一种带孔方形基片的夹持传送装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于半导体行业擦片清洗领域，具体地说是一种带孔方形基片的夹持传送装置，双向滑台安装在机械手安装座上，在双向滑台的两侧均设有安装在机械手安装座上的一字型手指安装座，每个一字型手指安装座上均连接有一字型手指；每个一字型手指的下方均设有L型手指，每个L型手指的一端均与双向滑台相连，另一端向上弯折形成L型；一字型手指及L型手指均随机械手安装座移动，两侧的一字型手指依次承载带孔方形基片，并通过由双向滑台驱动的同侧的L型手指实现夹持。相比真空吸附等取送方式，本发明专利技术抓取更牢固、不会发生基片在传送过程中有位置变化，解决了有孔及有液体的基片传送问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体行业擦片清洗领域，具体地说是一种带孔方形基片的夹持传送装置。
技术介绍
目前，有部分企业采用有孔的方形陶瓷基片做产品。方形基片上的孔是由激光打孔，直径约为0.2mm，激光打孔后，需要刷洗掉沉积在基片表面的熔融物以便于后续工艺的制作。去除掉基片表面的熔融物需要化学液冲洗及毛刷旋转刷洗共同作用，因此基片需要有支撑部分，基片有支撑的面会有少量液体的残留，取送基片的时候会有液体与取送装置接触，所以取送装置需应对有液体的情况。现有基片的传送固定方式普遍采用真空吸附的固定方式，吸附不了带孔的基片。
技术实现思路
为了解决真空传送固定方式吸附不了有孔基片的问题，本专利技术的目的在于提供一种带孔方形基片的夹持传送装置。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本专利技术包括机械手安装座、一字型手指安装座、一字型手指、双向滑台及L型手指，其中双向滑台安装在机械手安装座上，在该双向滑台的两侧均设有安装在所述机械手安装座上的一字型手指安装座，每个所述一字型手指安装座上均连接有一字型手指；每个所述一字型手指的下方均设有L型手指，每个所述L型手指的一端均与所述双向滑台相连，另一端向上弯折形成L型；所述一字型手指及L型手指均随机械手安装座移动，两侧的所述一字型手指依次承载带孔方形基片，并通过由所述双向滑台驱动的同侧的L型手指实现夹持。其中：所述双向滑台上安装有调节L型手指推动带孔方形基片速度及夹持带孔方形基片力度的调速阀；每侧所述L型手指向上弯折处均设有防止液体在一字型手指及L型手指上聚集的液体导流槽；所述一字型手指的一端固接在一字型手指安装座上，另一端为自由端，所述L型手指向上弯折的另一端位于一字型手指另一端的外侧；所述一字型手指与一字型手指安装座固接一端的上表面与一字型手指承载带孔方形基片的自由端的上表面存在高度差，形成对所述带孔方形基片的固定限位；两侧的所述一字型手指高度相同、对称设置，两侧的所述L型手指高度相同、对称设置，每侧的所述一字型手指与同侧的所述L型手指相平行。本专利技术的优点与积极效果为：1.本专利技术通过一字型手指承载带孔方形基片，由双向滑台驱动L型手指推动带孔方形基片，实现夹持，相比真空吸附等取送方式，本专利技术抓取更牢固、不会发生基片在传送过程中有位置变化，解决了有孔及有液体的基片传送问题，并且可用于有腐蚀性的液体。2.本专利技术带孔方形基片的推动速度及到L型手指夹持带孔方形基片的力度可通过调速阀调节到设定的速度和力度。3.本专利技术L型手指上设有液体导流槽，防止液体在一字型手指及L型手指上聚集，便于排放。4.本专利技术一字型手指与一字型手指安装座固接一端的上表面与承载带孔方形基片的自由端的上表面存在高度差，形成了固定限位，使带孔方形基片夹持更牢固，更防止了液体接触到一字型手指安装座。。5.本专利技术的一字型手指和L型手指有共同的安装基准机械手安装座，保证了一字型手指和L型手指配合取片的准确性。6.本专利技术结构简单、安装方便，便于更换以兼容各种尺寸的方形基片。附图说明图1为本专利技术的结构主视图；图2为本专利技术的轴侧图；其中：1为机械手安装座，2为一字型手指安装座，3为一字型手指，4为双向滑台，5为L型手指，6为调速阀，7为带孔方形基片，8为液体导流槽。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步详述。如图1、图2所示，本专利技术包括机械手安装座1、一字型手指安装座2、一字型手指3、双向滑台4及L型手指5，其中机械手安装座1的一端与机械手相连、随机械手移动，另一端的下表面安装有双向滑台4，在双向滑台4的两侧对称设有两个一字型手指安装座2。