基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板处理装置，包括处理腔、基板感知组件、转动轴和驱动组件。转动轴的一部分设置在所述处理腔内，且所述转动轴的两个端部中的至少一个延伸至所述处理腔外部，所述基板感知组件设置在所述转动轴上，且位于所述处理腔的外部；所述驱动组件固定在所述转动轴位于所述处理腔内的部分上；所述驱动组件能够在接触到待处理的基板时带动所述转动轴绕自身轴线沿第一方向转动，所述驱动组件能够在基板离开所述驱动组件时带动所述转动轴绕自身轴线沿与所述第一方向相反的第二方向转动。本发明专利技术还提供一种基板处理设备。由于基板感知组件设置在处理腔的外部，因此，处理液不会对基板感知组件造成影响。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示装置制造领域，具体地，涉及一种基板处理装置。
技术介绍
在制造显示装置时，需要对基板进行清洗、显影等工艺。在执行上述工艺时，将基板送入基板处理设备的处理腔中，然后利用喷淋机构朝基板喷涂处理液。通常，基板处理设备的处理腔内设置有传感器，该传感器用于感应基板是否进入处理腔。由于传感器设置在处理腔内部，因此，向基板喷涂处理液时有可能会将处理液喷洒在传感器上，导致传感器失灵。因此，如何避免传感器失灵成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种基板处理装置，所述基板感应装置用于感应基板，且不易失灵。为了实现上述目的，本专利技术提供一种基板处理装置，包括处理腔和基板感知组件，其中，所述基板处理装置还包括：转动轴，所述转动轴的一部分设置在所述处理腔内，且所述转动轴的两个端部中的至少一个延伸至所述处理腔外部，所述基板感知组件设置在所述转动轴上，且位于所述处理腔的外部；和驱动组件，所述驱动组件固定在所述转动轴位于所述处理腔内的部分上；所述驱动组件能够在接触到待处理的基板时带动所述转动轴绕自身轴线沿第一方向转动，且当所述转动轴沿所述第一方向转过预定角度时，所述基板感知组件能够发出判定所述基板进入所述处理腔的第一感知信号；所述驱动组件能够在基板离开所述驱动组件时带动所述转动轴绕自身轴线沿与所述第一方向相反的第二方向转动，且当所述转动轴沿所述第二方向转过所述预定角度时，所述基板感知组件停止发出所述第一感知信号。优选地，所述基板感知组件包括基板感知传感器和感应片，所述基板感知传感器和所述感应片中的一者安装在所述转动轴上，所述基板感知传感器和所述感应片中的另一者相对于所述处理腔静止设置；当所述转动轴沿所述第一方向转过所述预定角度时，所述基板感知传感器和所述感应片互相接近至所述感应片进入所述基板感知传感器的感知范围，且所述基板感知传感器发出所述第一感知信号；当所述转动轴沿所述第二方向转过所述预定角度时，所述基板感知传感器和所述感应片互相远离至所述感应片离开所述基板感知传感器的感知范围，并且所述基板感知传感器停止发出所述第一感知信号。优选地，所述基板感知组件还包括安装架，所述安装架相对于所述处理腔静止设置，所述基板感知传感器和所述感应片中相对于所述处理腔静止的一者固定设置在所述安装架上。优选地，所述基板感知传感器设置在所述安装架上，所述感应片设置在所述转动轴上。优选地，所述基板处理装置还把包括初始位置感应传感器，所述初始位置感应传感器设置在所述安装架上，且所述初始位置感应传感器与所述基板感知传感器分别位于所述感应片的运动轨迹的两端，当所述驱动组件与所述基板脱离接触时，所述驱动组件将所述转动轴固定在使得所述感应片位于所述初始位置感应传感器的感知范围内的初始位置，且当所述感应片位于所述初始位置传感器的感知范围内时，所述初始位置传感器能够发出第二感知信号。优选地，所述基板感知传感器包括第一凹槽，所述初始位置传感器包括第二凹槽，所述感应片的一端能够进入所述第一凹槽，所述感应片的另一端能够进入所述第二凹槽。优选地，所述感应片形成为扇环形，所述基板处理装置还包括支撑杆，所述支撑杆的一端固定设置在所述转动轴上，所述感应片固定设置在所述支撑杆的另一端，且所述支撑杆的延长线穿过所述旋转轴的轴线，所述感应片的圆心位于所述支撑杆上。优选地，所述驱动组件包括固定在所述转动轴上的杠杆、设置在所述杠杆一端的配重和设置在所述杠杆的另一端的接触件，所述杠杆用于当所述接触件与所述基板接触时，随所述转动轴绕该转动轴的轴线转动；所述基板处理装置还包括位于处理腔内并设置在所述杠杆下方的配重止挡件，所述配重止挡件用于当所述接触件不与所述基板接触时，止挡所述杠杆设置有配重的一端运动。优选地，所述配重到所述杠杆与所述转动轴相连处的距离小于所述杠杆的另一端到所述杠杆与所述转动轴相连处的距离。优选地，所述接触件包括滚轮，所述滚轮能在所述基板接触所述滚轮外表面并将所述杠杆压下时滚动。优选地，所述配重止挡件包括止挡杆，所述基板处理装置还包括安装杆，所述配重止挡件设置在所述安装杆的一端，所述安装杆的另一端用于安装在所述处理腔内，所述安装杆和所述配重止挡件互相垂直。优选地，所述基板处理装置还包括调节机构，所述安装杆为可伸缩杆，所述调节机构包括操作部和执行部，所述执行部连接在所述安装杆和所述操作部之间，所述操作部设置在所述处理腔外部，所述执行部能够将施加给所述操作部的动作传递至所述安装杆，并控制所述安装杆伸长或缩短。优选地，所述基板处理装置还包括控制器和喷淋机构，所述喷淋机构包括喷淋头，所述喷淋头设置在所述处理腔内，所述控制器的输出端与所述喷淋机构的控制端相连，所述控制器的输入端与所述基板感知组件的输出端相连，当所述控制器接收到所述基板感知组件的第一感知信号时，向所述喷淋机构的控制端发出第一控制信号，以控制所述喷淋机构开始喷淋。