物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体制造方法及图纸

本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及物理量检测装置、该物理量检测装置的制造方法、具备该物理量检测装置的电子设备以及移动体。
技术介绍
一直以来，作为物理量检测装置，已知一种如下的结构的振动陀螺用振子，即，一体地形成实施驱动振动以及检测振动的可动部和连接该可动部的基部，在可动部以及基部的表背两面上配置驱动电极以及检测电极，并具有对驱动振动进行激励的驱动单元和对检测振动进行检测的检测单元，可动部以及基部由透射激光的材料构成，在可动部以及基部的表背两面上配置调节用电极，表面的调节用电极与背面的调节用电极以未对置的方式配置，利用激光将调节用电极的全部或一部分去除(例如，参照专利文献1)。上述振动陀螺用振子被设为，通过利用激光对调节用电极的全部或一部分进行去除，从而能够实施随着配线间的静电电容而产生的驱动信号向检测电极的串扰的平衡调节。上述振动陀螺用振子在实施方式中，由于从各检测电极延伸的多个检测信号用配线中的静电电容之差如果在制造时不进行测量则不可知，因此，调节用电极根据检测信号用配线的数量而被设置为多个梳齿状。由此，上述振动陀螺用振子中，对于梳齿状的调节用电极的配置，在可动部以及基部的表背两面上需要相当程度的空间，因此，存在难以实现进一步的小型化的可能。另外，上述振动陀螺用振子中，由于调节用电极的梳齿中的根据多个检测信号用配线中的静电电容之差而照射激光的梳齿各不相同，因此，需要每次都变更激光照射位置。由于该激光照射位置的每次变更，上述振动陀螺用振子存在生产率下降的可能。专利文献1：日本特开2009-222666号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的专利技术，能够作为以下的方式或应用例来实现。应用例1本应用例所涉及的物理量检测装置的特征在于，具备：驱动信号图案，其包括被施加驱动信号的驱动电极以及与所述驱动电极连接的驱动信号配线；第一检测信号图案，其包括输出第一检测信号的第一检测电极以及与所述第一检测电极连接的第一检测信号配线，并与所述驱动信号图案电容耦合；第二检测信号图案，其包括输出与所述第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极以及与所述第二检测电极连接的第二检测信号配线，并与所述驱动信号图案电容耦合，所述第一检测信号图案、所述第二检测信号图案、以及所述驱动信号图案中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案。由此，在物理量检测装置中，与驱动信号图案电容耦合的第一检测信号图案、与驱动信号图案电容耦合的第二检测信号图案以及驱动信号图案中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案。由此，物理量检测装置由于在所确定的一个信号图案中包括调节用图案，因此，无需如现有技术(例如，专利文献1)那样根据检测信号用配线的数量而将调节用电极设置为多个梳齿状。例如，通过预先对制造偏差进行估计而对第一检测信号图案和第二检测信号图案赋予充分的静电电容之差，从而能够使第一检测信号图案或第二检测信号图案中的任意一方包括调节用图案。其结果为，物理量检测装置能够通过对信号图案的面积进行调节的调节用图案而减小第一检测信号图案与第二检测信号图案的静电电容之差，从而提高检测精度，并且实现进一步的小型化或生产率的提高。应用例2在上述应用例所涉及的物理量检测装置中，优选为，所述调节用图案包括：第一图案部分，其在与所述调节用图案的延伸方向交叉的方向上具有第一宽度；第二图案部分，其在所述方向上具有窄于所述第一宽度的第二宽度。由此，通过在调节用图案的至少一部分中设置有宽度尺寸较窄的宽度狭窄部(第二图案部分)，从而能够对设置有调节用图案的检测信号图案的任意的静电电容进行调节。由此，能够减小第一检测信号图案与第二检测信号图案的静电电容之差，从而提高检测精度。应用例3在上述应用例所涉及的物理量检测装置中，优选为，具备振动元件，所述振动元件具有基部和与所述基部连接的振动部，所述驱动电极、所述第一检测电极以及所述第二检测电极被配置于所述振动部上，所述驱动信号配线、所述第一检测信号配线以及所述第二检测信号配线被配置于所述基部上，所述调节用图案被配置于所述基部上。由此，物理量检测装置具备具有基部和与基部连接的振动部的振动元件，由于调节用图案被配置于基部上，因此，例如，与调节用图案位于振动部上的情况相比，能够降低由于调节用图案的面积的调节而产生的对振动部的影响。应用例4在上述应用例所涉及的物理量检测装置中，优选为，具备振动元件，所述振动元件具有基部、与所述基部连接的振动部以及与所述基部连接的固定部，所述驱动信号配线、所述第一检测信号配线以及所述第二检测信号配线被配置于所述基部以及所述固定部双方上，所述调节用图案被配置于所述固定部上。由此，物理量检测装置中，振动元件具备与基部连接的固定部，由于调节用图案被配置于固定部上，因此，能够进一步降低调节用图案对振动部的影响。另外，与调节用图案被配置于基部上的情况相比，物理量检测装置能够使基部小型化。应用例5在上述应用例所涉及的物理量检测装置中，优选为，具备振动元件、中继基板和电子元件，所述电子元件通过所述中继基板而与所述振动元件电连接，所述驱动信号图案、所述第一检测信号图案以及所述第二检测信号图案以跨及所述振动元件和所述中继基板的方式被配置，所述调节用图案被配置于所述中继基板上。由此，物理量检测装置具备振动元件和通过中继基板而与振动元件电连接的电子元件，由于调节用图案被配置于中继基板上，因此，与将调节用图案配置在振动元件或电子元件上的情况相比，能够使各元件小型化。