每个一字型手指安装座2均为“L”型，固定在机械手安装座1的下表面，每个一字型手指安装座2上均固接有一字型手指3。双向滑台4两侧的一字型手指3等高对称设置，每个一字型手指3均为长方形，一端固接在同侧的一字型手指安装座2上，另一端为自由端。在两侧一字型手指3的下方，各设有一个L型手指5；两侧的L型手指5等高对称设置，且分别与同侧上方的一字型手指3相平行。每个L型手指5的一端均与双向滑台4固接，另一端向上弯折形成L型。每侧L型手指5向上弯折的另一端位于同侧一字型手指3另一端的外侧。每侧L型手指5在向上弯折处均设有液体导流槽8，防止液体在一字型手指3及L型手指5上聚集，便于排放。每侧一字型手指3与同侧一字型手指安装座2固接一端的上表面高于一字型手指3承载带孔方形基片7的自由端的上表面，即一字型手指3两端的上表面存在垂直高度差，形成对带孔方形基片7的固定限位，防止液体接触到一字型手指安装座2，只是一字型手指3接触液体。的上表面低于同侧一字型手指安装座2的上表面，即一字型手指3上表面与一字型手指安装座2上表面存在高度差，形成对带孔方形基片7的固定限位。一字型手指3和L型手指5有共同的安装基准机械手安装座1，保证了一字型手指3和L型手指5配合取片的准确性。在双向滑台4上还安装有调速阀6，带孔方形基片7的推动速度及到L型手指5夹持带孔方形基片7的力度可通过调速阀6调节到设定的速度和力度。本专利技术的双向滑台4为市购产品，购置于日本SMC公司，型号为MHF2-8DR-M9NW；调速阀6为市购产品，购置于日本SMC公司，型号为AS2201F-01-04S。本专利技术的工作原理为：在机械手指取片时，一字型手指3会随机械手安装座1运行到带孔方形基片7下方，带孔方形基片7然后落到两侧的一字型手指3上、由一字型手指3承载；一侧的L型手指5会通过双向滑台4的驱动把带孔方形基片7向双向滑台4驱动的方向推动，直至带孔方形基片7碰到该侧一字型手指3后方的固定限位上，利用L型手指5和固定限位对带孔方形基片7相对的两侧实现夹持。然后，另一侧的L型手指5再通过双向滑台4的驱动把带孔方形基片7向双向滑台4驱动的方向推动，直至带孔方形基片7碰到另一侧一字型手指3后方的固定限位上。双向滑台4同时驱动两侧的L型手指5进行伸缩，因此本专利技术取送完成一侧的单个带孔方形基片7后才能进行另一侧带孔方形基片7的取送。本专利技术可安装在直线导轨或是电缸上以直线运行。本专利技术的材料采用铝合金，铝合金表面可以通过表面处理，使其具有抗腐蚀、抗磨损、高硬度的性能，并且方便更换。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带孔方形基片的夹持传送装置，其特征在于：包括机械手安装座(1)、一字型手指安装座(2)、一字型手指(3)、双向滑台(4)及L型手指(5)，其中双向滑台(4)安装在机械手安装座(1)上，在该双向滑台(4)的两侧均设有安装在所述机械手安装座(1)上的一字型手指安装座(2)，每个所述一字型手指安装座(2)上均连接有一字型手指(3)；每个所述一字型手指(3)的下方均设有L型手指(5)，每个所述L型手指(5)的一端均与所述双向滑台(4)相连，另一端向上弯折形成L型；所述一字型手指(3)及L型手指(5)均随机械手安装座(1)移动，两侧的所述一字型手指(3)依次承载带孔方形基片(7)，并通过由所述双向滑台(4)驱动的同侧的L型手指(5)实现夹持。

【技术特征摘要】
1.一种带孔方形基片的夹持传送装置，其特征在于：包括机械手安装座(1)、一字型手指安装座(2)、一字型手指(3)、双向滑台(4)及L型手指(5)，其中双向滑台(4)安装在机械手安装座(1)上，在该双向滑台(4)的两侧均设有安装在所述机械手安装座(1)上的一字型手指安装座(2)，每个所述一字型手指安装座(2)上均连接有一字型手指(3)；每个所述一字型手指(3)的下方均设有L型手指(5)，每个所述L型手指(5)的一端均与所述双向滑台(4)相连，另一端向上弯折形成L型；所述一字型手指(3)及L型手指(5)均随机械手安装座(1)移动，两侧的所述一字型手指(3)依次承载带孔方形基片(7)，并通过由所述双向滑台(4)驱动的同侧的L型手指(5)实现夹持。2.按权利要求1所述带孔方形基片的夹持传送装置，其特征在于：所述双向滑台(4)上安装有调节L型手指(5)推动带孔方形基片(7)速度及夹持带孔方形基片(7)力度的调速阀(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员：符平平，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21