一种刻蚀机过滤系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种刻蚀机过滤系统，涉及刻蚀技术领域，所述刻蚀机过滤系统包括：主药液槽，用于在其中进行刻蚀作业；其侧面设有药液溢出口；辅药液槽开设有药液入口；药液入口低于药液溢出口，药液入口与药液溢出口之间通过第一管道连接；辅药液槽中设有过滤装置；药液输送装置，用于将通过过滤装置过滤后的刻蚀液输送至主药液槽。辅药液槽的高度比主药液槽低、便于工作人员加入药液；将过滤装置设置在辅药液槽中，使得工作人员在向辅药液槽中加入药液时能够便捷地查看过滤装置的使用情况，及时更换过滤装置。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及刻蚀
，具体涉及一种刻蚀机过滤系统。
技术介绍
刻蚀机在执行刻蚀作业时通常需要刻蚀液辅助，工业上往往将刻蚀机执行主体的刻蚀作业的部分设置在主药液槽中，通常该主药液槽高度较高，不方便直接加入刻蚀液。此外，为了减少浪费、节约成本，刻蚀液会循环使用。通常情况下，主药液槽中的部分刻蚀液经过滤系统过滤后再通过泵输回该主药液槽。该过滤系统的过滤装置往往设置在管道中，更为优选的情况，待循环刻蚀液先经过过滤装置过滤后再泵送回主药液槽，以减少待循环刻蚀液中残渣对泵的损伤。然而，现有将过滤装置设置在管道中的方案不能使工作人员及时获知过滤装置的使用情况，从而不能及时更换过滤装置，使得管道容易发生堵塞。此外，对设置于管道中的过滤装置进行更换时，需要拆装管道，维护成本高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中工作人员不能及时获知过滤装置的使用情况，以及过滤装置拆装较为麻烦的缺陷。为此，本技术实施例提供一种刻蚀机过滤系统，包括：主药液槽，用于在其中进行刻蚀作业；所述主药液槽装有刻蚀液，其侧面设有药液溢出口；辅药液槽，所述辅药液槽开设有药液入口；所述药液入口低于所述药液溢出口，所述药液入口与所述药液溢出口之间通过第一管道连接；所述辅药液槽中设有过滤装置；药液输送装置，用于将通过所述过滤装置过滤后的刻蚀液输送至所述主药液槽。可选的，所述辅药液槽包括槽体以及扣合在所述槽体上部的上盖。可选的，所述药液入口处设置有第一螺纹，所述过滤装置的边缘设有与所述第一螺纹相适应的第二螺纹；所述过滤装置通过螺纹旋转连接在所述药液入口处。可选的，所述上盖内部在所述药液入口的周边设置有螺栓，所述螺栓与所述上盖一体设置；所述过滤装置的边缘设置有与所述螺栓相适应的螺孔；所述过滤装置通过与所述螺栓相适应的螺母固定在所述药液入口处。可选的，所述过滤装置包括过滤棉和平面硬质过滤网，所述过滤棉设置于所述平面硬质过滤网的上方。可选的，所述过滤装置的边缘与所述辅药液槽的槽体上边缘轮廓相适应，所述过滤装置设置于所述辅药液槽的上边缘处。可选的，所述辅药液槽的内部一体设置有至少三个凸起，所述过滤装置放置在所述凸起上，并且所述过滤装置的边缘紧贴所述辅药液槽的内壁。可选的，所述辅药液槽的内部包括若干一体设置的支架，所述支架竖直设置，所述过滤装置放置在所述支架上，并且所述过滤装置的边缘紧贴所述辅药液槽的内壁。可选的，所述主药液槽的底部设有药液回流口，所述辅药液槽的底部设有药液出口。可选的，所述药液输送装置为泵，所述泵的入口通过第二管道连接所述辅药液槽的药液出口，所述泵的出口通过第三管道连接所述主药液槽的药液回流口。本技术技术方案，具有如下优点：本技术提供的刻蚀机过滤系统，包括主药液槽以及辅药液槽，在主药液槽的侧面设有药液溢出口，在辅药液槽上设有药液入口，辅药液槽的高度比主药液槽低、便于工作人员加入药液；将过滤装置设置在辅药液槽中，使得工作人员在向辅药液槽中加入药液时能够便捷地查看过滤装置的使用情况，及时更换过滤装置，从而降低对刻蚀机过滤系统的维护成本。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例中刻蚀过滤系统的结构示意图；图2为本技术实施例中上盖22及过滤装置4的纵切面示意图；图3A为本技术实施例中上盖22的仰视图；图3B本技术实施例中上盖22及过滤装置4的纵切面示意图；图4为本技术实施例中过滤装置4的一种优选安装方式示意图；图5为本技术实施例中过滤装置4的另一种优选安装方式示意图；图6为本技术实施例中过滤装置4的再一种优选安装方式示意图。