优选地，所述基板处理装置还包括控制器和喷淋机构，所述喷淋机构包括喷淋头，所述喷淋头设置在所述处理腔内，所述控制器的输出端与所述喷淋机构的控制端相连，所述控制器的输入端与所述基板感知组件的输出端相连，当所述控制器接收到所述第二感知信号时，向所述喷淋机构发出第二控制信号，以控制所述喷淋机构停止喷淋。优选地，所述基板处理装置包括设置在所述处理腔内的多个传输轴，所述转动轴设置在相邻两根所述传输轴之间。在本专利技术所提供给的基板处理装置中，由于基板感知传感器和感应片均设置在处理腔的外部，因此，处理液不会对基板感知传感器造成影响。除此之外，一旦基板感知传感器发生故障，可以及时发现，并且可以方便地对基板感知传感器进行更换，从而可以避免因基板感知传感器故障造成的设备停运、叠片、破片等现象。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是本专利技术所提供的基板处理装置的结构示意图；图2是传感器安装架的示意图，其中，所述感应片处于初始状体；图3是传感器安装架的示意图，其中，所述感应片处于最终状体；图4是感应片未进入基板感知传感器的感知范围的示意图；图5是感应片进入基板感知传感器的感知范围本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，包括处理腔和基板感知组件，其特征在于，所述基板处理装置还包括：转动轴，所述转动轴的一部分设置在所述处理腔内，且所述转动轴的两个端部中的至少一个延伸至所述处理腔外部，所述基板感知组件设置在所述转动轴上，且位于所述处理腔的外部；和驱动组件，所述驱动组件固定在所述转动轴位于所述处理腔内的部分上；所述驱动组件能够在接触到待处理的基板时带动所述转动轴绕自身轴线沿第一方向转动，且当所述转动轴沿所述第一方向转过预定角度时，所述基板感知组件能够发出判定所述基板进入所述处理腔的第一感知信号；所述驱动组件能够在基板离开所述驱动组件时带动所述转动轴绕自身轴线沿与所述第一方向相反的第二方向转动，且当所述转动轴沿所述第二方向转过所述预定角度时，所述基板感知组件停止发出所述第一感知信号。

【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，包括处理腔和基板感知组件，其特征在
于，所述基板处理装置还包括：
转动轴，所述转动轴的一部分设置在所述处理腔内，且所述转
动轴的两个端部中的至少一个延伸至所述处理腔外部，所述基板感知
组件设置在所述转动轴上，且位于所述处理腔的外部；和
驱动组件，所述驱动组件固定在所述转动轴位于所述处理腔内
的部分上；
所述驱动组件能够在接触到待处理的基板时带动所述转动轴绕
自身轴线沿第一方向转动，且当所述转动轴沿所述第一方向转过预定
角度时，所述基板感知组件能够发出判定所述基板进入所述处理腔的
第一感知信号；
所述驱动组件能够在基板离开所述驱动组件时带动所述转动轴
绕自身轴线沿与所述第一方向相反的第二方向转动，且当所述转动轴
沿所述第二方向转过所述预定角度时，所述基板感知组件停止发出所
述第一感知信号。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述基
板感知组件包括基板感知传感器和感应片，所述基板感知传感器和所
述感应片中的一者安装在所述转动轴上，所述基板感知传感器和所述
感应片中的另一者相对于所述处理腔静止设置；
当所述转动轴沿所述第一方向转过所述预定角度时，所述基板
感知传感器和所述感应片互相接近至所述感应片进入所述基板感知
传感器的感知范围，且所述基板感知传感器发出所述第一感知信号；
当所述转动轴沿所述第二方向转过所述预定角度时，所述基板
感知传感器和所述感应片互相远离至所述感应片离开所述基板感知
传感器的感知范围，并且所述基板感知传感器停止发出所述第一感知
信号。
3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，所述基
板感知组件还包括安装架，所述安装架相对于所述处理腔静止设置，
所述基板感知传感器和所述感应片中相对于所述处理腔静止的一者
固定设置在所述安装架上。
4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，所述基
板感知传感器设置在所述安装架上，所述感应片设置在所述转动轴
上。
5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，所述基
板处理装置还把包括初始位置感应传感器，所述初始位置感应传感器
设置在所述安装架上，且所述初始位置感应传感器与所述基板感知传
感器分别位于所述感应片的运动轨迹的两端，当所述驱动组件与所述
基板脱离接触时，所述驱动组件将所述转动轴固定在使得所述感应片
位于所述初始位置感应传感器的感知范围内的初始位置，且当所述感
应片位于所述初始位置传感器的感知范围内时，所述初始位置传感器
能够发出第二感知信号。
6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，所述基
板感知传感器包括第一凹槽，所述初始位置传感器包括第二凹槽，所
述感应片的一端能够进入所述第一凹槽，所述感应片的另一端能够进
入所述第二凹槽。
7.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，所述感
应片形成为扇环形，...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭伟刚，周伟，谢呈男，杨玉，林己燮，袁晨，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11