一种MOCVD温度探测器及其安装机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种MOCVD温度探测器的安装机构，该安装机构包含：探测器支架，其架设在反应腔顶部的腔体盖板上；连接块，其架设在探测器支架上，用于连接温度探测装置；探测器支架包含固定区域和/或滑轨区域；固定区域中连接块与探测器支架固定连接；滑轨区域中设有滑轨，连接块活动设置于滑轨中。本实用新型专利技术具有径向导轨定位的灵活安装配置，独立的可调安装孔位设计，可以方便有效地调整各探头安装位置，便于对不同类型的石墨盘和不同尺寸的晶片进行有效的工艺参数测量；具有高精度光学定位机构，精确定位探头及其探测区域的位置，具有定位精度高、重复性好的特点，提高了设备适用性与灵活。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体制备中的探测技术，具体涉及一种MOCVD温度探测器及其安装机构。
技术介绍
MOCVD（金属有机化合物化学气相沉淀）用于研发和生产设备时，需要根据用途，采用不同类型的石墨盘和不同尺寸的晶片。由于机械结构和工艺参数的差异，相应的光学探头需要移动至合适的位置，才能获取有效的工艺参数等信息，定位精度低、重复性差、适用性与灵活性低。
技术实现思路
本技术提供一种MOCVD温度探测器及其安装机构，可以方便有效地调整各探头安装位置，具有定位精度高、重复性好的特点，提高了设备适用性与灵活性。为实现上述目的，本技术提供一种MOCVD温度探测器的安装机构，其特点是，该安装机构包含：探测器支架，其架设在反应腔顶部的腔体盖板上；连接块，其架设在探测器支架上，用于连接温度探测装置；所述探测器支架包含固定区域和/或滑轨区域；固定区域中连接块与探测器支架固定连接；滑轨区域中设有滑轨，连接块活动设置于滑轨中。上述安装机构包含标尺，其平行设置于探测器支架侧边，连接块由探测器支架向标尺延伸，靠近标尺上的刻度。上述连接块上设置的温度探测装置与腔体盖板上的光学凹槽位置对应。上述光学凹槽采用玻璃槽，玻璃槽为石英材质。上述探测器支架的固定区域中设有若干安装孔，若干连接块分别可拆卸地安装在部分或全部安装孔中。上述探测器支架的端部设有定位销。上述反应腔采用圆柱形，探测器支架沿反应腔的直径设置。一种MOCVD温度探测器，其特点是，该温度探测器包含：上述的安装机构；温度探测装置，其设置于连接块上。上述温度探测装置采用探测面朝向反应腔的非接触式光学探测器。本技术一种MOCVD温度探测器及其安装机构和现有技术的温度探测器连接机构相比，其优点在于，本技术具有径向导轨定位的灵活安装配置，独立的可调安装孔位设计，可以方便有效地调整各探头安装位置，便于对不同类型的石墨盘和不同尺寸的晶片进行有效的工艺参数测量；本技术具有高精度光学定位机构，精确定位探头及其探测区域的位置，具有定位精度高、重复性好的特点，提高了设备适用性与灵活。附图说明图1为本技术MOCVD温度探测器及半导体处理设备的正视图；图2为本技术MOCVD温度探测器及其安装机构的实施例一的俯视图；图3为本技术MOCVD温度探测器及其安装机构的实施例二的俯视图。具体实施方式以下结合附图，进一步说明本技术的具体实施例。如图1所示，公开了一种MOCVD半导体处理装置，该半导体处理装置包含有反应腔102，该反应腔102的形状并非限定于圆筒状，例如也可以是角筒状。在反应腔102的底部设有旋转托盘，待处理的若干晶圆固定在该旋转托盘上。反应腔102的顶部设有腔体盖板103，在腔体盖板103上方设有MOCVD温度探测器101。该温度探测器101包含温度探测装置及其安装机构。其中温度探测装置采用探测面朝向反应腔的非接触式光学探测器。如图2所示，为本技术所公开的一种MOCVD温度探测器的安装机构的实施例一，该安装机构包含：探测器支架201、连接块202、标尺203和定位销205。探测器支架201为架设在反应腔顶部的腔体盖板207上的横杆结构，用于架设连接块202，在探测器支架201的端部设有定位销205。本实施例中，反应腔采用圆柱形结构，探测器支架过反应腔的中心线，沿反应腔的直径设置。本实施例一中，探测器支架201由反应腔的中心线分为对称的两部分，其中一半为用于固定连接块202的固定区域。探测器支架201的固定区域中设有若干安装孔，例如平均间隔或非平均间隔设置的九个安装孔，根据实际工艺需要，若干连接块202分别可拆卸地安装在部分或全部安装孔中。位于固定区域中的连接块202固定连接在探测器支架201的安装孔中，用于连接温度探测装置206。本实施例中，探测器支架201的固定区域上固定连接有三个连接块202，分别检测反应腔三个区域的温度情况。