掩膜板和掩膜板的组装方法技术

技术编号:14823408 阅读:68 留言:0更新日期:2017-03-16 11:59
本发明专利技术实施例公开了一种掩膜板和一种掩膜板的组装方法。所述掩膜板包括:框架;支撑条,位于所述框架上;至少一个掩膜片,被固定到所述框架上并由所述支撑条支撑;其中,所述至少一个掩膜片经由至少一个焊接部被固定到所述支撑条上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施例涉及一种掩膜板和掩膜板的组装方法
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode,OLED)显示器是一种自发光的显示装置。在OLED显示器的制造过程中,将掩膜片(例如,包括精细金属掩膜片(FineMetalMaskSheet,FMMSheet))作为蒸镀掩膜,在基板上形成蒸镀图案。然而,在传统的制造工艺中,基板上各个位置处的像素位置精度(PixelPositionAccuracy,PPA)不可校正。
技术实现思路
本专利技术的至少一个实施例提供了一种掩膜板和一种掩膜板的组装方法,以校正基板上相应位置处的像素位置精度。根据本专利技术的一个方面,提出了一种掩膜板,包括:框架;支撑条,位于所述框架上;至少一个掩膜片,被固定到所述框架上并由所述支撑条支撑;其中,所述至少一个掩膜片经由至少一个焊接部被固定到所述支撑条上。例如,所述至少一个焊接部包括多个焊接部,沿着支撑条的延伸方向,在掩膜片的相对两侧具有相同数目的焊接部。例如,沿着支撑条的延伸方向,所述至少一个焊接部位于掩膜片的同一侧。例如,所述至少一个焊接部包括多个焊接部,沿着支撑条的延伸方向,在掩膜片的相对两侧具有不同数目的焊接部。例如,所述掩膜片具有通过蚀刻形成的凹陷区,所述凹陷区与焊接部的位置相对应。根据本专利技术实施例的另一方面,提供了一种掩膜板的组装方法,所述掩膜板包括:框架、支撑条和至少一个掩膜片,所述组装方法包括:将支撑条的两端固定在框架上;将掩膜片固定在框架上;以及经由至少一个焊接部将至少一个掩膜片固定到支撑条上。例如,所述组装方法还包括:通过蚀刻在所述掩膜片上形成至少一个用于焊接的凹陷区。例如,所述组装方法还包括:测量多个预定点的相应像素位置精度PPA;以及根据相应PPA来确定焊接部的数目、焊接部的位置和相应焊接部的焊接能量中的至少一个。根据本专利技术实施例,经由至少一个焊接部将至少一个掩膜片固定到支撑条上。通过设置焊接部的数目、焊接部的位置和相应的焊接能量中的至少一个,能够根据实际需要对各种变化趋势的PPA进行校正,从而提高掩膜板的良品率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图,图中:图1示出了一种掩膜板的平面示意图;图2A~2C分别示出了PPA的三种变化趋势的示例示意图;图3示出了根据本专利技术实施例的一种掩膜板的平面示意图;图4示出了根据本专利技术实施例的第一示例焊接部排列的平面示意图;图5示出了根据本专利技术实施例的第二示例焊接部排列的平面示意图;图6示出了根据本专利技术实施例的第三示例焊接部排列的平面示意图;图7示出了根据本专利技术实施例的待检测像素点的平面示意图;图8示出了根据本专利技术实施例的图4所示的焊接部排列方式下的PPA比较示意图;图9A和9B分别示出了根据本专利技术实施例的图5所示的焊接部排列方式下的PPA比较示意图;图10A和10B示出了根据本专利技术实施例的图4所示的焊接部排列方式下的PPA比较示意图;图11A~11C示出了根据本专利技术实施例的焊接部位置的平面示意图;图12示出了根据本专利技术实施例的凹陷区位置的平面示意图;以及图13示出了根据本专利技术实施例的掩膜板组装方法的示意流程图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然,所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例,而不是全部。基于所描述的本专利技术的实施例,本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下获得的所有其他实施例都属于本专利技术保护的范围。应注意,贯穿附图,相同的元素由相同或相近的附图标记来表示。在以下描述中,一些具体实施例仅用于描述目的,而不应该理解为对本专利技术有任何限制,而只是本专利技术实施例的示例。在可能导致对本专利技术的理解造成混淆时,将省略常规结构或构造。应注意,图中各部件的形状和尺寸不反映真实大小和比例,而仅示意本专利技术实施例的内容。