激光刻蚀机的除尘装置制造方法及图纸

技术编号:14907413 阅读:111 留言:0更新日期:2017-03-29 22:29
本实用新型专利技术提供一种激光刻蚀机的除尘装置,包括除尘罩、吸风嘴和离子风棒,吸风嘴和离子风棒都安装在除尘罩上,吸风嘴的吸风口在除尘罩内侧,离子风棒的吹风口在除尘罩内侧,其特征在于:还包括挡风罩,挡风罩由挡风板和驱动机构组成,挡风板包围在除尘罩的下方外侧,驱动机构为一可伸缩的运动部件,驱动机构一端连接挡风板,另一端连接除尘罩,挡风罩的驱动机构为伸缩气缸。本实用新型专利技术的激光刻蚀机的除尘装置除尘效果好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种激光设备的除尘装置,特别是涉及激光刻蚀机的除尘装置。
技术介绍
激光刻蚀机在对显示触摸屏ITO薄膜、玻璃基底或PET基底的银浆进行蚀刻的过程中会产生粉尘,这些粉尘如果不被清除,则会遗留在导电薄膜和银浆电路上,这样,会使电路的导电性能发生变化或造成电路的短接现象,所以,激光刻蚀机都设置有除尘装置,以此来除去蚀刻的过程中产生的粉尘。激光刻蚀机的除尘装置安装在激光刻蚀机的激光扫描头下方,激光刻蚀机的除尘装置多为一向下开口的半封闭的吸气装置,通过真空吸气,将蚀刻过程中产生的粉尘吸离导电薄膜和银浆电路。然而,蚀刻过程中产生的粉尘会带上正电荷或负电荷,吸附于导电薄膜和银浆电路上,使除去这些粉尘变得不容易,为了中和粉尘的电荷,除尘装置还设置有离子风棒,离子风棒可产生大量的带有正负电荷的气团,可以将经过它离子辐射区内的粉尘所带有的电荷中和掉。当粉尘所带为负电荷时,它会吸引辐射区内的正电荷,当粉尘所带为正电荷时,它会吸引辐射区内的负电荷,从而使粉尘的静电被中和,达到消除静电的目的。虽然激光刻蚀机的除尘装置设置了离子风棒,但其除尘效果往往并不是很好,分析其原因,主要是在导电薄膜或银浆电路上方形成的真空度不够,不能形成足够的吸力把粉尘带走,为了使导电薄膜或银浆电路上方形成的足够真空度,现有的作法是的使除尘装置的除尘罩下方与导电薄膜或银浆的距离尽可能小,但是,为了上下导电薄膜或银浆方便快捷,导电薄膜或银浆与除尘装置的下方仍有20mm~30mm的距离,这样,除去粉尘的效果仍然不好。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种激光刻蚀机的除尘装置,此激光刻蚀机的除尘装置除尘效果好。为了达到上述目的,本技术的激光刻蚀机的除尘装置,包括除尘罩、吸风嘴和离子风棒,吸风嘴和离子风棒都安装在除尘罩上,吸风嘴的吸风口在除尘罩内侧,离子风棒的吹风口在除尘罩内侧,其特征在于:还包括挡风罩,挡风罩由挡风板和驱动机构组成,挡风板包围在除尘罩的下方外侧,驱动机构为一可伸缩的运动部件,驱动机构一端连接挡风板,另一端连接除尘罩。因为本技术的激光刻蚀机的除尘装置还包括挡风罩,挡风罩由挡风板和驱动机构组成,挡风板包围在除尘罩的下方外侧,驱动机构为一可伸缩的运动部件,驱动机构一端连接挡风板,另一端连接除尘罩。在生产过程中,当要上下导电薄膜或银浆时,驱动机构缩回,使挡风板上升,导电薄膜或银浆与除尘装置的下方的距离变大,上下料方便快捷;当上料完成后,驱动机构伸出,使挡风板下降,导电薄膜或银浆与除尘装置的下方的距离变小,在离子风棒和与吸风嘴连接的抽风机的作用下,电薄膜或银浆电路上方就形成的足够真空度,除尘效果好。所述的激光刻蚀机的除尘装置,其特征在于:挡风罩的驱动机构为伸缩气缸。本技术的激光刻蚀机的除尘装置除尘效果好。