一种超高反射率反射镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种超高反射率反射镜，包括基板，基板的上方设置有粘合层，基板通过粘合层与银薄膜层粘结起来，银薄膜层的上方设置有膜层，膜层是由低折射率膜层和高折射率膜层依次交替层叠而成，高折射率膜层与低折射率膜层的总数为奇数，最外层与空气接触的为高折射率膜层，膜层和银薄膜层的中间设置有粘附改善膜层和防氧化膜层，膜层中的高折射率膜层与防氧化膜层粘贴，且自与防氧化膜贴合的高折射率膜层起，层叠的各膜层厚度呈余弦函数规律变化，该一种超高反射率反射镜，通过设置膜层使得该反射镜拥有超高的反射率，耐湿性、耐盐水性和耐久性优异，而且光的入射角很难引起反射率的变动。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及精密测量和精密加工
，具体为一种超高反射率反射镜。
技术介绍
近年来在激光、数码成像等领域对于反射镜的需求越来越广泛,在激光
，尤其是和频激光器谐振腔反射镜上，为实现高功率和频光输出，要求谐振腔反射镜对任意两个基频光波长以及和频光波长都要实现超高的反射率，而在电子器件领域中，为了改善电子器件的辉度和节省能量，需要提高反射镜的反射率，例如为了能在如投影电视一样的大画面屏幕上显示出图像，光学上就需要多片的反射镜，所以在增加反射次数的同时，光量降低，其结果最终出现了得到的光量变小，画面亮度下降的问题，所以人们需要反射率较以往更高的反射镜，一直以来，通常采用铝来作为金属膜的材料，但是在采用铝作为金属膜的材料时，光的入射角会引起反射率的变化，产生反射颜色出现偏差的问题。
技术实现思路
针对以上问题，本技术提供了一种超高反射率反射镜，通过设置由低折射率膜层和高折射率膜层依次交替层叠的膜层和银薄膜层等可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种超高反射率反射镜，包括基板，所述基板的上方设置有粘合层，所述基板通过粘合层与银薄膜层粘接起来，所述银薄膜层的上方设置有氧化用的粘附改善膜层，所述粘附改善膜层的上方设置有防止反射镜被环境腐蚀的防氧化膜层，所述防氧化膜层的上面连接有能提供超高反射率的膜层，所述膜层是由低折射率膜层和高折射率膜层依次交替层叠而成，且高折射率膜层与低折射率膜层的总数为奇数，所述膜层的最低端为高折射率膜层，所述膜层与空气接触的也是高折射率膜层，且自膜层最低端的高折射率膜层起，层叠的各膜层厚度呈余弦函数规律变化。作为本技术一种优选的技术方案，所述银薄膜层为银和金的合金膜层。作为本技术一种优选的技术方案，所述基板的材料为塑料或玻璃。作为本技术一种优选的技术方案，所述粘合层采用TiW薄膜，且厚度为50nm。作为本技术一种优选的技术方案，所述高折射率膜层的材料为TiO2、Nb2O5、Ta2O5中的一种，且其消光系数小于或等于0.01。作为本技术一种优选的技术方案，所述低折射率膜层的材料为SiO2或MgF2,且其消光系数小于或等于0.01。作为本技术一种优选的技术方案，上述粘附改善膜层的材料是选自氧化锌、氧化锡、氧化铟、氧化铝及二氧化钛中的1种或1种以上。作为本技术一种优选的技术方案，上述防氧化膜层的材料是选自氧化铝、氮化铝及氮化硅中的1种或1种以上。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该一种超高反射率反射镜，通过调制膜层厚度采用余弦函数规律变化的结构，使得该反射镜拥有超高的反射率，通过设置粘附改善膜层和防氧化膜层使得反射镜的耐湿性、耐盐水性和耐久性优异，而且光的入射角很难引起反射率的变动。附图说明图1为本技术结构示意图；图2本技术膜层结构示意图。图中：1-反射镜；2-防氧化膜层；3-银薄膜层；4-基板；5-粘合层；6-粘附改善膜层；7-膜层；8-低折射率膜层；9-高折射率膜层。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例：请参阅图1、图2，本技术提供一种技术方案：一种超高反射率反射镜，包括基板4，所述基板4的上方设置有粘合层5，所述基板4通过粘合层5与银薄膜层3粘接起来，所述银薄膜层3的上方设置有氧化用的粘附改善膜层6，所述粘附改善膜层6的上方设置有防止反射镜被环境腐蚀的防氧化膜层2，所述防氧化膜层2的上面连接有能提供超高反射率的膜层7，所述膜层7是由低折射率膜层8和高折射率膜层9依次交替层叠而成，且高折射率膜层9与低折射率膜层8的总数为奇数，所述膜层7的最低端为高折射率膜层9，所述膜层7与空气接触的也是高折射率膜层9，且自膜层7最低端的高折射率膜层9起，层叠的各膜层厚度呈余弦函数规律变化。本技术的工作原理：在真空槽内设置作为基板4的清净化后的钠玻璃板，分别将作为靶材的添加了Au的银合金靶材设置在基板4的对面位置上，通过喷镀法在银薄膜层3上形成粘附改善膜层6，将残留气体排出后，再在粘附改善膜层6上形成膜厚为30nm的二氧化硅膜和氧化铌膜，二氧化硅膜和氧化铌膜的厚度采用余弦函数规律调制，使得反射镜1结构中的膜层厚度按照一定的函数规律变化，变化后的反射镜1结构满足多波长反射的截止带方程，其中调制幅度，调制频率和调制周期是根据反射镜1所要求的反射率大小来确定的。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超高反射率反射镜，包括基板(4)，其特征在于：所述基板(4)的上方设置有粘合层(5)，所述基板(4)通过粘合层(5)与银薄膜层(3)粘接起来，所述银薄膜层(3)的上方设置有氧化用的粘附改善膜层(6)，所述粘附改善膜层(6)的上方设置有防止反射镜被环境腐蚀的防氧化膜层(2)，所述防氧化膜层(2)的上面连接有能提供超高反射率的膜层(7)，所述膜层(7)是由低折射率膜层(8)和高折射率膜层(9)依次交替层叠而成，且高折射率膜层(9)与低折射率膜层(8)的总数为奇数，所述膜层(7)的最低端为高折射率膜层(9)，所述膜层(7)与空气接触的也是高折射率膜层(9)，且自膜层(7)最低端的高折射率膜层(9)起，层叠的各膜层厚度呈余弦函数规律变化。

【技术特征摘要】
1.一种超高反射率反射镜，包括基板(4)，其特征在于：所述基板(4)的上方设置有粘合层(5)，所述基板(4)通过粘合层(5)与银薄膜层(3)粘接起来，所述银薄膜层(3)的上方设置有氧化用的粘附改善膜层(6)，所述粘附改善膜层(6)的上方设置有防止反射镜被环境腐蚀的防氧化膜层(2)，所述防氧化膜层(2)的上面连接有能提供超高反射率的膜层(7)，所述膜层(7)是由低折射率膜层(8)和高折射率膜层(9)依次交替层叠而成，且高折射率膜层(9)与低折射率膜层(8)的总数为奇数，所述膜层(7)的最低端为高折射率膜层(9)，所述膜层(7)与空气接触的也是高折射率膜层(9)，且自膜层(7)最低端的高折射率膜层(9)起，层叠的各膜层厚度呈余弦函数规律变化。2.根据权利要求1所述的一种超高反射率反射镜，其特征在于：所述银薄膜层(3)为银和金的合金膜层。3.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖志全，
申请(专利权)人：武汉优光科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42