一种硅片翻转冲洗装置制造方法及图纸

技术编号:14797925 阅读:169 留言:0更新日期:2017-03-13 10:18
本实用新型专利技术涉及机械领域,尤其涉及一种硅片翻转冲洗装置。包含机架,所述机架上包含竖直的板状结构,该板状结构上可转安装有定位卡盘,所述定位卡盘中部一边包含把手,定位卡盘一边穿过板状结构为燕尾固定座,燕尾固定座中部包含一个夹持槽,还包含能套装在燕尾固定座的夹持槽中的燕尾座,所述燕尾座为上方的凸起,凸起和下方固定底盘之间能夹持在燕尾固定座中,固定底盘能放置硅片。有益效果:通过燕尾机构和转轴共同驱动硅棒旋转,使切割后的硅棒旋转90度,粘胶面将处于一侧,通过喷淋水自上而下进行冲洗,硅片间的砂浆尤其是粘胶面位置之前很难清洗的砂浆,将被彻底冲洗干净,降低硅片之间的砂浆残存,解决硅片清洗的脏污问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及机械领域,尤其涉及一种硅片翻转冲洗装置
技术介绍
硅棒切片后,硅片需要冲洗脱胶,挂立冲洗时硅片在下部,硅片粘胶面在上部,两侧的喷淋水很难进入胶层和硅片连接处,造成此位置砂浆残存,砂浆配比正常、辅材质量达标,最终通过清洗工序会洗掉脏污,如果季节变化、辅材质量变化,会造成粘胶面位置脏污无法清洗,其主要原因是冲洗水无法进入粘胶面位置,残留砂浆无法清洗。
技术实现思路
技术的目的:为了提供一种效果更好的硅片翻转冲洗装置,具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。为了达到如上目的,本技术采取如下技术方案:一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,包含机架,所述机架上包含竖直的板状结构,该板状结构上可转安装有定位卡盘,所述定位卡盘中部一边包含把手,定位卡盘一边穿过板状结构为燕尾固定座,燕尾固定座中部包含一个夹持槽,还包含能套装在燕尾固定座的夹持槽中的燕尾座,所述燕尾座为上方的凸起,凸起和下方固定底盘之间能夹持在燕尾固定座中,固定底盘能放置硅片。本技术进一步技术方案在于,所述固定底盘上包含多个夹子,夹子能夹持硅片。本技术进一步技术方案在于,所述定位卡盘上包含多个孔,所述板状结构上也包含孔,还包含能穿过定位卡盘上的孔和板状结构上的孔的螺栓,该螺栓能将定位卡盘相对固定。本技术进一步技术方案在于,所述机架上包含盛水槽,盛水槽位于燕尾固定座的下方。本技术进一步技术方案在于,所述机架下方包含轮子。本技术进一步技术方案在于,所述多个孔围绕卡盘圆周分布。本技术进一步技术方案在于,所述板状结构能够升降,其能够带动定位卡盘以及把手和燕尾固定座升降。采用如上技术方案的本技术,相对于现有技术有如下有益效果:通过燕尾机构和转轴共同驱动硅棒旋转,使切割后的硅棒旋转90度,粘胶面将处于一侧,通过喷淋水自上而下进行冲洗,硅片间的砂浆尤其是粘胶面位置之前很难清洗的砂浆,将被彻底冲洗干净,降低硅片之间的砂浆残存,解决硅片清洗的脏污问题。附图说明为了进一步说明本技术,下面结合附图进一步进行说明:图1为技术第一位态结构示意图;图2为技术第二位态结构示意图;其中:1.机架;2.燕尾固定座;3.燕尾座;4.固定底盘;5.把手;6.定位卡盘;7.固定孔。具体实施方式下面结合附图对本技术的实施例进行说明,实施例不构成对本技术的限制:一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,包含机架,所述机架上包含竖直的板状结构,该板状结构上可转安装有定位卡盘,所述定位卡盘中部一边包含把手,定位卡盘一边穿过板状结构为燕尾固定座,燕尾固定座中部包含一个夹持槽,还包含能套装在燕尾固定座的夹持槽中的燕尾座,所述燕尾座为上方的凸起,凸起和下方固定底盘之间能夹持在燕尾固定座中,固定底盘能放置硅片。本处的技术方案所起到的实质的技术效果及其实现过程为如下:通过燕尾机构和转轴共同驱动硅棒旋转,使切割后的硅棒旋转90度,粘胶面将处于一侧,通过喷淋水自上而下进行冲洗,硅片间的砂浆尤其是粘胶面位置之前很难清洗的砂浆,将被彻底冲洗干净,降低硅片之间的砂浆残存,解决硅片清洗的脏污问题。