基板运输装置制造方法及图纸

一种基板处理装置，其包括：具有串联连接的臂链路的运输臂，所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度；至少第一滑轮和第二滑轮，其中，第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路；以及至少一个扭矩传递带，其在第一滑轮和第二滑轮之间纵向地延伸并且被联接至第一滑轮和第二滑轮中的每一个，至少一个扭矩传递带具有针对预定臂链路高度的对应带高度以及可变横向厚度，使得至少一个扭矩传递带包括针对所述对应带高度的具有横向增大的横截面的区段。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】背景。
示例性实施例大体上涉及机器人运输装置，以及更加具体地涉及机器人驱动传动装置。相关发展的简要描述随着半导体基板的尺寸增大，用于运输这些基板的机器人臂的尺寸/长度也增大。机器人臂可以使用金属带来将扭矩和运动从机器人驱动器传输至机器人臂的关节。然而，臂链路的增大的长度也增长了金属带的长度。通常，这些金属带是薄的，以便例如最小化弯曲应力以及维持金属带的功能寿命。如可以实现的，由于金属带是薄的，所以金属带的横截面面积小。该小的横截面面积可以影响带的轴向刚度，这可以导致动态驱动系统的低固有频率，低固有频率能够使伺服/驱动马达难以调谐，尤其是在直接驱动系统中。例如，伺服带宽度可以接近金属带的固有频率，并且能够使其难以调出振动并且可以由于低伺服带宽而导致更低的性能。在非直接驱动系统中，金属带的低固有频率可以导致长的安定时间以及降低的整体吞吐量性能。将有利的是具有一种驱动系统，在该驱动系统中，采用金属带但无上述性能问题的。附图说明结合附图在下面的描述中对本公开的实施例的上述方面和其他特征进行了解释，在附图中：图1A-1D是并入了本公开的实施例的方面的处理装置的示意图；图2是并入了本公开的实施例的方面的处理装置的示意图；图3A、图3B、图3C和图3D是根据本公开的实施例的方面的机器人运输装置的部分的示意图；图4A和图4B是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；图5和图5A是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；图6是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；图7是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；图8是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；图9A-9K是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图；以及图10是根据本公开的实施例的方面的机器人运输臂的部分的示意图。具体实施方式参照图1A-1D，示出如在本文中进一步公开的并入了本公开的实施例的方面的基板处理装置或设备（tool）的示意图。尽管将参照附图对本公开的实施例的方面进行描述，但应理解，本公开的实施例的方面能够以多种形式体现。此外，可以使用任何适合尺寸、形状或类型的元件或者材料。参照图1A和图1B，示出了根据本公开的实施例的方面的处理装置，比如例如半导体设备站11090。尽管在附图中示出了半导体设备，但本文描述的本公开的实施例的方面能够被应用至采用机器人操纵器的任何设备站或者应用。在该示例中，设备11090示出为集群设备，然而，本公开的实施例的方面也可以应用至任何适合的设备站，比如例如，线性设备站，比如在图1C、图1D和图2中示出的设备站，如在下述专利中所描述的：于2013年3月19日发布的标题为“线性分布的半导体工件处理设备”的美国专利号8,398,355、以及于2011年3月8日发布的标题为“用于运输和处理基板的装置和方法”的美国专利号7,901,539，上述美国专利文献的公开的全部内容通过引用被并入本文。设备站11090通常包括大气前端11000、真空装载锁（loadlock）11010和真空后端11020。在其它方面中，设备站可以具有任何适合的配置。前端11000、装载锁11010和后端11020中的每一个的部件均可以连接至控制器11091，控制器11091可以是任何适合的控制体系架构（比如例如集群体系架构控制）的一部分。控制系统可以是具有主控制器、集群控制器和自主式远程控制器的闭合回路控制器，比如在2011年3月8日发布的标题为“可扩展运动控制系统”的美国专利号7,904,182（其公开的全部内容通过引用并入本文）中公开的那些。在其它方面中，可以利用任何适合的控制器和/或控制系统。在一个方面中，前端11000通常包括装载端口模块11005和迷你环境11060，比如例如，装备前端模块（EFEM）。装载端口模块11005可以用于设备标准（螺栓）接口的开箱器/箱装载器，所述设备标准（螺栓）接口符合用于300mm装载端口的SEMI标准E15.1、E47.1、E62、E19.5或E1.9、用于450mm装载端口、前开口或底开口箱/纵槽（pod）及盒子的SEMI标准。在其它方面中，装载端口模块可以被配置为200mm、300mm和/或450mm的基板或芯片接口或者任何其它适合的基板接口，比如例如，更大或更小的基板或者用于扁平面板显示器的扁平面板。尽管在图1A中示出了两个装载端口模块，但在其它方面中，可以将任何适合数量的装载端口模块并入到前端11000中。装载端口模块11005可以被配置为从架空运输系统、自动引导运载工具、人员引导运载工具、轨道引导运载工具或者从任何其它适合的运输方法接收基板载具或盒子11050。装载端口模块11005可以通过装载端口11040与迷你环境11060相连接。装载端口11040可以允许基板在基板盒子11050和迷你环境11060之间通过。迷你环境11060通常包括任何适合的大气传送机器人11013，大气传送机器人11013可以并入本文描述的本公开的实施例的一个或多个方面。在一个方面中，机器人11013可以是履带式机器人，比如例如在美国专利号6,002,840（其公开的全部内容通过引用被并入本文）中描述的机器人。迷你环境11060可以为在多个装载端口模块之间的基板传送提供受控的清洁区域。真空装载锁11010可以位于迷你环境11060和后端11020之间并且连接至迷你环境11060和后端11020。应注意，本文使用的术语真空可以表示高真空，比如10-5Torr或更低，基板在该高真空中被处理。