一种半导体热板光刻装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体热板光刻装置，包括支撑底座、第一频率控制器、第二频率控制器、支撑柱、第一电动伸缩杆、皮带输送机、半导体热板、固定卡扣、第二电动伸缩杆、固定外壳体、红外激光雕刻头和滚轮，所述支撑柱的上端与第一电动伸缩杆固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二电动伸缩杆固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部通过固定卡扣与红外激光雕刻头固定连接；所述固定外壳体内固定有皮带输送机；所述皮带输送机的输送皮带上固定有半导体热板；所述支撑底座的下端四周设置有四个滚轮。该实用新型专利技术的有益效果是工作效率高，自动化程度高，光刻效果好，上料便捷，光刻效率高、拆卸安装便捷和移动使用便捷。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体生产用设备装置
，具体涉及一种半导体热板光刻装置。
技术介绍
半导体热板光刻装置是通过红外激光，将半导体热板表面薄膜的特定部分除去的工艺。在此之后，半导体热板表面会留下带有微图形结构的薄膜。通过光刻工艺过程，最终在半导体热板表面上保留的是特征图形部分。目前的半导体热板光刻装置，工作效率低，自动化程度低、灵敏度低、拆卸安装不便捷和移动使用不便捷。因此，专利技术一种半导体热板光刻装置显得非常必要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体热板光刻装置，以解决上述
技术介绍
中提出目前的半导体热板光刻装置，工作效率低，自动化程度低、灵敏度低、拆卸安装不便捷和移动使用不便捷的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体热板光刻装置，包括支撑底座、连接法兰、第一频率控制器、第二频率控制器、支撑柱、第一电动伸缩杆、皮带输送机、半导体热板、铰接轴、固定卡扣、第二电动伸缩杆、固定外壳体、电源插头、红外激光雕刻头和滚轮，所述支撑底座的右端与连接法兰固定连接；所述连接法兰的上端与支撑柱的下端固定连接；所述支撑柱的上端与第一电动伸缩杆固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二电动伸缩杆固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部通过固定卡扣与红外激光雕刻头固定连接；所述支撑底座的左侧与固定外壳体固定连接；所述固定外壳体内固定有皮带输送机；所述皮带输送机的输送皮带上固定有半导体热板；所述支撑底座的下端四周设置有四个滚轮；所述滚轮通过铰接轴与支撑底座固定连接；所述支撑柱的上固定有第一频率控制器和第二频率控制器；所述第一频率控制器与第一电动伸缩杆电性连接；所述第二频率控制器与第二电动伸缩杆电性连接。进一步，所述支撑底座的一侧设置有电源插头。进一步，所述半导体热板通过固定卡夹与皮带输送机的输送带固定连接。进一步，所述第一电动伸缩杆通过固定螺丝与支撑柱固定连接。进一步，所述滚轮是一种万向轮，并且滚轮的外侧设置有耐磨橡胶套。本技术的技术效果和优点：通过设置第一频率控制器控制的第一电动伸缩杆带动红外激光雕刻头左右伸展，并且通过第二频率控制器控制第二电动伸缩杆带动红外激光雕刻头升降，将带动红外激光雕刻头左右伸展和上下升降的动力采用第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆，代替原始的气动动力，使得装置的灵敏性高，自动化程度高，光刻效果好；通过设置皮带输送机，可以自动输送半导体热板到达红外激光雕刻头下进行光刻，使得装置自动上料，提高生产效率；通过设置固定卡扣与固定装置，使得装置拆卸安装便捷；通过在支撑底座的下端四周设置有四个滚轮，使得装置移动使用便捷。