附图说明图1是本技术实施例的结构示意图。图2是本技术实施例安装在激光刻蚀机上驱动机构伸出时的结构示意图。图3是本技术实施例安装在激光刻蚀机上驱动机构缩回时的结构示意图。具体实施方式图1标记的说明:吸风嘴1,离子风棒2,除尘罩3,驱动机构4,挡风板5。图2标记的说明:吸附平台6,ITO薄膜7,激光扫描头8,激光发生装置9,X轴运动平台10,Y轴运动平台11。参见图1,本技术的激光刻蚀机的除尘装置包括除尘罩3、吸风嘴1、挡风罩和离子风棒2,吸风嘴1和离子风棒2都安装在除尘罩3上,吸风嘴1的吸风口在除尘罩3内侧,离子风棒2的吹风口在除尘罩3内侧,挡风罩由挡风板5和驱动机构4组成,挡风板5包围在除尘罩3的下方外侧,驱动机构4为一可伸缩的运动部件,驱动机构4一端连接挡风板5,另一端连接除尘罩3。因为本技术的激光刻蚀机的除尘装置还包括挡风罩,挡风罩由挡风板5和驱动机构4组成,挡风板5包围在除尘罩3的下方外侧,驱动机构4为一可伸缩的运动部件,驱动机构4一端连接挡风板5,另一端连接除尘罩3。在生产过程中,当要上下导电薄膜或银浆时,驱动机构4缩回,使挡风板5上升,导电薄膜或银浆与除尘装置的下方的距离变大,上下料方便快捷;当上料完成后,驱动机构4伸出,使挡风板5下降,导电薄膜或银浆与除尘装置的下方的距离变小,在离子风棒2和与吸风嘴1连接的抽风机的作用下,电薄膜或银浆电路上方就形成的足够真空度,除尘效果好。参见图2,在实施例中,激光刻蚀机的除尘装置安装在激光扫描头8下方,激光扫描头8与激光发生装置9连接后一并安装在X轴运动平台10上,X轴运动平台10在Y轴运动平台11上运动,在激光刻蚀机的除尘装置的下放设置有吸附平台6,被加工的工件ITO薄膜7放置在吸附平台6上,挡风罩的驱动机构4为伸缩气缸。在生产过程中,当要上下ITO薄膜7时,伸缩气缸4缩回(参见图3),使挡风板5上升,ITO薄膜7与除尘装置的下方的距离变大,上下料方便快捷;当上料完成后,伸缩气缸伸出(参见图2),使挡风板5下降,ITO薄膜7与除尘装置的下方的距离变小,在离子风棒2和与吸风嘴1连接的抽风机的作用下,ITO薄膜7上方就形成的足够真空度,使激光刻蚀机的除尘装置除尘效果好。实际使用过程中,当挡风板5下降到最低时,ITO薄膜7与除尘装置的下方的距离为5mm~10mm,除尘的效果最佳。本技术的激光刻蚀机的除尘装置除尘效果好,它的推广运用,对提高激光刻蚀机加工产品的质量有着积极的意义。本文档来自技高网...

【技术保护点】
激光刻蚀机的除尘装置,包括除尘罩、吸风嘴和离子风棒,吸风嘴和离子风棒都安装在除尘罩上,吸风嘴的吸风口在除尘罩内侧,离子风棒的吹风口在除尘罩内侧,其特征在于:还包括挡风罩,挡风罩由挡风板和驱动机构组成,挡风板包围在除尘罩的下方外侧,驱动机构为一可伸缩的运动部件,驱动机构一端连接挡风板,另一端连接除尘罩。

【技术特征摘要】
1.激光刻蚀机的除尘装置,包括除尘罩、吸风嘴和离子风棒,吸风嘴和离子风棒都安装在除尘罩上,吸风嘴的吸风口在除尘罩内侧,离子风棒的吹风口在除尘罩内侧,其特征在于:还包括挡风罩,挡风罩由挡风板和驱动机...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈刚辛天才袁聪汪伟邹金国
申请(专利权)人:武汉吉事达科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:湖北;42

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