承载台旋转速度等信息还需送入显示屏,这样共同构成硅片边缘硅落磨削装置,燕尾单元位于整个机构的前端,并与转轴单元连接,转轴单元与升降单元连接,通过转轴单元旋转,驱动燕尾单元旋转,带动硅棒转动。工作步骤如下:⑴料被固定在燕尾坐上;⑵通过转轴的旋转,带动棒料顺时针旋转90度位置,通过转轴卡盘上的销孔锁定旋转位置;本处的销孔即固定孔;⑶通过升降机构使硅棒处于合适的冲洗高度;⑷打开冲洗喷头,手持移动冲洗硅片间的砂浆;⑸去掉卡盘上的定位销,通过转轴的旋转,带动硅棒顺时针再旋转90度,使硅片朝上,等待进行脱胶。所述固定底盘上包含多个夹子,夹子能夹持硅片。本处的技术方案所起到的实质的技术效果及其实现过程为如下:本处提供了一种具体的固定结构,类似的实现方式均在本专利的保护范围内。所述定位卡盘上包含多个孔,所述板状结构上也包含孔,还包含能穿过定位卡盘上的孔和板状结构上的孔的螺栓,该螺栓能将定位卡盘相对固定。其即定位销。通过定位销进行位置锁定。所述机架上包含盛水槽,盛水槽位于燕尾固定座的下方。冲洗的空间为盛水槽。所述机架下方包含轮子。轮子方便其移动。所述多个孔围绕卡盘圆周分布。调整更方便。所述板状结构能够升降,其能够带动定位卡盘以及把手和燕尾固定座升降。升降的方式和结构很多,可以是一个钢丝能拉动板状结构升降。升降机构降低硅棒至合适的位置,通过旋转转轴,带动硅棒旋转至所需位置,实用定位销进行位置锁定,通过冲洗切割的硅片缝隙,使残留砂浆全部冲洗干净,完成对切割后硅棒参与砂浆的冲洗。开创性地,以上各个效果独立存在,还能用一套结构完成上述结果的结合。以上结构实现的技术效果实现清晰,如果不考虑附加的技术方案,本专利名称还可以是一种清洗旋转结构。图中未示出部分细节。需要说明的是,本专利提供的多个方案包含本身的基本方案,相互独立,并不相互制约,但是其也可以在不冲突的情况下相互组合,达到多个效果共同实现。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本领域的技术人员应该了解本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理,在不脱离本技术精神和范围的前提下,本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的范围内。本文档来自技高网...
一种硅片翻转冲洗装置

【技术保护点】
一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,包含机架,所述机架上包含竖直的板状结构,该板状结构上可转安装有定位卡盘,所述定位卡盘中部一边包含把手,定位卡盘一边穿过板状结构为燕尾固定座,燕尾固定座中部包含一个夹持槽,还包含能套装在燕尾固定座的夹持槽中的燕尾座,所述燕尾座为上方的凸起,凸起和下方固定底盘之间能夹持在燕尾固定座中,固定底盘能放置硅片。

【技术特征摘要】
1.一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,包含机架,所述机架上包含竖直的板状结构,该板状结构上可转安装有定位卡盘,所述定位卡盘中部一边包含把手,定位卡盘一边穿过板状结构为燕尾固定座,燕尾固定座中部包含一个夹持槽,还包含能套装在燕尾固定座的夹持槽中的燕尾座,所述燕尾座为上方的凸起,凸起和下方固定底盘之间能夹持在燕尾固定座中,固定底盘能放置硅片。2.如权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,所述固定底盘上包含多个夹子,夹子能夹持硅片。3.如权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,所述定位卡...

【专利技术属性】
技术研发人员:王学军
申请(专利权)人:平凉中电科新能源技术有限公司
类型:新型
国别省市:甘肃;62

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