一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种烤炉降温控制方法，尤其是涉及一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法。
技术介绍
目前对烤炉的降温方式是通过多次手动定值降温，而烤炉内箱空间一定，从而使得烤炉内的温度降低时难以保持温度下降的曲线趋于平滑，通常是温度呈现直线下降而且无法控制，参阅图4中所示，降温曲线曲率较大，温度和时间线性较差，从而影响了烘烤效率和质量。如在晶圆涂料导电层的固化和封装的制程上使用的烤炉,如果快速降温的话会造成晶圆的龟裂的现象和导电层的导电率变差,从而影响产品的质量。所以让降温曲线平滑可以保证产品的良率，避免二次烘烤，提升效率。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是针对现有技术的上述不足，提供一种降温曲线平滑、烘烤效率高、产品质量稳定的无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法。为实现上述目的，本专利技术提供一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法，该控制方法是先通过温控器时间信号控制恒流量的烤炉夹层风冷降温和水冷降温，使烤炉的温度由350度降至160度；再通过温控器的PID控制风路和水路的流量改变使烤炉内以每分钟降5度的方式降温至80度为止。作为本专利技术的进一步改进，通过温控器时间信号控制烤炉夹层风冷降温的风路的流量恒定，使烤炉的温度由350度降至210度降温后，如果温度流失过慢，往水管内注入气体加强冷却，使温度由210度降到190度。作为本专利技术的更进一步改进，在往水管注入气体后，如果再次出现温度流失过慢，则开启水路，并限制水路的流量是水管最大输出的10％，使温度由190度降到160度。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：利用温控器PID控制可随时改变风路和水路...
【技术保护点】
一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法，其特征在于，该控制方法是先通过温控器时间信号控制烤炉夹层风冷降温和水冷降温，使烤炉的温度由350度降至160度；再通过温控器的PID控制风路和水路的流量改变使烤炉内以每分钟降5度的方式降温至80度为止。
【技术特征摘要】
1.一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法，其特征在于，该控制方法是先通过温控器时间信号控制烤炉夹层风冷降温和水冷降温，使烤炉的温度由350度降至160度；再通过温控器的PID控制风路和水路的流量改变使烤炉内以每分钟降5度的方式降温至80度为止。2.如权利要求1所述的无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法，其特征在于：通过温控器时间信号控制烤炉夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐洪章，邓涛，宋文莉，
申请(专利权)人：志圣科技广州有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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