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：1-支撑底座；2-连接法兰；3-第一频率控制器；4-第二频率控制器；5-支撑柱；6-第一电动伸缩杆；7-皮带输送机；8-半导体热板；9-铰接轴；10-固定卡扣；11-第二电动伸缩杆；12-固定外壳体；13-电源插头；14-红外激光雕刻头；15-滚轮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1所示的一种半导体热板光刻装置，包括支撑底座1、连接法兰2、第一频率控制器3、第二频率控制器4、支撑柱5、第一电动伸缩杆6、皮带输送机7、半导体热板8、铰接轴9、固定卡扣10、第二电动伸缩杆11、固定外壳体12、电源插头13、红外激光雕刻头14和滚轮15，所述支撑底座1的右端与连接法兰2固定连接；所述连接法兰2的上端与支撑柱5的下端固定连接；所述支撑柱5的上端与第一电动伸缩杆6固定连接；所述第一电动伸缩杆6的伸缩杆端部与第二电动伸缩杆11固定连接；所述第二电动伸缩杆11的伸缩杆端部通过固定卡扣10与红外激光雕刻头14固定连接；所述支撑底座1的左侧与固定外壳体12固定连接；所述固定外壳体12内固定有皮带输送机7；所述皮带输送机7的输送皮带上固定有半导体热板8；所述支撑底座1的下端四周设置有四个滚轮15；所述滚轮15通过铰接轴9与支撑底座1固定连接；所述支撑柱5的上固定有第一频率控制器3和第二频率控制器4；所述第一频率控制器3与第一电动伸缩杆6电性连接；所述第二频率控制器4与第二电动伸缩杆11电性连接。进一步，所述支撑底座1的一侧设置有电源插头13。进一步，所述半导体热板8通过固定卡夹与皮带输送机7的输送带固定连接。进一步，所述第一电动伸缩杆6通过固定螺丝与支撑柱5固定连接。进一步，所述滚轮15是一种万向轮，并且滚轮15的外侧设置有耐磨橡胶套。工作原理：通过设置第一频率控制器3控制的第一电动伸缩杆6带动红外激光雕刻头14左右伸展，并且通过第二频率控制器4控制第二电动伸缩杆11带动红外激光雕刻头14升降，将带动红外激光雕刻头14左右伸展和上下升降的动力采用第一电动伸缩杆6和第二电动伸缩杆11，代替原始的气动动力，使得装置的灵敏性高，自动化程度高，光刻效果好；通过设置皮带输送机7，可以自动输送半导体热板8到达红外激光雕刻头14下进行光刻，使得装置自动上料，提高生产效率；通过设置固定卡扣10与固定装置7，使得装置拆卸安装便捷；通过在支撑底座1的下端四周设置有四个滚轮15，使得装置移动使用便捷。利用本技术所述技术方案，或本领域的技术人员在本技术技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体热板光刻装置，包括支撑底座（1）、连接法兰（2）、第一频率控制器（3）、第二频率控制器（4）、支撑柱（5）、第一电动伸缩杆（6）、皮带输送机（7）、半导体热板（8）、铰接轴（9）、固定卡扣（10）、第二电动伸缩杆（11）、固定外壳体（12）、电源插头（13）、红外激光雕刻头（14）和滚轮（15），其特征在于：所述支撑底座（1）的右端与连接法兰（2）固定连接；所述连接法兰（2）的上端与支撑柱（5）的下端固定连接；所述支撑柱（5）的上端与第一电动伸缩杆（6）固定连接；所述第一电动伸缩杆（6）的伸缩杆端部与第二电动伸缩杆（11）固定连接；所述第二电动伸缩杆（11）的伸缩杆端部通过固定卡扣（10）与红外激光雕刻头（14）固定连接；所述支撑底座（1）的左侧与固定外壳体（12）固定连接；所述固定外壳体（12）内固定有皮带输送机（7）；所述皮带输送机（7）的输送皮带上固定有半导体热板（8）；所述支撑底座（1）的下端四周设置有四个滚轮（15）；所述滚轮（15）通过铰接轴（9）与支撑底座（1）固定连接；所述支撑柱（5）的上固定有第一频率控制器（3）和第二频率控制器（4）；所述第一频率控制器（3）与第一电动伸缩杆（6）电性连接；所述第二频率控制器（4）与第二电动伸缩杆（11）电性连接。...

【技术特征摘要】
1.一种半导体热板光刻装置，包括支撑底座（1）、连接法兰（2）、第一频率控制器（3）、第二频率控制器（4）、支撑柱（5）、第一电动伸缩杆（6）、皮带输送机（7）、半导体热板（8）、铰接轴（9）、固定卡扣（10）、第二电动伸缩杆（11）、固定外壳体（12）、电源插头（13）、红外激光雕刻头（14）和滚轮（15），其特征在于：所述支撑底座（1）的右端与连接法兰（2）固定连接；所述连接法兰（2）的上端与支撑柱（5）的下端固定连接；所述支撑柱（5）的上端与第一电动伸缩杆（6）固定连接；所述第一电动伸缩杆（6）的伸缩杆端部与第二电动伸缩杆（11）固定连接；所述第二电动伸缩杆（11）的伸缩杆端部通过固定卡扣（10）与红外激光雕刻头（14）固定连接；所述支撑底座（1）的左侧与固定外壳体（12）固定连接；所述固定外壳体（12）内固定有皮带输送机（7）；所述皮带输送机（7）的输送皮带上固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：卓廷厚，
申请(专利权)人：厦门芯光润泽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35