一种去胶工步识别方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种去胶工步识别方法及装置，该方法包括：根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步对应的工序标识和工步标识，并获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识；根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告提醒不允许跳步，可实现准确的判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，避免因跳步作业造成的机台加工出错，有利于提高产品良率和生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种去胶工步识别方法及装置。
技术介绍
半导体制造领域的MES(ManufacturingExecutionSystem，生产执行系统)中，根据业务逻辑先后顺序执行产品制作的基础流程，基础流程中经常需要进行跳步作业，例如，当产品批次按生产需要执行跳过某些工序步骤的作业，比如，从工序步骤3跳到步骤7，如果被跳过的步骤4至步骤6中包括去光刻胶的步骤，则直接跳步到步骤7得到的产品所携带的光刻胶不会被去掉，这样会造成后续作业的机台生产出错，影响产品质量。例如，如果后续作业为酸槽清洗，就会造成酸槽污染，甚至会导致整个批次的产品因酸洗时被污染而成为次品。为了避免这种情况发生，在跳步作业前，进行人工判断跳步作业所跳过的步骤是否包含去光刻胶步骤，但是人工判别容易出错，一旦判断错误，就会导致整个批次的机台生产都出错，增加次品数量，不利于提高产品良率。综上，现有半导体制造工艺中存在着无法准确判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，导致机台加工容易出错的问题。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种去胶工步识别方法及装置，用以解决现有半导体制造工艺中存在的无法准确判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，导致机台加工容易出错的问题。本专利技术实施例提供一种上述实施例中，根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步对应的工序标识和工步标识，并获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识，触发嵌套在MES中的去胶工步识别装置根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告提醒不允许跳步，可实现准确的判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，与人工判别相比，识别跳步作业所跳过工步中是否包含去胶步骤的准确率较高，可以避免因跳步作业造成的机台加工出错，有利于提高产品良率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为专利技术实施例提供的一种跳步作业去胶工步识别的方法流程图；图2为本专利技术实施例提供的一种跳步作业去胶工步识别的方法流程图；图3为本专利技术实施例提供的一种跳步作业去胶工步识别装置的结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例中的工步为工艺步骤的简称。为了避免因跳步作业造成的机台加工出错，提高产品良率，本专利技术实施例提供了一种去胶工步识别方法及装置，具体是根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步对应的工序标识和工步标识，并获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识，触发嵌套在MES中的去胶工步识别装置根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告提醒不允许跳步，可实现准确的判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，与人工判别相比，识别跳步作业所跳过工步中是否包含去胶步骤的准确率较高，可以避免因跳步作业造成的机台加工出错，有利于提高产品良率。而且如果识别出跳步作业所跳过工步中包括去胶工步，可根据发送的作业提醒直接追溯到该去胶工步对应的机台群组做后续处理，避免长时间的排查出错原因，可将对生产进度的影响降到最低，有利于提高生产效率。其中，MultiSkip嵌套在MES生产执行系统中，用于根据获取的数据识别本次跳步作业跳过的工步中是否包含去胶工步。去胶工步识别装置也可以为其它的具有相同功能的可以控制机台加工的装置。如图1所示的本专利技术实施例提供一种去胶工步识别方法，该方法包括：步骤101，获取待跳步工步的产品批次标识；步骤102，根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步的产品批次信息，待跳步工步的产品批次信息中至少包括待跳步工步对应的工序标识和工步标识；步骤103，获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识；步骤104，根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息；步骤105，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告，若不包括，则执行本次跳步。上述方法流程由嵌套于生产执行系统MES中的去胶工步识别装置或去胶工步检测装置来执行，嵌套于生产执行系统MES中的去胶工步识别装置或去胶工步检测装置用于识别跳步作业中所跳过的工步之间是否包括去胶步骤。上述步骤101中，根据输入设备输入的数据，获取待跳步工步的产品批次标识。待跳步工步是指跳步作业前刚执行完的工步。