标尺203平行设置于探测器支架201的侧边，连接块202由探测器支架201向标尺203延伸，靠近标尺上203的刻度。本实施例中，连接块202延伸到标尺203上方，连接块202朝向标尺上203的一端靠近且不到标尺203、或部分与标尺203上的刻度面重叠、或完全与标尺203上的刻度面重叠。连接块202上设有与标尺203刻度平行的边或刻度，实现通过标尺203可读取连接块202沿反应腔径向的位置信息。反应腔顶部的腔体盖板207设有光学凹槽204，连接块202上设置的温度探测装置206与腔体盖板207上的该光学凹槽204位置对应。本实施例中光学凹槽204与标尺203和探测器支架201平行间隔设置。光学凹槽204采用玻璃槽，该玻璃槽为石英材质制成。本技术还公开了一种采用实施例一所公开安装机构的MOCVD温度探测器，该温度探测器包含：上述实施例一公开的安装机构以及设置于安装机构的连接块上的温度探测装置。其中，温度探测装置206采用通过调整螺丝设置于连接块202上的非接触式光学探测器，其探头朝向反应腔顶部的腔体盖板207，对应于光学凹槽304设置。如图3所示，为本技术所公开的一种MOCVD温度探测器的安装机构的实施例二，该安装机构包含：探测器支架301、固定连接块302、标尺303、光学凹槽304、定位销305、滑动连接块308。探测器支架301为架设在反应腔顶部的腔体盖板307上的横杆结构，用于架设连接块302，在探测器支架301的端部设有定位销305。本实施例中，反应腔采用圆柱形结构，探测器支架过反应腔的中心线，沿反应腔的直径设置。探测器支架301由反应腔的中心线分为对称的两部分，设有固定区域和/或滑轨区域。固定区域中固定连接块302与探测器支架201固定连接。滑轨区域中设有滑轨，滑动连接块308活动设置于滑轨中。探测器支架301的滑轨区域中设有沿探测器支架301轴向设置的滑轨，该滑轨中可设置滑动连接块308或不设置滑动连接块308，一个或若干个滑动连接块308活动设置于滑轨中，用于连接温度探测装置306，可沿滑轨自由滑动，并根据工艺需要固定于滑轨的任意位置。本实施例中，探测器支架201的滑轨区域中设有一个滑动连接块308，设置于滑轨任意需要的位置。探测器支架301的固定区域中设有若干安装孔，例如平均间隔或非平均间隔设置的九个安装孔，根据实际工艺需要，若干固定连接块302分别可拆卸地安装在部分或全部安装孔中。固定连接块302固定连接在探测器支架301的安装孔中，用于连接温度探测装置306。本实施例中，探测器支架301的固定区域上固定连接有三个连接块302，分别检测反应腔三个区域的温度情况。标尺303平行设置于探测器支架301的侧边，连接块302由探测器支架301向标尺303延伸，靠近标尺上303的刻度。本实施例中，连接块302延伸到标尺303上方，连接块302朝向标尺上303的一端靠近且不到标尺303、或部分与标尺303上的刻度面重叠、或完全与标尺303上的刻度面重叠。连接块302上设有与标尺303刻度平行的边或刻度，实现通过标尺303可读取连接块302沿反应腔径向的位置信息。反应腔顶部的腔体盖板307设有光学凹槽304，连接块302上设置的温度探测装置306与腔体盖板307上的该光学凹槽304位置对应。本实施例中光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MOCVD温度探测器的安装机构，其特征在于，该安装机构包含：探测器支架，其架设在反应腔顶部的腔体盖板上；连接块，其架设在探测器支架上，用于连接温度探测装置；所述探测器支架包含固定区域和/或滑轨区域；固定区域中连接块与探测器支架固定连接；滑轨区域中设有滑轨，连接块活动设置于滑轨中。

【技术特征摘要】
1.一种MOCVD温度探测器的安装机构，其特征在于，该安装机构包含：探测器支架，其架设在反应腔顶部的腔体盖板上；连接块，其架设在探测器支架上，用于连接温度探测装置；所述探测器支架包含固定区域和/或滑轨区域；固定区域中连接块与探测器支架固定连接；滑轨区域中设有滑轨，连接块活动设置于滑轨中。2.如权利要求1所述的安装机构，其特征在于，所述安装机构包含标尺，其平行设置于探测器支架侧边，连接块由探测器支架向标尺延伸，靠近标尺上的刻度。3.如权利要求1所述的安装机构，其特征在于，所述连接块上设置的温度探测装置与腔体盖板上的光学凹槽位置对应。4.如权利要求3所述的安装机构，其特征在于，所述光学凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：田保峡，李天笑，
申请(专利权)人：中微半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31