制造可拉伸导线的方法和制造可拉伸集成电路的方法技术

本发明专利技术的实施例提供一种制造可拉伸导线的方法，所述方法包含在基板上移除光致抗蚀剂层的一部分，以形成包含至少一个图案狭缝的光致抗蚀剂图案，在光致抗蚀剂图案上施加液相导电材料，以在图案狭缝中形成液相导电结构，在移除光致抗蚀剂图案之后，在液相导电结构上形成可拉伸的第一绝缘层，以及从基板分离液相导电结构和第一绝缘层。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种制造可拉伸导线的方法，以及一种制造可拉伸集成电路的方法。
技术介绍
即使当基板由于从外部施加的应力而膨胀时，可拉伸电子设备需要保持电气功能。可拉伸电子设备超出了简单可弯曲和/或柔性设备的极限，并且在各种领域中有适用性，这些领域例如是机器人的传感器皮肤、可穿戴通信设备，身体可嵌入/可附接生物设备、下一代显示器，以及类似领域。为制造柔性电子设备，存在用于在基板(在其上将形成电路)中形成褶皱的技术，以确保设备的可拉伸性，存在使用具有导电性的、可拉伸且有机的导电材料来取代金属导线的技术，或者将金属导线图案化为可拉伸且二维的平面弹簧类型的技术。
技术实现思路
本公开提供一种制造可拉伸导线以及可拉伸集成电路的方法，所述可拉伸导线以及可拉伸集成电路具有可拉伸且为液相的导电结构。本公开所解决的问题不局限于上文描述的那些问题，且从下面的描述，本领域技术人员将可以清楚地理解上文未提及的其他问题。本专利技术构思的实施例提供一种制造可拉伸导线的方法。所述方法包含：在基板上移除光致抗蚀剂层的一部分，以形成包含至少一个图案狭缝的光致抗蚀剂图案；在光致抗蚀剂图案上施加液相导电材料，以在图案狭缝中形成液相导电结构；在移除光致抗蚀剂图案后，在液相导电结构上形成可拉伸的第一绝缘层；以及将液相导电结构和第一绝缘层从基板分离。在实施例中，图案狭缝可以包含面向彼此的侧壁，并且侧壁与基板成锐角。在实施例中，液相导电结构可以具有与侧壁间的最短分离距离相对应的宽度。在实施例中，液相导电结构可以沿图案狭缝延伸。在实施例中，所述方法还可以包含：在从基板分离的液相导电结构的下部部分上形成可拉伸的第二绝缘层。在实施例中，液相导电材料可以包含液相金属。在实施例中，液相金属可以包含含有镓(Ga)和铟(In)的合金。在实施例中，可拉伸的第一绝缘层可以包含弹性体。在实施例中，弹性体可以包含聚二甲基硅氧烷(PDMS)或聚氨酯。在本专利技术构思的实施例中，一种制造可拉伸集成电路的方法包含：在上面设置有至少两个彼此分离的电子设备的基板上形成光致抗蚀剂层；移除光致抗蚀剂层的一部分，以形成包含至少一个图案狭缝的光致抗蚀剂图案；在光致抗蚀剂图案上施加液相导电材料，以在图案狭缝中形成液相导电结构；在移除光致抗蚀剂图案后，在液相导电结构和电子设备上形成可拉伸的第一绝缘层；以及将液相导电结构、电子设备和第一绝缘层从基板上分离。在实施例中，图案狭缝可以包含面向彼此的侧壁，并且侧壁与基板成锐角。在实施例中，侧壁之间的最短分离距离可以形成为大于电子设备之间的分离距离。在实施例中，液相导电材料可以包含液相金属。在实施例中，液相金属可以包含含有镓(Ga)和铟(In)的合金。在实施例中，所述方法还可以包含在从基板分离的液相导电结构、电子设备，以及第一绝缘层的下部部分上形成可拉伸的第二绝缘层。在实施例中，液相导电材料可以连接彼此分离的电子设备。附图说明包含附图以提供本专利技术构思的进一步理解，并且附图被并入以构成本说明书的一部分。附图图示了本专利技术构思的示范性实施例，并且与说明书一起用以解释本专利技术构思的原理。在附图中：图1是图示了电子设备通过根据本专利技术构思的实施例的可拉伸导线而连接的平面图；图2是沿图1的线I-I’剖取的截面图；图3至12是按顺序图示了根据本专利技术构思的实施例的可拉伸导线的制造工艺的附图；图13是图示了根据本专利技术构思的实施例的可拉伸集成电路的平面图；图14是沿图13的线II-II’剖取的截面图；以及图15至22是按顺序图示了根据本专利技术构思的实施例的可拉伸集成电路的制造工艺的附图。具体实施方式将参考后面详细描述的示范性实施例以及附图来说明本专利技术的优点和特征，以及用于实现它们的方法。然而，本专利技术不局限于下面的示范性实施例，而是以各种形式实现。换言之，提出多个这些示范性实施例仅为了完整地公开本专利技术，并且使本领域普通技术人员理解本专利技术的范围。本专利技术应当仅由随附的权利要求的范围来限定。整个说明书中，相似的编号指代相似的元件。下面的说明书和权利要求中所使用的术语和词汇是为了描述实施例，而非局限专利技术构思。如本文所使用的，单数形式“一”、“一个”和“所述”也意图包含复数形式，除非语境明显表示相反的意思。还应理解的是，本文使用的术语“包含”和/或“包括”指定所述部件、操作和/或元件的存在，但不排除一个或多个其他部件、操作和/或元件的存在或附加。除非相反地限定，本文使用的全部术语(包含技术术语和科学术语)具有属于本专利技术
