【技术实现步骤摘要】
本技术属于差分式微机械陀螺结构
,具体涉及一种差分式微机械陀螺的正交误差补偿结构。
技术介绍
中高精度微机械陀螺在惯性导航及制导领域已有广泛应用。其中双质量差分式梳齿线振动电容式微机械陀螺因具有大量程、高抗冲击性等特点,正在成为在制导领域的一种主流结构。双质量差分式梳齿线振动电容式陀螺结构核心为一个平面内运动方向相反的两个振动质量框,两个振动质量框之间通过耦合模块进行连接,振动质量块通过静电驱动力,使两个质量块在平面内X方向反方向振动,当感受到Z轴方向输入的角速度时,在哥氏效应的作用下,两个质量块分别受到Y方向哥氏力,从而推动质量块在Y方向沿相反方向振动。通过检测Y方向的振动幅值并进行差分计算来对应计算输入角速度。由于加工工艺的非理想性,两个质量框在X轴的振动会耦合到Y方向,会导致在没有角速率输入的情况下产生角速度输出。因此,在设计减小正交耦合误差的结构之外,还需设计能够对正交耦合误差进行补偿校正的结构。常使用两组对称的平行板梳齿电极作为单个质量框的正交误差补偿结构,通过平行板梳齿电极之间的静电力对单个质量框的正交耦合误差进行补偿,但这种正交误差补偿结构会占用陀螺有用面积,限制差分式微机械陀螺性能提升。
技术实现思路
本技术解决的技术问题:提供一种对差分式微机械陀螺性能提升影响较小的正交误差补偿结构。本技术的技术方案:一种用于硅微陀螺的正交误差补偿结构,其特征为:所述的结构包括左右对称的质量框,质量框包括驱动框和检测框,驱动框和检测框连接在一起,驱动框包括四组对称分布的分离式驱动梳齿,同一侧的两组分离式驱动梳齿驱动力大小不同,方向相同;分别位于两侧的两 ...
【技术保护点】
一种用于硅微陀螺的正交误差补偿结构,其特征为:所述的结构包括左右对称的质量框,质量框包括驱动框和检测框,驱动框和检测框连接在一起,驱动框包括四组对称分布的分离式驱动梳齿,同一侧的两组分离式驱动梳齿驱动力大小不同,方向相同;分别位于两侧的两组分离式驱动梳齿驱动力大小之和相同,方向相反。
【技术特征摘要】
1.一种用于硅微陀螺的正交误差补偿结构,其特征为:所述的结构包括左右对称的质量框,质量框包括驱动框和检测框,驱动框和检测框连接在一起,驱动框包括四组对称分布的分离式驱动梳齿,同一侧的两组分离式驱动梳齿驱动力大小不同,方向相同;分别位于两侧的两组分离式驱动梳齿驱动力大小之和相同,方向相反。2.根据权利要求1所述的一种用于硅微陀螺的正交误差补偿结构,其特征为:当质量框的正交耦...
【专利技术属性】
技术研发人员:王永,王刚,熊恒,余才佳,
申请(专利权)人:中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,
类型:新型
国别省市:陕西;61
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