压电致动器结构制造技术

一种压电致动器结构，包括：悬浮板，为正方形的型态，具有介于8‑10㎜的边长，且可由中心部到外周部弯曲振动；外框，环绕设置于悬浮板之外侧；至少一支架，连接于悬浮板与外框之间，以提供弹性支撑；以及压电驱动体，为正方形的型态，具有小于悬浮板边长的边长，贴附于悬浮板的第一表面上，用以施加电压以驱动悬浮板弯曲振动。

【技术实现步骤摘要】

本技术是关于一种压电致动器结构，尤指一种适用于微型超薄且静音的微型流体控制装置的压电致动器结构。
技术介绍
目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。举例来说，于医药产业中，许多需要采用气压动力驱动的仪器或设备，例如：血压计、或是可携式、穿戴式仪器或设备，此类仪器设备通常采以传统马达及气压阀来达成其流体输送的目的。然而，受限于此等传统马达以及流体阀的体积限制，使得此类的仪器设备难以缩小其整体装置的体积，即难以实现薄型化的目标，更无法使的达成可携式的目的。此外，这些传统马达及流体阀于作动时亦会产生噪音的问题，导致使用上的不便利及不舒适。因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失，可使传统采用气压动力驱动的仪器或设备达到体积小、微型化且静音，进而达成轻便舒适的可携式目的的微型流体控制装置及其所采用的压电致动器结构，实为目前迫切需要解决的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种适用于可携式或穿戴式仪器或设备中的微型流体控制装置及其所采用的压电致动器结构，借由压电致动器高频作动产生的流体波动，于设计后的流道中产生压力梯度，而使流体高速流动，且透过流道进出方向的阻抗差异，将流体由吸入端传输至排出端，俾解决已知技术的采用气压动力驱动的仪器或设备所具备的体积大、难以薄型化、无法达成可携式的目的，以及噪音大等缺失。为达上述目的，本技术的一较广义实施态样为提供一种压电致动器结构，包括：悬浮板，为正方形的型态，具有介于8-10㎜的边长，且可由中心部到外周部弯曲振动；外框，环绕设置于悬浮板之外侧；至少一支架，连接于悬浮板与外框之间，以提供弹性支撑；以及压电驱动体，为正方形的型态，具有小于悬浮板边长的边长，贴附于悬浮板的第一表面上，用以施加电压以驱动悬浮板弯曲振动。【附图说明】图1为本技术较佳实施例的微型流体控制装置的正面组合结构示意图。图2A为图1所示的微型流体控制装置的正面分解结构示意图。图2B为图1所示的微型流体控制装置的背面分解结构示意图。图3为图1所示的微型流体控制装置的剖面结构示意图。图4A为本技术另一较佳实施例的微型流体控制装置的压电致动器的正面组合结构示意图。图4B为图4A所示的压电致动器的背面组合结构示意图。图4C为图4B所示的压电致动器的剖面结构示意图。图5A为图2A所示的压电致动器的多种实施态样示意图。图5B为图4A所示的压电致动器的其他多种实施态样示意图。图6A至图6C为图2A所示的微型流体控制装置的作动示意图。图7A至图7D为图2A所示的微型流体控制装置的局部作动示意图。图8A为本技术另一较佳实施例的微型流体控制装置与微型阀门装置的正面组合结构示意图。图8B为图8A所示的微型流体控制装置与微型阀门装置的正面分解结构示意图。图8C为图8A所示的微型阀门装置的背面结构示意图。图9A为图8A所示的微型流体控制装置与微型阀门装置的集压作动示意图。图9B为图9A所示的微型流体控制装置与微型阀门装置的降压或是卸压作动示意图。【具体实施方式】体现本技术特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本技术能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本技术的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非架构于限制本技术。本技术的微型流体控制装置1是可应用于医药生技、能源、电脑科技或是打印等工业，俾用以传送流体，但不以此为限。请参阅图1及图2A，图1为本技术较佳实施例的微型流体控制装置的正面组合结构示意图，图2A为图1所示的微型流体控制装置的正面分解结构示意图，图2B则为图1所示的微型流体控制装置的背面分解结构示意图，图3为图1所示的微型流体控制装置的剖面结构示意图。如图1、图2A、图2B及图3所示，本技术的微型流体控制装置1主要包括壳体10及压电致动器13等结构，其中，壳体10包含承载壳体11及底座12，承载壳体11是为周缘具有侧壁118的框体结构，且由该周缘所构成的侧壁118与其底部的板件共同定义出一容置空间11a(如图2B所示)，底座12则由盖板120及可挠片121所构成，但不以此为限。且如图2A所示，压电致动器13是包括压电驱动体131、悬浮板132、外框133以及至少一支架134，其中压电驱动体131是可为但不限为一压电陶瓷板，其是为方形板状结构，且其边长小于悬浮板132的边长，并可贴附于悬浮板132之上。