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。实施例本实施例提供一种刻蚀机过滤系统，如图1所示，包括主药液槽1、辅药液槽2、过滤装置4和药液输送装置5。主药液槽1用于在其中进行刻蚀作业，主药液槽1装有刻蚀液，其侧面设有药液溢出口11。辅药液槽2开设有药液入口221。辅药液槽2的药液入口221低于主药液槽1的药液溢出口11，辅药液槽2的药液入口221与主药液槽1的药液溢出口11之间通过第一管道3连接。当主药液槽1内的刻蚀液到达药液溢出口11时，通过第一管道3自然流入辅药液槽中。作为一种变形方式，还可以通过药液输送装置，例如泵，一端连接药液溢出口11，另一端连接辅药液槽2的药液入口，将主药液槽1中的刻蚀液输送至辅药液槽2。辅药液槽2中设有过滤装置4。该过滤装置4可以设置在辅药液槽2的药液入口221处，也可以设置在辅药液槽2的槽体21的上边缘处，或者也可以设置在辅药液槽2的槽体21内的任一位置。药液输送装置5用于将通过过滤装置4过滤后的刻蚀液输送至主药液槽1。上述刻蚀机过滤系统，辅药液槽2的高度比主药液槽1低、便于工作人员加入药液；将过滤装置4设置在辅药液槽2中，使得工作人员在向辅药液槽2中加入药液时能够便捷地查看过滤装置4的使用情况，及时更换过滤装置4，从而降低对刻蚀机过滤系统的维护成本。主药液槽1的上方可以没有上盖。该药液输送装置5可以从开设在辅药液槽2上任意位置处的孔抽取辅药液槽2内的刻蚀液输送回主药液槽1的上口。通常情况下刻蚀作业需要在恒定温度的刻蚀液中进行，可以在辅药液槽2中设置恒温装置，对刻蚀液加热或降温，再输送至主药液槽中，因此主药液槽1和辅药液槽2通常具有上盖。作为本实施例的一种优选实施方式，辅药液槽2包括槽体21以及扣合在槽体21上部的上盖22，上盖22开设有药液入口221。优选地，主药液槽1的底部设有药液回流口12，辅药液槽2的底部设有药液出口211。经过滤后的刻蚀液从药液出口211流回主药液槽1的药液回流口12。作为本实施例的一种实施方式，辅药液槽2的药液入口处221设置有第一螺纹，过滤装置4的边缘设有与第一螺纹相适应的第二螺纹。过滤装置4通过螺纹旋转连接在辅药液槽2的药液入口221处。例如，如图2所示，图2为上盖22及过滤装置4的纵切面示意图。药液入口221的内侧有螺纹222，过滤装置的外侧设有与螺纹222相适应的螺纹41，则可以通过螺纹41旋转将过滤装置安装到药液入口221处。过滤装置4设有过滤层42，选本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种刻蚀机过滤系统，其特征在于，包括：主药液槽，用于在其中进行刻蚀作业；所述主药液槽装有刻蚀液，其侧面设有药液溢出口；辅药液槽，所述辅药液槽开设有药液入口；所述药液入口低于所述药液溢出口，所述药液入口与所述药液溢出口之间通过第一管道连接；所述辅药液槽中设有过滤装置；药液输送装置，用于将通过所述过滤装置过滤后的刻蚀液输送至所述主药液槽。

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀机过滤系统，其特征在于，包括：主药液槽，用于在其中进行刻蚀作业；所述主药液槽装有刻蚀液，其侧面设有药液溢出口；辅药液槽，所述辅药液槽开设有药液入口；所述药液入口低于所述药液溢出口，所述药液入口与所述药液溢出口之间通过第一管道连接；所述辅药液槽中设有过滤装置；药液输送装置，用于将通过所述过滤装置过滤后的刻蚀液输送至所述主药液槽。2.根据权利要求1所述的刻蚀机过滤系统，其特征在于，所述辅药液槽包括槽体以及扣合在所述槽体上部的上盖。3.根据权利要求2所述的刻蚀机过滤系统，其特征在于，所述药液入口处设置有第一螺纹，所述过滤装置的边缘设有与所述第一螺纹相适应的第二螺纹；所述过滤装置通过螺纹旋转连接在所述药液入口处。4.根据权利要求2所述的刻蚀机过滤系统，其特征在于，所述上盖内部在所述药液入口的周边设置有螺栓，所述螺栓与所述上盖一体设置；所述过滤装置的边缘设置有与所述螺栓相适应的螺孔；所述过滤装置通过与所述螺栓相适应的螺母固定在所述药液入口处。5.根据权利要求2所述的刻蚀机过滤系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙红帅，葛亮，高裕弟，孙剑，
申请(专利权)人：九江维信诺科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36