同轴式差分对硅通孔结构制造技术

本发明专利技术实施例公开了一种同轴式差分对硅通孔结构，涉及芯片封装技术领域，其通过设置外层导体屏蔽层，能够将2个分离的内层导体柱内传输的差分信号与周边信号进行完全隔离，从而提高差分信号特别是高速差分信号的传输性能。本发明专利技术的同轴式差分对硅通孔结构包括半导体硅基片和贯穿于所述半导体硅基片的硅通孔，其中，所述硅通孔的内壁紧贴有外层绝缘层，所述外层绝缘层内壁紧贴有外层导体屏蔽层，所述外层导体屏蔽层内壁紧贴有内部形成有2个分离的柱状空间的内部绝缘层，所述2个分离的柱状空间内设置有2个相互分离的用于传输1对差分信号的内层导体柱。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及芯片封装
，尤其涉及一种同轴式差分对硅通孔结构。
技术介绍
随着半导体集成电路中器件特征尺寸的不断降低，平面集成电路发展面临挑战，以硅通孔(throughsiliconvia，TSV)封装技术为代表的3D封装技术是集成电路高密度集成的一个重要发展方向。硅通孔封装技术是在叠层裸片之间直接制作垂直导通通孔，以实现芯片之间的互连。该封装技术能够使芯片在三维方向实现最大密度的堆叠，大大改善芯片的速度，同时降低芯片的功耗，在未来半导体集成电路的高性能和低功耗的发展方向上具有非常广阔的前景。硅通孔封装技术由于集成度的提高，可以将处理器、内存、高速数据接口等裸片集成至同一封装内。随着信息技术的高速发展，数据的处理和传输速率不断提高，处理器、内存以及各种数据总线的时钟频率已经达到5Gbps，且还在不断提高。由于数字信号的波形为矩形波或类矩形波，其所需要的传输带宽要远高于同频的模拟信号，因此硅通孔结构的各层间的物理互连需要能够在宽频带内支持信号的完整传输。差分电路能够有效抑制电源噪声、地噪声、电磁耦合干扰及信号失真。因此，为了在宽频带内实现更好的高速数字信号传输性能，差分结构已经成为数字电路中最通用的高速信号传输载体。因此，差分对互连结构是硅通孔结构中一种必须的互连结构。现有的差分对硅通孔结构一般为2个相邻的且相互独立的通孔。TSV封装中通孔的间距较小，通常为百微米、十微米至微米量级，并随着技术进步不断的降低。由于通孔间的距离较小，且通孔结构之间的半导体基片材质为半导体，因此现有方式的差分对通孔结构在传输信号时，易于受到周边通孔中信号的干扰，同时差分对通孔中的信号也会辐射至周边通孔中对周边信号造成干扰。例如，如图1所示，最常用的差分对通孔结构是由邻近的2个通孔“通孔1”和“通孔2”组成，且不带有任何外部信号隔离结构。这种差分对硅通孔结构易于受到邻近通孔“通孔3”中信号的串扰。周边信号串扰至差分对通孔的2个通孔上的信号幅度、相位往往都是不一致的，这就会对差分对硅通孔造成差模干扰。同时，差分对硅通孔中的差模信号也会对周边通孔中的信号造成干扰。为了解决差分对硅通孔结构与周边的信号串扰问题，如图2所示，通常采取的信号隔离方式为在差分对硅通孔“信号通孔1”和“信号通孔2”周边制作接地通孔结构。在实现本专利技术的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下技术问题：现有技术中的差分对硅通孔结构中信号隔离方式无法将差分信号与周边信号进行完全隔离；同时这种信号隔离方式需要耗费的半导体基片的面积是非常巨大的。
技术实现思路
本专利技术提供一种同轴式差分对硅通孔结构，其通过设置外层导体屏蔽层，能够将2个分离的内层导体柱内传输的1对差分信号与周边信号进行完全隔离，从而提高差分信号特别是高速差分信号的传输性能。本专利技术提供一种同轴式差分对硅通孔结构，包括半导体硅基片，其中，在垂直于所述半导体硅基片的表面方向上开设有贯穿于所述半导体硅基片的硅通孔，所述硅通孔的内壁紧贴有外层绝缘层，所述外层绝缘层内壁紧贴有外层导体屏蔽层，所述外层导体屏蔽层内壁紧贴有内部形成有2个分离的柱状空间的内部绝缘层，所述2个分离的柱状空间内设置有2个相互分离的用于传输1对差分信号的内层导体柱。本专利技术提供的同轴式差分对硅通孔结构，包括半导体硅基片，其中，在垂直于所述半导体硅基片的表面方向上开设有贯穿于所述半导体硅基片的硅通孔，所述硅通孔的内壁紧贴有外层绝缘层，所述外层绝缘层内壁紧贴有外层导体屏蔽层，所述外层导体屏蔽层内壁紧贴有内部形成有2个分离的柱状空间的内部绝缘层，所述2个分离的柱状空间内设置有2个相互分离的用于传输1对差分信号的内层导体柱。与现有技术相比，其通过设置外层导体屏蔽层，能够将2个分离的内层导体柱内传输的差分信号与周边信号进行完全隔离，从而提高差分信号特别是高速差分信号的传输性能；同时，与现有技术中的在差分对硅通孔周边制作接地通孔结构的信号隔离方式相比，本专利技术的信号隔离方式能够大幅度降低所需的半导体基片的面积。