的普通技术的人员所理解的相同的意义。应当进一步理解的是，术语(比如那些在常用词典中定义的术语)应被解读为具有与它们在相关领域的语境中的意义一致的意义，而不应被解读为理想化的或过于正式的意义，除非本文明显地如此限定。在下文中，将参考附图详细描述本专利技术构思的实施例，以解释可拉伸导线和可拉伸集成电路的制造方法。图1是图示了电子设备通过根据本专利技术构思的实施例的可拉伸导线而连接的平面图。图2是沿图1的线I-I’剖取的截面图。参考图1和图2，多个电子设备E1和E2可以彼此分离地设置。可拉伸导线1可以连接到多个电子设备E1和E2中的每一个。例如，两个电子设备E1和E2中的每一个可以与可拉伸导线1的两端都连接。可拉伸导线1在至少一个方向上是可拉伸的，以用于可穿戴通信设备，或者身体可嵌入/可附接的生物设备等。在本专利技术构思的实施例中，可拉伸导线1可以延长地(lengthily)形成。可拉伸导线1可以在至少一个方向上拉伸。例如，可拉伸导线1可以在纵向方向上拉伸或收缩。相应地，可拉伸导线1可以自由地弯曲。与此不同的是，其他可拉伸导线可能在全部方向上拉伸或收缩。可拉伸导线1可以包含液相导电结构10以及绝缘层30和绝缘层40。可拉伸导线1可以包含至少一个液相导电结构10。在本专利技术构思的实施例中，可拉伸导线1可以包含一个液相导电结构10，但不局限于此，且也可以包含两个或更多个液相导电结构。液相导电结构10可以设置在绝缘层30和绝缘层40中。例如，液相导电结构10可以设置在稍后将描述的第一绝缘层30和第二绝缘层40之间。相应地，可以通过绝缘层30和绝缘层40，使液相导电结构10与外部环境隔离。在使用可拉伸导线1的温度下，液相导电结构10可以保持液相状态。例如，当在室温下使用可拉伸导线1时，液相导电结构10可以在室温下保持液相状态。液相导电结构10可以包含具有导电性的液相金属。液相金属包含含有镓(Ga)和铟(In)的合金，该合金在室温下保持液相，但不局限于此。与此不同的是，在另一实施例中，液相导电结构10可以包含液相聚合物材料，该液相聚合物材料在使用可拉伸导线1的温度下保持液相。液相导电结构10可以形成为直线图案。与此不同的是，在另一实施例中，液相导电结构10可以形成为各种图案，例如锯齿图案、曲线图案、网格图案，以及类似图案。绝缘层30和绝缘层40可以围绕液相导电结构10。相应地，绝缘层30和绝缘层40可以保护液相导电层结构10免受外部环境。绝缘层30和绝缘层40可以包含可拉伸的弹性体。弹性体可以包含聚二甲硅氧烷(PDMS)或聚氨酯。相应地，绝缘层30和绝缘层40可以通过外力在至少一个方向上被拉伸。在本专利技术构思的实施例中，绝缘层30和绝缘层40可以包含第一绝缘层30和第二绝缘层40。第一绝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造可拉伸导线的方法，所述方法包含：在基板上移除光致抗蚀剂层的一部分，以形成包含至少一个图案狭缝的光致抗蚀剂图案；在所述光致抗蚀剂图案上施加液相导电材料，以在所述图案狭缝中形成液相导电结构；在移除所述光致抗蚀剂图案后，在所述液相导电结构上形成可拉伸的第一绝缘层；以及从所述基板分离所述液相导电结构和所述第一绝缘层。

【技术特征摘要】
2015.08.21 KR 10-2015-0118196;2016.01.22 KR 10-2011.一种制造可拉伸导线的方法，所述方法包含：在基板上移除光致抗蚀剂层的一部分，以形成包含至少一个图案狭缝的光致抗蚀剂图案；在所述光致抗蚀剂图案上施加液相导电材料，以在所述图案狭缝中形成液相导电结构；在移除所述光致抗蚀剂图案后，在所述液相导电结构上形成可拉伸的第一绝缘层；以及从所述基板分离所述液相导电结构和所述第一绝缘层。2.如权利要求1所述的方法，其中所述图案狭缝包含面向彼此的侧壁，并且所述侧壁与所述基板成锐角。3.如权利要求2所述的方法，其中所述液相导电结构具有与所述侧壁之间的最短分离距离相对应的宽度。4.如权利要求1所述的方法，其中所述液相导电结构沿所述图案狭缝延伸。5.如权利要求1所述的方法，还包含：在从所述基板分离的所述液相导电结构的下部部分上形成可拉伸的第二绝缘层。6.如权利要求1所述的方法，其中所述液相导电材料包含液相金属。7.如权利要求6所述的方法，其中所述液相金属包含含有镓和铟的合金。8.如权利要求1所述的方法，其中所述可拉伸的第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴赞佑，具在本，罗福顺，朴来晚，吴知映，李相硕，郑焞元，
申请(专利权)人：韩国电子通信研究院，
类型：发明
国别省市：韩国;KR