除非另外定义,本专利技术实施例使用的技术术语或科学术语应当是本领域技术人员所理解的通常意义。本专利技术实施例中使用的“第一”、“第二”以及类似词语并不表示任何顺序、数量或重要性,而只是用于区分不同的组成部分。此外,在本专利技术实施例的附图中,只涉及到与本专利技术实施例涉及的结构,其他结构可参考通常设计。此外,可以理解,当下文中诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时,该元件可以“直接”位于另一元件“之上”或“之下”,也可以存在中间元件。此外,“上”或“下”仅仅表示相对位置关系,当翻转元件或整个设备时,其“上”或“下”关系也将相应改变。如图1所示,掩膜板100可以包括框架101、位于框架101上的支撑条(HowlingSheet)103和位于框架101上的至少一个掩膜片105。掩膜片105可以包括多个掩膜单元1051,掩膜单元1051是具有沉积或蒸镀图案的部分。对于基板上的像素阵列中的多个像素点,需要对像素位置精度PPA进行校正,使得各个像素点的PPA偏移量尽可能小。在实际应用中,PPA存在一定的变化趋势。图2A~2C分别示出了PPA的三种示例变化趋势的示意图。在图2A~2C中,圆形黑点表示像素阵列中要检测的多个像素点,每一条虚线表示每行像素的PPA变化趋势曲线。例如,可以通过以下方式来得到相应的PPA变化趋势曲线:对于每一行像素,计算每个像素点的PPA,以相应像素点的水平方向位置作为横坐标以及将相应PPA作为纵坐标得到各个偏移点的坐标,将所有偏移点相连以得到相应的PPA变化趋势曲线。在实际的掩膜板制造工艺中,由于各种原因会得到各种PPA变化趋势曲线,图2A示出了一种示例单弧状变化趋势,图2B示出了一种示例“N”形变化趋势,图2C示出了一种示例多弧状变化趋势,例如“W”形或者“M”形。在传统的掩膜板制造中,没有有效的方法针对各种PPA变化趋势进行PPA校正。本专利技术实施例提供了一种掩膜板和一种掩膜板的组装方法,下面结合附图进行详细描述。图3示出了根据本专利技术实施例的一种掩膜板的平面示意图。如图3所示,掩膜板300可以包括:框架301;支撑条303,位于框架301上;至少一个掩膜片305,被固定到所述框架301上并由所述支撑条303支撑;其中,所述至少一个掩膜片305经由至少一个焊接部304被固定到所述支撑条303上。掩膜片305可以包括多个掩膜单元3051。本申请的专利技术人发现,在OLED显示器的制造过程中,当利用蒸镀掩膜在基板上形成蒸镀图案时,掩膜片会出现微小变形,这是导致针对每个像素的PPA发生变化的原因之一。在如图1所示的传统掩膜板结构中,在框架101上放置支撑条103,将支撑条103和掩膜片105通过焊接分别固定在框架103上,而支撑条103和掩膜片105之间并无焊接部。如图3所示,本专利技术实施例通过将至少一个掩膜片305经由至少一个焊接部304固定到支撑条303上,可以校正不期望的PPA。在图3的示例中,对于每一个掩膜片305,设置多个焊接部304,沿着支撑条303的延伸方向,在掩膜片305的相对两侧具有相同数目的本文档来自技高网...
掩膜板和掩膜板的组装方法

【技术保护点】
一种掩膜板,包括:框架;支撑条,位于所述框架上;至少一个掩膜片,被固定到所述框架上并由所述支撑条支撑;其中,所述至少一个掩膜片经由至少一个焊接部被固定到所述支撑条上。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板,包括:框架;支撑条,位于所述框架上;至少一个掩膜片,被固定到所述框架上并由所述支撑条支撑;其中,所述至少一个掩膜片经由至少一个焊接部被固定到所述支撑条上。2.根据权利要求1所述的掩膜板,其中,所述至少一个焊接部包括多个焊接部,沿着所述支撑条的延伸方向,在掩膜片的相对两侧具有相同数目的焊接部。3.根据权利要求1所述的掩膜板,其中,沿着所述支撑条的延伸方向,所述至少一个焊接部位于掩膜片的同一侧。4.根据权利要求1所述的掩膜板,其中,所述至少一个焊接部包括多个焊接部,沿着所述支撑条的延伸方向,在掩膜片的相对两侧具有不同数目的焊接部。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:林治明王震
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
类型:发明
国别省市:北京;11

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