一种用于半导体生产过程中的抛光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体生产过程中的抛光装置，包括抛光头、陶瓷板、控制面板和下转轴，所述抛光头的下方固定安装有陶瓷板，且抛光头的上方安装有上转轴和控制面板，所述控制面板的左侧固定设置有上转轴，所述无蜡垫片的下方两侧固定设置有半导体放置处，且半导体放置处的两侧设置有固定装置，所述抛光盘的下方安装有抽屉，且抽屉的表面设置有抽屉把手。该用于半导体生产过程中的抛光装置，设置有无蜡垫片，且采用无蜡垫片进行抛光，使得抛光后的半导体更加符合人们的使用需求，在抛光盘上设置有抛光布，可以有效的防止长时间进行摩擦，影响抛光盘的使用寿命，给人们带来不必要的麻烦的情况，设置有抽屉。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体生产设备
，具体为一种用于半导体生产过程中的抛光装置。
技术介绍
半导体在生产过程中，需要经过切片、磨片、抛光、清洗、外延、氧化、光刻、扩散、测试、压焊、封装和成品测试过程，而其中抛光是必不可少的一项流程，但是目前市场上用于半导体生产过程中的抛光装置还存在着一些问题，一直困扰着客户的使用，比如抛光结束后的半导体质量，无法满足人们的需求，且使用寿命短，功能单一和结构复杂的问题，因此目前急需改善市场上用于半导体生产过程中的抛光装置的设备，以便于更方便的为人们服务。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于半导体生产过程中的抛光装置，以解决上述
技术介绍
中提出的抛光质量无法得到保障和功能单一的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于半导体生产过程中的抛光装置，包括抛光头、陶瓷板、无蜡垫片、抛光布、抛光盘、支撑座、半导体放置处、固定装置、抽屉、抽屉把手、上转轴、控制面板和下转轴，所述抛光头的下方固定安装有陶瓷板，且抛光头的上方安装有上转轴和控制面板，所述控制面板的左侧固定设置有上转轴，所述无蜡垫片的下方两侧固定设置有半导体放置处，且半导体放置处的两侧设置有固定装置，所述陶瓷板的下方固定安装有无蜡垫片，所述抛光布的下方固定安装有抛光盘，且抛光盘与抛光布的连接方式为固定连接，所述抛光盘的下方安装有抽屉，且抽屉的表面设置有抽屉把手，所述抽屉的左侧固定设置有支撑座，且抽屉的右侧固定设置有下转轴。优选的，所述抛光布和抛光盘面积大小完全吻合。优选的，所述无蜡垫片的顶部镶嵌于陶瓷板的内部。优选的，所述上转轴和下转轴均为可旋转装置，且旋转范围为0-180°。优选的，所述半导体放置处设有2处，且关于无蜡垫片的中轴线对称。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该用于半导体生产过程中的抛光装置，设置有无蜡垫片，且采用无蜡垫片进行抛光，使得抛光后的半导体更加符合人们的使用需求，在抛光盘上设置有抛光布，可以有效的防止长时间进行摩擦，影响抛光盘的使用寿命，给人们带来不必要的麻烦的情况，设置有抽屉，使得该用于半导体生产过程中的抛光装置的功能不在单一，且其结构简单，易于操作，可以更加直观的将整个工作流程呈现人们的面前，满足了人们的使用需求。附图说明图1为本技术结构示意图。图中：1、抛光头，2、陶瓷板，3、无蜡垫片，4、抛光布，5、抛光盘，6、支撑座，7、半导体放置处，8、固定装置，9、抽屉，10、抽屉把手，11、上转轴，12、控制面板，13、下转轴。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种用于半导体生产过程中的抛光装置，包括抛光头1、陶瓷板2、无蜡垫片3、抛光布4、抛光盘5、支撑座6、半导体放置处7、固定装置8、抽屉9、抽屉把手10、上转轴11、控制面板12和下转轴13，抛光头1的下方固定安装有陶瓷板2，且抛光头1的上方安装有上转轴11和控制面板12，上转轴11和下转轴13均为可旋转装置，且旋转范围为0-180°，控制面板12的左侧固定设置有上转轴11，无蜡垫片3的下方两侧固定设置有半导体放置处7，半导体放置处7设有2处，且关于无蜡垫片3的中轴线对称，无蜡垫片3的顶部镶嵌于陶瓷板2的内部，且半导体放置处7的两侧设置有固定装置8，陶瓷板2的下方固定安装有无蜡垫片3，抛光布4的下方固定安装有抛光盘5，抛光布4和抛光盘5面积大小完全吻合，且抛光盘5与抛光布4的连接方式为固定连接，抛光盘5的下方安装有抽屉9，且抽屉9的表面设置有抽屉把手10，抽屉9的左侧固定设置有支撑座6，且抽屉9的右侧固定设置有下转轴13。工作原理：在使用该用于半导体生产过程中的抛光装置时，首先对用于半导体生产过程中的抛光装置的结构进行一个简单的了解，然后将需抛光的半导体放入抛光布4上方的半导体放置处7，再利用固定装置8将其固定，这时调节控制面板12，使得上转轴11带动抛光头1旋转，从而带动陶瓷板2下方无蜡垫片3对半导体进行抛光，也可以通过调节控制面板12，使得下转轴13转动，带动抛光布4上方的半导体放置处7内的半导体在无蜡垫片3上进行抛光，抽屉9的设置，使得该用于半导体生产过程中的抛光装置的功能不再单一，这就是用于半导体生产过程中的抛光装置工作的整个过程。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体生产过程中的抛光装置，包括抛光头（1）、陶瓷板（2）、无蜡垫片（3）、抛光布（4）、抛光盘（5）、支撑座（6）、半导体放置处（7）、固定装置（8）、抽屉（9）、抽屉把手（10）、上转轴（11）、控制面板（12）和下转轴（13），其特征在于：所述抛光头（1）的下方固定安装有陶瓷板（2），且抛光头（1）的上方安装有上转轴（11）和控制面板（12），所述控制面板（12）的左侧固定设置有上转轴（11），所述无蜡垫片（3）的下方两侧固定设置有半导体放置处（7），且半导体放置处（7）的两侧设置有固定装置（8），所述陶瓷板（2）的下方固定安装有无蜡垫片（3），所述抛光布（4）的下方固定安装有抛光盘（5），且抛光盘（5）与抛光布（4）的连接方式为固定连接，所述抛光盘（5）的下方安装有抽屉（9），且抽屉（9）的表面设置有抽屉把手（10），所述抽屉（9）的左侧固定设置有支撑座（6），且抽屉（9）的右侧固定设置有下转轴（13）。

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体生产过程中的抛光装置，包括抛光头（1）、陶瓷板（2）、无蜡垫片（3）、抛光布（4）、抛光盘（5）、支撑座（6）、半导体放置处（7）、固定装置（8）、抽屉（9）、抽屉把手（10）、上转轴（11）、控制面板（12）和下转轴（13），其特征在于：所述抛光头（1）的下方固定安装有陶瓷板（2），且抛光头（1）的上方安装有上转轴（11）和控制面板（12），所述控制面板（12）的左侧固定设置有上转轴（11），所述无蜡垫片（3）的下方两侧固定设置有半导体放置处（7），且半导体放置处（7）的两侧设置有固定装置（8），所述陶瓷板（2）的下方固定安装有无蜡垫片（3），所述抛光布（4）的下方固定安装有抛光盘（5），且抛光盘（5）与抛光布（4）的连接方式为固定连接，所述抛光盘（5）...

【专利技术属性】
技术研发人员：卓廷厚，
申请(专利权)人：厦门芯光润泽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35