于本实施例中，悬浮板132是为可挠的正方形板状结构；于悬浮板132之外侧环绕设置外框133，外框133的型态亦大致对应于悬浮板132的型态，是以于本实施例中，外框133是为正方形的镂空框型结构；且于悬浮板132与外框133之间是以支架134连接并提供弹性支撑。以及，如图2A及图2B所示，本技术的微型流体控制装置1更可包括绝缘垫片14及导电垫片15等结构，绝缘垫片14是可为两绝缘垫片141、142，且该两绝缘垫片141、142是上下夹设导电垫片15而设置。当本技术的微型流体控制装置1组装时，即如图2A、图2B及图3所示，依序使承载壳体11、绝缘垫片142、导电垫片15、绝缘垫片141、压电致动器13、可挠片121及盖板120等对应组装，并将前述绝缘垫片142、导电垫片15、绝缘垫片141、压电致动器13及底座12等结构组装容设于承载壳体11内的容置空间11a内，使其组合后是如图1所示，可构成体积小、及微型化外形的微型流体控制装置1。请参阅图1、图2B及图3，如前所述，微型流体控制装置1的承载壳体11是为周缘具有侧壁118的框体结构，且由该周缘所构成的侧壁118与其底部的板件共同定义出一容置空间11a，当前述压电致动器13容设于容置空间11a时，则其会如图3所示，即承载壳体11的侧壁118会环绕设置于压电致动器13之外侧，且压电致动器13的底部会由底座12予以封闭设置。于本实施例中，承载壳体11的底部的板件是具有外表面110及内表面111，其中内表面111更凹陷以形成腔室112，且于承载壳体11更具有多个贯穿于内表面111及外表面110的第一连通孔113、114。如图1及图3所示，承载壳体11之外表面110上更可凹陷设置第一卸压腔室115及第一出口腔室116，且第一连通孔113、114的一端是与腔室112相连通，另一端则分别与第一卸压腔室115及第一出口腔室116相连通。以及，于本实施例中，在第一出口腔室116处更可进一步增设一凸部结构117，例如可为但不限为一圆柱结构。于本实施例中，微型流体控制装置1的底座12是由盖板120及可挠片121所构成，但不以此为限。其中，如图2A及图2B所示，盖板120具有第一表面120a及与第一表面120a相对设置的第二表面120b，且于盖板120上设置有至少一贯穿第一表面120a及第二表面120b的第二连通孔120c。如图2B可见，于第一表面120a上可见该至少一第二连通孔120c，以本实施例为例，第二连通孔120c的数量是为4个，但不以此为限，其主要用以供流体自装置外经由该至少一第二连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电致动器结构，其特征在于，包含：一悬浮板，为正方形的结构，具有介于8mm至10mm边长，且可由一中心部到一外周部弯曲振动；一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，以提供弹性支撑；以及一压电驱动体，为正方形的型态，具有小于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的一第一表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。

【技术特征摘要】
1.一种压电致动器结构，其特征在于，包含：一悬浮板，为正方形的结构，具有介于8mm至10mm边长，且可由一中心部到一外周部弯曲振动；一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，以提供弹性支撑；以及一压电驱动体，为正方形的型态，具有小于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的一第一表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。2.如权利要求1所述压电致动器结构，其特征在于，该悬浮板为正方形的结构，具有8mm的边长。3.如权利要求1所述压电致动器结构，其特征在于，该悬浮板为正方形的结构，具有9mm的边长。4.如权利要求1所述压电致动器结构，其特征在于，该悬浮板为正方形的结构，具有10mm的边长。5.如权利要求1所述压电致动器结构，其特征在于，该悬浮板的一第二表面上具有一凸部。6.如权利要求5所述压电致动器结构，其特征在于，该悬浮板的该凸部高度介于0.02mm-0.08mm之间。7.如权利要求5所述压电致动器结构，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈世昌，黄启峰，韩永隆，廖家淯，陈寿宏，黄哲威，廖鸿信，陈朝治，程政玮，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71