扩散舟制造技术

扩散舟。涉及扩散舟，尤其涉及半导体晶圆扩散舟。提供了一种结构简单，提高圆晶片压紧可靠性，提高产品加工质量的扩散舟。所述舟体的中间设有容置槽、两端分别设有推拉槽；还包括压紧组件，所述压紧组件包括压块、推杆和定位杆，所述推杆可拆卸连接在压块上，所述压块垂直设在容置槽内，所述推拉槽的端部设有水平通孔和垂直通孔，所述垂直通孔连接水平通孔，所述推杆位于水平通孔内，所述推杆上均布设有若干定位槽，所述定位杆适配地穿过垂直通孔且位于定位槽内。所述压块上设有螺纹孔，所述推杆通过螺纹连接在压块上。本实用新型专利技术方便加工，操作简便。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及扩散舟，尤其涉及半导体晶圆扩散舟。
技术介绍
目前半导体产品都需经过高温扩散的工序，按照需要改变产品的电阻率，而在高温扩散过程中必须有高度纯净、耐高温、软化点高等特性。工作中，在舟体上放置若干圆晶片进行扩散；然而，由于舟体的体积较大，放置的圆晶片若达不到规定的数量，容易造成倾倒，降低了扩散的可靠性，影响了圆晶片的质量。现有技术中，存在通过弹簧进行压紧圆晶片，然而，弹簧放置在扩散炉中，容易影响圆晶片扩散，造成污染，降低了产品的质量。
技术实现思路
本技术针对以上问题，提供了一种结构简单，提高圆晶片压紧可靠性，提高产品加工质量的扩散舟。本技术的技术方案是：包括舟体，所述舟体的中间设有容置槽、两端分别设有推拉槽；还包括压紧组件，所述压紧组件包括压块、推杆和定位杆，所述推杆可拆卸连接在压块上，所述压块垂直设在容置槽内，所述推拉槽的端部设有水平通孔和垂直通孔，所述垂直通孔连接水平通孔，所述推杆位于水平通孔内，所述推杆上均布设有若干定位槽，所述定位杆适配地穿过垂直通孔且位于定位槽内。所述压块上设有插槽，所述推杆位于插槽内。所述压块上设有螺纹孔，所述推杆通过螺纹连接在压块上。所述容置槽的底部设有若干通孔。本技术在工作中，通过设置压紧组件，使得放置在容置槽内的圆晶片可靠压紧；将压块放置在容置槽内，推杆穿过水平通孔连接在压块上，再通过定位杆穿过垂直通孔放置在推杆的定位槽内，使得推杆固定，保证了压紧的可靠性。在容置槽的底部设置通孔，使得在高温扩散炉内，气流通畅，提高加工的可靠性。本技术方便加工，操作简便。附图说明图1是本技术的结构示意图，图2是图1中A向的结构示意图，图3是本技术中推拉槽的结构示意图；图中1是舟体，2是容置槽，3是推拉槽，31是水平通孔，32是垂直通孔，4是压块，5是推杆，6是定位杆，7是通孔。具体实施方式本技术如图1-3所示，包括舟体1，所述舟体的中间设有容置槽2、两端分别设有推拉槽3；还包括压紧组件，所述压紧组件包括压块4、推杆5和定位杆6，所述推杆可拆卸连接在压块上，所述压块4垂直设在容置槽内，所述推拉槽3的端部设有水平通孔31和垂直通孔32，所述垂直通孔连接水平通孔，所述推杆5位于水平通孔内，所述推杆5上均布设有若干定位槽（图中未示出），所述定位杆6适配地穿过垂直通孔且位于定位槽内，便于推杆的固定。工作中，推拉槽的深度高于容置槽的深度，使得晶圆可靠放置在容置槽内。所述压块4上设有插槽（图中未示出），所述推杆5位于插槽内，便于插接连接，方便可靠。所述压块4上设有螺纹孔（图中未示出），所述推杆5通过螺纹连接在压块上，方便拆卸、安装。所述容置槽的底部设有若干通孔7，便于气流贯通，提高扩散的可靠性。本文档来自技高网...

【技术保护点】
扩散舟，包括舟体，所述舟体的中间设有容置槽、两端分别设有推拉槽；其特征在于，还包括压紧组件，所述压紧组件包括压块、推杆和定位杆，所述推杆可拆卸连接在压块上，所述压块垂直设在容置槽内，所述推拉槽的端部设有水平通孔和垂直通孔，所述垂直通孔连接水平通孔，所述推杆位于水平通孔内，所述推杆上均布设有若干定位槽，所述定位杆适配地穿过垂直通孔且位于定位槽内。

【技术特征摘要】
1.扩散舟，包括舟体，所述舟体的中间设有容置槽、两端分别设有推拉槽；其特征在于，还包括压紧组件，所述压紧组件包括压块、推杆和定位杆，所述推杆可拆卸连接在压块上，所述压块垂直设在容置槽内，所述推拉槽的端部设有水平通孔和垂直通孔，所述垂直通孔连接水平通孔，所述推杆位于水平通孔内，所述推杆上均布设有若干定位槽，...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛宜威，顾延桃，王毅，
申请(专利权)人：扬州杰盈汽车芯片有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32