装载锁11010通常包括大气和真空狭槽阀。狭槽阀可以提供环境隔离，环境隔离用于在从大气前端装载基板之后排空装载锁以及当利用比如氮气等惰性气体给锁排气时在运输室中维持真空。装载锁11010还可以包括校准器11011，以使基板的基准点对准到用于处理的期望位置。在其它方面中，真空装载锁可以位于处理装置的任何适合位置中并且具有任何适合的配置。真空后端11020通常包括运输室11025、一个或多个处理站（一个或复数个）11030以及任何适合的真空传送机器人11014，其可以包括本文描述的本公开的实施例的一个或多个方面。传送机器人11014可以位于运输室11025中以在装载锁11010和不同的处理站11030之间运输基板。处理站11030可以通过各种沉积、蚀刻或其它类型的处理在基板上操作以在基板上形成电路系统或者其它期望结构。典型的处理包括但不限于使用真空的薄膜处理，比如等离子蚀刻或其它蚀刻处理、化学气相沉积（CVD）、等离子气相沉积（PVD）、植入（比如离子植入）、计量、快速热处理（RTP）、干式剥离原子层沉积（ALD）、氧化/扩散、氮化物的形成、真空光刻、晶膜术（EPI）、引线接合器（wirebonder）和蒸发或者使用真空压力的其它薄膜处理。处理站11030被连接至运输室11025，以允许将基板从运输室11025传递至处理站11030且反之亦然。现在参本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，其包括：运输臂，所述运输臂具有串联连接的臂链路，所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度；至少第一滑轮和第二滑轮，其中，所述第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路；以及至少一个扭矩传递带，所述至少一个扭矩传递带在所述第一滑轮和所述第二滑轮之间纵向地延伸并且被联接至所述第一滑轮和所述第二滑轮中的每一个，所述至少一个扭矩传递带具有针对所述预定臂链路高度的对应带高度以及可变横向厚度，使得所述至少一个扭矩传递带包含针对所述对应带高度的具有横向增大的横截面的区段。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.08.26 US 61/8698701.一种基板处理装置，其包括：
运输臂，所述运输臂具有串联连接的臂链路，所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度；
至少第一滑轮和第二滑轮，其中，所述第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路；以及
至少一个扭矩传递带，所述至少一个扭矩传递带在所述第一滑轮和所述第二滑轮之间纵向地延伸并且被联接至所述第一滑轮和所述第二滑轮中的每一个，所述至少一个扭矩传递带具有针对所述预定臂链路高度的对应带高度以及可变横向厚度，使得所述至少一个扭矩传递带包含针对所述对应带高度的具有横向增大的横截面的区段。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其进一步包括：驱动地连接至所述第一滑轮的驱动部分，以实现所述串联连接的臂链路的延伸和缩回。
3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述第一滑轮是驱动滑轮并且所述第二滑轮是从动滑轮。
4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述具有横向增大的横截面的区段是非可挠性的带区段。
5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述运输臂包含：
第一臂链路，所述第一臂链路具有联接至驱动部分的近端；
第二臂链路，所述第二臂链路在所述第二臂链路的近端处被可旋转地联接至所述第一臂链路的远端；以及
基板支撑件，所述基板支撑件被连接至所述第二臂链路的远端。
6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述运输臂包括SCARA臂。
7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述至少一个扭矩传递带中的每一个均包含：第一和第二滑轮接口部分，所述第一和第二滑轮接口部分具有不同于所述横向增大的横截面的第一横向截面，并且所述具有横向增大的横截面的区段将所述第一滑轮接口部分连接至所述第二滑轮接口部分。
8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述至少一个扭矩传递带中的每一个均包含第一和第二滑轮接口部分，并且所述具有横向增大的横截面的区段被设置在所述第一滑轮接口部分和所述第二滑轮接口部分之间的所述至少一个扭矩传递带上。
9.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述具有横向增大的横截面的区段被粘附至所述至少一个扭矩传递带。
10.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述具有横向增大的横截面的区段具有与所述至少一个扭矩传递带一起的整块单件式结构。
11.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述具有横向增大的横截面的区段包括从所述至少一个扭矩传递带的一个或多个横向侧面横向地延伸的一个或多个凸缘。
12.一种基板处理装置，其包括：
运输臂，所述运输臂具有串联连接的臂链路，所述臂链路中的每一个均具有预定臂链路高度；
至少第一滑轮和第二滑轮，其中，所述第二滑轮被连接至所述串联连接的臂链路中的从动臂链路；以及
至少一个扭矩传递带，所述至少一个扭矩传递带在所述第一滑轮和所述第二滑轮之间纵向地延伸并且被联接至所述第一滑轮和所述第二滑轮中的每一个，所述至少一个扭矩传递带具有与所述预定臂链路高度相关的预定高度和横向带厚度，以及带区段，所述带区段被联接至所述至少一个扭矩传递带的至少一个横向侧面，所述带区段被配置为形成倍增器构件，以在所述至少一个扭矩传递带的预定长度上改变所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：U吉尔克里斯特，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化公司，
类型：发明
国别省市：美国;US