步骤102中，待跳步工步的产品批次信息包括待跳步工步的产品批次标识Lot_ID，工步标识Operration/Step_ID，工序标识Layer_ID，工艺标识Process_ID，产品编号Product_ID，工艺菜单标识Recipe_ID等信息，这一步骤的实现基于MES系统执行该待跳步工步时，存储以该产品批次标识为索引的每个工步的产品批次信息，而待跳步工步的产品批次信息为最新存储的，当去胶工步识别装置获取输入设备输入的该产品批次标识时，会自动提取跳步前最新存储的该产品批次标识对应的待跳步工步的产品批次信息。步骤102之后，还包括：显示待跳步工步的产品批次信息。上述方法流程中，每个工序标识对应至少一个工步标识，一般来说，在半导体生产执行系统MES中，一个工艺由多个工序组成，每个工序对应一个唯一的工序标识，而一个工序可以包括多个工步，每个工步对应一个唯一的工步标识。本专利技术实施例提供了在同一工序间跳步时确定所跳过工步的工步信息的方法，即若待跳步工步对应的工序标识与目标工步对应的工序标识相同，则步骤104中包括：根据待跳步工步对应的工步标识、目标工步的工步标识，以及工序标识对应的工步列表，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息。所跳过工步的工步信息至少为所跳过工步对应的工步标识，也可包括工步标识对应的机台群组标识，工步标识对应的工序标识等。其中，若一个工序包括多个工步，则工序标识对应的工步列表是指该工序对应的工序标识与该工序包括的所有工步的工步标识的对应关系。比如，一个工序包括5个工步，该工步的工序标识为Layer1_ID，按照执行的先后顺序排列的5个工步的工步标识分别为Step1_ID，Step2_ID，Step3_ID，Step4_ID，Step5_ID，那么以Layer1_ID为索引，以Step1_ID1，Step2_ID2，Step3_ID，Step4_ID，Step5_ID为索引内容的表项即为工序标识对应的工步列表，并且在工序标识对应的工步列表中的工步标识按照执行的先后顺序排列本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种去胶工步识别方法，其特征在于，包括：获取待跳步工步的产品批次标识；根据获取的所述产品批次标识，提取所述待跳步工步的产品批次信息，所述待跳步工步的产品批次信息中至少包括所述待跳步工步对应的工序标识和工步标识；获取所述待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识；根据所述待跳步工步对应的工序标识和工步标识、所述目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息；若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告，若不包括，则执行本次跳步。

【技术特征摘要】
1.一种去胶工步识别方法，其特征在于，包括：获取待跳步工步的产品批次标识；根据获取的所述产品批次标识，提取所述待跳步工步的产品批次信息，所述待跳步工步的产品批次信息中至少包括所述待跳步工步对应的工序标识和工步标识；获取所述待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识；根据所述待跳步工步对应的工序标识和工步标识、所述目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息；若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告，若不包括，则执行本次跳步。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据获取的所述产品批次标识，提取所述待跳步工步的产品批次信息之后，还包括：显示所述待跳步工步的产品批次信息。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，每个工序标识对应至少一个工步标识；根据所述待跳步工步对应的工序标识和工步标识、所述目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息，包括：若所述待跳步工步对应的工序标识与所述目标工步对应的工序标识相同，则根据所述待跳步工步对应的工步标识、所述目标工步的工步标识，以及所述工序标识对应的工步列表，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息；或者，若所述待跳步工步对应的工序标识与所述目标工步对应的工序标识不同，则根据所述待跳步工步的工序标识和所述目标工步的工序标识确定本次跳步作业所跳过的工序标识；根据所述待跳步工步的工步标识和所述待跳步工步的工序标识对应的工
\t步列表，本次跳步作业所跳过的工序标识对应的工步列表，所述目标工步的工步标识和所述目标工步的工序标识对应的工步列表，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息。4.如权利要求1至3中任一项中所述的方法，其特征在于，所跳过工步的工步信息至少为所跳过工步对应的工步标识；若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告，包括：若查找到所跳过工步的工步标识标记有去胶工步识别标识，则发送作业警告；或者，若查找到所跳过工步的工步标识对应的机台群组标识标记有去胶工步识别标识，则发送作业警告。5.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，发送作业警告之后，还包括：显示本次跳步作业所跳过工步中包括的去胶工步对应的工步标识，和/或，该去胶工步对应的机台群组标识；以及向指定邮箱发送去胶工步识别报告，所述去胶工步识别报告中包括本次跳步作业所跳过工步中包含的去胶工步对应的工步标识，和/或，该去胶工步对...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹祥宇，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11