应用例6在上述应用例所涉及的物理量检测装置中，优选为，具备：振动元件；容器，其对所述振动元件进行收纳，所述振动元件与所述容器通过连接部而相互电连接，所述驱动信号图案、所述第一检测信号图案以及所述第二检测信号图案经由所述连接部而以跨及所述振动元件与所述容器的方式被配置，所述调节用图案被配置于所述容器上。由此，物理量检测装置具备振动元件和容器，振动元件和容器通过连接部而相互电连接，由于调节用图案被配置于容器上，因此，与将调节用图案配置在振动元件上的情况相比，能够使振动元件小型化。应用例7在上述应用例所涉及的物理量检测装置中，优选为，所述调节用图案与所述驱动信号图案、所述第一检测信号图案以及所述第二检测信号图案中的成为所述电容耦合的对象的信号图案相互对置配置，在所述调节用图案与所述信号图案之间配置有恒定电位图案。由此，物理量检测装置由于在调节用图案与成为电容耦合的对象的信号图案之间配置有恒定电位图案，因此，与未配置有恒定电位图案的情况相比，能够减小随着电容耦合而产生的调节用图案与信号图案之间的静电电容。应用例8在上述应用例所涉及的物理量检测装置中，优选为，所述调节用图案与所述驱动信号图案、所述第一检测信号图案以及所述第二检测信号图案中的成为所述电容耦合的对象的信号图案相互对置配置，在所述调节用图案与所述信号图案之间，存在未被静电屏蔽的区域。由此，物理量检测装置由于在调节用图案与成为电容耦合的对象的信号图案之间存在未被静电屏蔽的区域，因此，通过对调节用图案的面积进行调节，即使是相同的调节量，与配置有上述恒定电位图案的情况相比，也能够增大静电电容的变化。应用例9在上述应用例所涉及的物理量检测装置中，优选为，所述调节用图案与所述驱动信号图案、所述第一检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理量检测装置，其特征在于，具备：驱动信号图案，其包括被施加驱动信号的驱动电极以及与所述驱动电极连接的驱动信号配线；第一检测信号图案，其包括输出第一检测信号的第一检测电极以及与所述第一检测电极连接的第一检测信号配线，并与所述驱动信号图案电容耦合；第二检测信号图案，其包括输出与所述第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极以及与所述第二检测电极连接的第二检测信号配线，并与所述驱动信号图案电容耦合，所述第一检测信号图案、所述第二检测信号图案以及所述驱动信号图案中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案。

【技术特征摘要】
2015.08.26 JP 2015-166480;2016.06.14 JP 2016-117701.一种物理量检测装置，其特征在于，具备：驱动信号图案，其包括被施加驱动信号的驱动电极以及与所述驱动电极连接的驱动信号配线；第一检测信号图案，其包括输出第一检测信号的第一检测电极以及与所述第一检测电极连接的第一检测信号配线，并与所述驱动信号图案电容耦合；第二检测信号图案，其包括输出与所述第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极以及与所述第二检测电极连接的第二检测信号配线，并与所述驱动信号图案电容耦合，所述第一检测信号图案、所述第二检测信号图案以及所述驱动信号图案中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案。2.如权利要求1所述的物理量检测装置，其特征在于，所述调节用图案包括：第一图案部分，其在与所述调节用图案的延伸方向交叉的方向上具有第一宽度；第二图案部分，其在所述方向上具有窄于所述第一宽度的第二宽度。3.如权利要求1或权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，具备振动元件，所述振动元件具有基部和与所述基部连接的振动部，所述驱动电极、所述第一检测电极以及所述第二检测电极被配置于所述振动部上，所述驱动信号配线、所述第一检测信号配线以及所述第二检测信号配线被配置于所述基部上，所述调节用图案被配置于所述基部上。4.如权利要求1或权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，具备振动元件，所述振动元件具有基部、与所述基部连接的振动部以及与所述基部连接的固定部，所述驱动信号配线、所述第一检测信号配线以及所述第二检测信号配线被配置于所述基部以及所述固定部双方上，所述调节用图案被配置于所述固定部上。5.如权利要求1或权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，具备振动元件、中继基板和电子元件，所述电子元件通过所述中继基板而与所述振动元件电连接，所述驱动信号图案、所述第一检测信号图案以及所述第二检测信号图案以跨及所述振动元件和所述中继基板的方式被配置，所述调节用图案被配置于所述中继基板上。6.如权利要求1或权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，具备：振动元件；容器，其对所述振动元件进行收纳，所述振动元件与所述容器通过连接部而相互电连接，所述驱动信号图案、所述第一检测信号图案以及所述第二检测信号图案经由所述连接部而以跨及所述振动元件与所述容器的方式被配置，所述调节用图案被配置于所述容器上。7.如权利要求1或权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，所述调节用图案与所述驱动信号图案、所述第一检测信号图案以及所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：西泽竜太，山口啓一，中川啓史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP