酮酸供应温度控制系统技术方案

本实用新型专利技术涉及酮酸供应设备技术领域，具体地说是一种酮酸供应温度控制系统，包括酮酸桶槽(1)，酮酸桶槽(1)外部设计有盘管(2)，盘管(2)一端通过冰水控制比例调节阀(3)连接冰水供水管(4),盘管(2)另一端连接冰水回水管(5),酮酸桶槽(1)内部安装有温度传感器(6)，温度传感器(6)、冰水控制比例调节阀(3)分别通过线路连接PLC控制器(7)，酮酸桶槽(1)顶部入口的管道上安装有压力传感器(10)，酮酸桶槽(1)回流管路上设有自动泄压阀；本实用新型专利技术同现有技术相比，通过温度传感器即时侦测酮酸桶槽内部酮酸的温度，利用冰水控制比例调节阀调节阀门开度以控制冰水量达到控制酮酸温度。

【技术实现步骤摘要】
[
]本技术涉及酮酸供应设备
，具体地说是一种酮酸供应温度控制系统。[
技术介绍
]在液晶面板生产过程中，铜制程中使用的酮酸系统温度控制一般采用的方式是将整个系统专门设计成一个单独的空调房，用空调制冷的方式将整个房间温度设定在18℃之内。这种方式能耗等等非常高，而且有很多的不可控因素。而半导体装置、液晶显示装置等半导体设备、印刷基板、IC卡等在制造时，通常在基板上以金属薄膜等形成图案来构成金属薄膜元件或电极配线元件等。近年来，随着加工图案的精细化程度的提高，在无配线延迟、不易断线等物理性质方面对用于半导体和液晶显示装置等的金属薄膜元件和电极配线、其他元件等使用的材料的要求也越来越高。在这种状况下，作为这样的元件等的材料，期待一种电阻值低、并且制成薄膜图案时的加工性良好等各特性优异的材料，而铜或铜合金作为这样的材料受到了注意，其使用最近一直在增加。酮酸对于半导体装置或液晶显示装置的薄膜晶体管的电极或配线、或者凸点的制造等中具有铜或铜合金和其他导电性好的金属的叠层结构的基板，能够对铜或铜合金进行选择性的均匀蚀刻，在精细部位没有残渣，并且能不腐蚀基板上的电子部件、各种叠层膜等。因此，与现有方法相比，能够实现尺寸控制性更高的选择性的高精度蚀刻，改善设备的电特性和运行特性，由此能谋求提高半导体元件等各种装置的性能。但是由于酮酸的主要成分为过氧化氢，过氧化氢超过18℃分解时，会出现酮酸急剧的发热或产生大量的氧等情况，存在安全性方面的问题，所以酮酸的温度必须控制在18℃以下。[
技术实现思路
]本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种酮酸供应温度控制系统，通过温度传感器即时侦测酮酸桶槽内部酮酸的温度，利用冰水控制比例调节阀调节阀门开度以控制冰水量达到控制酮酸温度。为实现上述目的设计一种酮酸供应温度控制系统，包括酮酸桶槽1，所述酮酸桶槽1外部设计有盘管2，所述盘管2一端通过冰水控制比例调节阀3连接冰水供水管4,所述盘管2另一端连接冰水回水管5,所述酮酸桶槽1内部安装有温度传感器6，所述温度传感器6、冰水控制比例调节阀3分别通过线路连接PLC控制器7。所述酮酸桶槽1底部出口通过管道连接泵8的入口，所述泵8的出口通过管道连接自动阀9，所述自动阀9通过管道连接酮酸桶槽1顶部入口。所述酮酸桶槽1顶部入口的管道上安装有压力传感器10，所述酮酸桶槽1回流管路上设有自动泄压阀，所述压力传感器10、自动泄压阀分别通过线路连接PLC控制器7。本技术同现有技术相比，结构新颖、简单，设计合理，通过温度传感器即时侦测酮酸桶槽内部酮酸的温度，利用冰水控制比例调节阀调节阀门开度，以控制冰水量达到控制酮酸温度，从而使得酮酸温度控制在安全范围内；此外，本技术所述的酮酸供应温度控制系统通过压力传感器即时侦测管道内酮酸压力，压力过高时以便通过泄压的方式进行泄压，值得推广应用。[附图说明]图1是本技术的结构示意图；图中：1、酮酸桶槽2、盘管3、冰水控制比例调节阀4、冰水供水管5、冰水回水管6、温度传感器7、PLC控制器8、泵9、自动阀10、压力传感器。[具体实施方式]下面结合附图对本技术作以下进一步说明：如附图所示，本技术包括：酮酸桶槽1，酮酸桶槽1外部设计有盘管2，盘管2一端通过冰水控制比例调节阀3连接冰水供水管4,盘管2另一端连接冰水回水管5,酮酸桶槽1内部安装有温度传感器6，温度传感器6、冰水控制比例调节阀3分别通过线路连接PLC控制器7，酮酸桶槽1底部出口通过管道连接泵8的入口，泵8的出口通过管道连接自动阀9，自动阀9通过管道连接酮酸桶槽1顶部入口，酮酸桶槽1顶部入口的管道上安装有压力传感器10，酮酸桶槽1回流管路上设有自动泄压阀，压力传感器10、自动泄压阀分别通过线路连接PLC控制器7。本技术的原理为：将酮酸桶槽外部采用盘管设计，酮酸桶槽内部安装温度传感器，通过温度传感器对酮酸桶槽内酮酸温度自动进行采样，即时监控传输给PLC控制器，当酮酸温度高于控制设定值时，PLC会指令冰水控制比例调节阀，控制器会控制调大比例阀的开度，使盘管内通入7℃的冰水量加大使得酮酸温度降低；当酮酸温度低于控制设定值时，PLC会指令冰水控制比例调节阀，控制器会控制减小比例阀的开度，使盘管内通入7℃的冰水量减小使得酮酸温度升高，从而使得酮酸温度始终保持在17℃。再通过在供应主管路设计压力传感器侦测管路内部压力，如果压力超过设定值，设计在桶槽回流管路上的自动泄压阀将会开启进行泄压。本技术并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本技术的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种酮酸供应温度控制系统，其特征在于：包括酮酸桶槽(1)，所述酮酸桶槽(1)外部设计有盘管(2)，所述盘管(2)一端通过冰水控制比例调节阀(3)连接冰水供水管(4),所述盘管(2)另一端连接冰水回水管(5),所述酮酸桶槽(1)内部安装有温度传感器(6)，所述温度传感器(6)、冰水控制比例调节阀(3)分别通过线路连接PLC控制器(7)。

【技术特征摘要】
1.一种酮酸供应温度控制系统，其特征在于：包括酮酸桶槽(1)，所述酮酸桶槽(1)外部设计有盘管(2)，所述盘管(2)一端通过冰水控制比例调节阀(3)连接冰水供水管(4),所述盘管(2)另一端连接冰水回水管(5),所述酮酸桶槽(1)内部安装有温度传感器(6)，所述温度传感器(6)、冰水控制比例调节阀(3)分别通过线路连接PLC控制器(7)。2.如权利要求1所述的酮酸供应温度控制系统，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋玉宝，黄宏伟，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31