；确定所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)之间的距离；所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离不大于所述第二标记区(4)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离；S2、打磨所述第一标记区(3)，使得所述第一标记区(3)形成粗糙的表面，并且在所述第二标记区(4)上覆盖防腐蚀膜(5)；S3、对形成了粗糙表面的所述第一标记区(3)进行酸液腐蚀，腐蚀所用的酸为浓度4‑25重量％的氢氟酸，相对于1mm的所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离，腐蚀的时间为2h‑5h。

【技术特征摘要】
1.一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，该平板玻璃(2)中含有铂金析晶(1)，其中，该制备方法包括：S1、确定铂金析晶(1)在所述平板玻璃(2)中的位置，并将该位置对应的所述平板玻璃(2)的两个表面分别标记为第一标记区(3)和第二标记区(4)；确定所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)之间的距离；所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离不大于所述第二标记区(4)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离；S2、打磨所述第一标记区(3)，使得所述第一标记区(3)形成粗糙的表面，并且在所述第二标记区(4)上覆盖防腐蚀膜(5)；S3、对形成了粗糙表面的所述第一标记区(3)进行酸液腐蚀，腐蚀所用的酸为浓度4-25重量％的氢氟酸，相对于1mm的所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离，腐蚀的时间为2h-5h。2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述酸液腐蚀所用的酸为浓度10-15重量％的氢氟酸，相对于1mm的所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离，腐蚀的时...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊峰，郑权，王丽红，闫冬成，李俊锋，张广涛，
申请(专利权)人：东旭科技集团有限公司，东旭集团有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11