综上所述，本专利技术的同轴式差分对硅通孔结构能够在提高差分信号传输性能的同时节省半导体基片的面积。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1为现有的典型差分对硅通孔的结构示意图；图2为现有差分对硅通孔结构的信号隔离方式的结构示意图；图3为本专利技术同轴式差分对硅通孔结构一实施例的结构示意图；图4至图15为本专利技术同轴式差分对硅通孔结构的制作流程。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图3所示，本专利技术实施例提供一种同轴式差分对硅通孔结构，包括半导体硅基片，其中，在垂直于所述半导体硅基片的表面方向上开设有贯穿于所述半导体硅基片的硅通孔，所述硅通孔的内壁紧贴有外层绝缘层，所述外层绝缘层内壁仅贴有外层导体屏蔽层，所述外层导体屏蔽层内壁紧贴有内部形成有2个分离的柱状空间的内部绝缘层，所述2个分离的柱状空间内设置有2个相互分离的用于传输1对差分信号的内层导体柱。其中，所述半导体硅基片能够在封装内进行叠层式互连。本专利技术提供的同轴式差分对硅通孔结构，包括半导体硅基片，其中，在垂直于所述半导体硅基片的表面方向上开设有贯穿于所述半导体硅基片的硅通孔，所述硅通孔的内壁紧贴有外层绝缘层，所述外层绝缘层内壁仅贴有外层导体屏蔽层，所述外层导体屏蔽层内壁紧贴有内部形成有2个分离的柱状空间的内部绝缘层，所述2个分离的柱状空间内设置有2个相互分离的用于传输1对差分信号的内层导体柱。与现有技术相比，其通过设置外层导体屏蔽层，能够将2个分离的内层导体柱内传输的差分信号与周边信号进行完全隔离，从而提高差分信号特别是高速差分信号的传输性能；同时，与现有技术中的在差分对硅通孔周边制作接地通孔结构的信号隔离方式相比，本专利技术的信号隔离方式能够大幅度降低所需的半导体基片的面积。综上所述，本专利技术的同轴式差分对硅通孔结构能够在提高差分信号传输性能的同时节省半导体基片的面积。其中，所述外层绝缘层将所述外层导体屏蔽层与所述半导体硅基片之间进行了电隔离，用于防止所述外层导体屏蔽层中的电信号直接传输至半导体硅基片中。所述外层导体屏蔽层将所述内层导体柱包围在其内部，用于将差分信号的电磁能量限制在外层导体屏蔽层内部，降低差分信号的传输损耗；同时将所述2个内层导体柱传输的1对差分信号与所述外层导体屏蔽层外部的信号屏蔽隔离，防止相互之间的信号串扰。所述内层绝缘层将所述外层导体屏蔽层与所述2个内层导体柱隔离开，用于防止所述内层导体柱中的电信号直接传输至所述外层导体屏蔽层；同时，所述内层绝缘层将用于传输差分对信号的2个内层导体柱隔离开，防止2个内层导体柱之间形成电信号的直接传输。所述2个内层导体柱是相互独立的且两者之间被内层绝缘层隔离开，其用于传输1组差分信号的2路信号。具体地，本专利技术的同本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种同轴式差分对硅通孔结构，其特征在于，包括半导体硅基片，其中，在垂直于所述半导体硅基片的表面方向上开设有贯穿于所述半导体硅基片的硅通孔，所述硅通孔的内壁紧贴有外层绝缘层，所述外层绝缘层内壁紧贴有外层导体屏蔽层，所述外层导体屏蔽层内壁紧贴有内部形成有2个分离的柱状空间的内部绝缘层，所述2个分离的柱状空间内设置有2个相互分离的用于传输1对差分信号的内层导体柱。

【技术特征摘要】
1.一种同轴式差分对硅通孔结构，其特征在于，包括半导体硅基片，其中，在垂直于所述半导体硅基片的表面方向上开设有贯穿于所述半导体硅基片的硅通孔，所述硅通孔的内壁紧贴有外层绝缘层，所述外层绝缘层内壁紧贴有外层导体屏蔽层，所述外层导体屏蔽层内壁紧贴有内部形成有2个分离的柱状空间的内部绝缘层，所述2个分离的柱状空间内设置有2个相互分离的用于传输1对差分信号的内层导体柱。2.根据权利要求1所述的同轴式差分对硅通孔结构，其特征在于，所述半导体硅基片能够适合在封装内进行叠层式互连。3.根据权利要求1所述的同轴式差分对硅通孔结构，其特征在于，所述硅通孔由相互交叉的2个圆形或者椭圆形硅通孔形成。4.根据权利要求3所述的同轴式差分对硅通孔结构，其特征在于，所述2个圆形或者椭圆形硅通孔的交叉部分的半导体硅基片表面平行面内垂直于过圆心连线方向上的最大开口宽度大于所述外层绝缘层和所述外层导体屏蔽层的厚度之和，且所述2个圆形或者椭圆形硅通孔的交叉部分的半导体硅基片表面平行面内垂直于过圆心连线方向上的最大开口宽度小于所述2个圆形或者椭圆形...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟真，刘谋，张兴成，阎跃鹏，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11