【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种射频开关。特别是涉及一种基于柔性薄膜PIN二极管的柔性薄膜射频开关。
技术介绍
在过去的十年中,柔性电子器件发展迅速,许多研发人员投入到对其的研究中。各种各样的电子产品被开发出来,包括柔性显示、电子标签以及一些低成本集成电路。除次之外,一些电子产品需要在微波射频下正常运行,如便携式无线设备,通信天线,空间遥感和军事应用等。与基于硬质电路相比柔性电子产品更轻,更耐冲击。截至今天,以低成本的PET为衬底的高速柔性薄膜晶体管可以应用到一些放大器组件中。传统的以硬质硅为衬底的开关不易弯曲,与柔性系统不兼容。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是,提供一种可应用于柔性射频领域的柔性薄膜射频开关。本专利技术所采用的技术方案是:一种柔性薄膜射频开关,包括衬底,所述的衬底为柔性衬底,所述衬底上设置有SU8粘合层,所述SU8粘合层的上面分别设置有:第一PIN二极管、第二PIN二极管、输入端、输出端和接地端,其中,所述第一PIN二极管的一端通过金属互联线连接所述的输入端,所述第一PIN二极管的另一端通过金属互联线分别连接输出端和第二PIN二极管的一端,所述第二PIN二极管的另一端通过金属互联线连接接地端。所述的第一PIN二极管包括有依次并排相连的第一单晶硅薄膜、第二单晶硅薄膜和第三单晶硅薄膜,其中,所述的第一单晶硅薄膜为P型掺杂区并通过金属互联线连接输入端,所述的第二单晶硅薄膜无掺杂区,所述的第三单晶硅薄膜为N型掺杂区并通过金属互联线分别连接输出端和第二PIN二极管。所述的第二PIN二极管包括有依次并排相连的第四单晶硅薄膜、第五单晶硅薄膜和第六单晶硅薄 ...
【技术保护点】
一种柔性薄膜射频开关,包括衬底(1),其特征在于,所述的衬底(1)为柔性衬底,所述衬底(1)上设置有SU8粘合层(2),所述SU8粘合层(2)的上面分别设置有:第一PIN二极管(A)、第二PIN二极管(B)、输入端(9)、输出端(10)和接地端(11),其中,所述第一PIN二极管(A)的一端通过金属互联线连接所述的输入端(9),所述第一PIN二极管(A)的另一端通过金属互联线分别连接输出端(10)和第二PIN二极管(B)的一端,所述第二PIN二极管(B)的另一端通过金属互联线(12)连接接地端(11)。
【技术特征摘要】
1.一种柔性薄膜射频开关,包括衬底(1),其特征在于,所述的衬底(1)为柔性衬底,所述衬底(1)上设置有SU8粘合层(2),所述SU8粘合层(2)的上面分别设置有:第一PIN二极管(A)、第二PIN二极管(B)、输入端(9)、输出端(10)和接地端(11),其中,所述第一PIN二极管(A)的一端通过金属互联线连接所述的输入端(9),所述第一PIN二极管(A)的另一端通过金属互联线分别连接输出端(10)和第二PIN二极管(B)的一端,所述第二PIN二极管(B)的另一端通过金属互联线(12)连接接地端(11)。2.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜射频开关,其特征在于,所述的第一PIN二极管(A)包括有依次并排相连的第一单晶硅薄膜(3)、第二单晶硅薄膜(4)和第三单晶硅薄膜(5),其中,所述的第一单晶硅薄膜(3)为P型掺杂区并通过金属互联线(12)连接输入端(9),所...
【专利技术属性】
技术研发人员:秦国轩,黄治塬,刘昊,靳萌萌,党孟娇,王亚楠,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:天津;12
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