用于容纳背侧气体的具有静电流体密封的静电卡盘制造技术

技术编号:14690546 阅读:81 留言:0更新日期:2017-02-23 13:06
在一个实施例中,提供一种静电卡盘,并且所述静电卡盘包括:背衬基板;以及圆盘基板,所述圆盘基板设置在所述背衬基板上,所述圆盘基板包括由外围卡紧模块包围的多个中心卡紧模块,所述外围卡紧模块具有第一电极和第二电极,所述第一电极和所述第二电极平行于彼此并基本上平行于所述圆盘基板的侧。

【技术实现步骤摘要】

本公开的实施例大体涉及一种用于控制卡紧在其上的基板温度的具有背侧气体传送装置的静电卡盘。
技术介绍
等离子体显示面板、有机发光二极管(OLED)显示器和液晶显示器(LCD)常常用于平板型显示器。LCD一般包含连接在一起的两个玻璃基板,两者之间夹有液晶材料层。玻璃基板可以是半导体基板,或者可以是透明基板,诸如,玻璃、石英、蓝宝石或清澈的塑料膜。LCD还可包含用于背光照明的发光二极管。另外,OLED显示器已吸引了对于诸如智能手机和平板计算机等设备的应用的关注。OLED是其中光发射层包括多个某些有机化合物薄膜的特殊类型的发光二极管。OLED还可用于普通空间照明。OLED显示器可能的色彩、亮度和视角的范围大于传统的显示器可能的色彩、亮度和视角的范围,因为OLED像素直接发光且不需要背光。因此,OLED显示器的能耗显著小于传统的显示器的能耗。另外,OLED可制造到柔性基板上的事实为新应用(诸如,卷绕式显示器或甚至嵌入在柔性介质中的显示器)打开了大门。在常规沉积工艺中,有机材料在竖直取向上被蒸发到基板上。典型地使用机械夹紧力将基板固持在竖直取向上。用于在传送过程中且有时在处理过程中固持基板的常规机械夹紧载体通常会由于约束基板所需的高机械夹紧力而造成基板损坏。另外,常规机械夹紧载体一般在边缘处固持基板,由此为了确保施加以牢固地固定基板的足够的夹紧力而导致与基板边缘的高度集中的物理接触。这种集中在基板边缘处的机械接触不可避免地造成接触污染或物理损坏,从而不如人意地污染基板。在竖直处理系统中,在处理过程中对基板温度的控制已经成为挑战。对基板的较差的温度控制可能导致材料沉积失败,这不可避免地导致不一致的或不如人意的基板电特性。提供到基板背侧的冷却气体可以用于有效地控制基板温度。因此,需要一种具有静电卡紧能力的基板载体,所述基板载体具有供容纳背侧气体的密封。
技术实现思路
本公开的实施例大体涉及一种用于控制卡紧在其上的基板温度的具有背侧气体传送装置的静电卡盘。在一个实施例中,提供一种静电卡盘,并且所述静电卡盘包括:背衬基板;以及圆盘基板,所述圆盘基板设置在所述背衬基板上,所述圆盘基板包括由外围卡紧模块包围的多个中心卡紧模块,所述外围卡紧模块具有第一电极和第二电极,所述第一电极和所述第二电极平行于彼此并基本上平行于所述圆盘基板的侧。在另一实施例中,提供一种基板载体,并且所述基板载体包括静电卡盘,所述静电卡盘具有:背衬基板,所述背衬基板由金属材料制成;以及圆盘基板,所述圆盘基板设置在所述背衬基板上,所述圆盘基板包括由外围卡紧模块包围的多个中心卡紧模块,所述外围卡紧模块具有第一电极和第二电极,所述第一电极和所述第二电极平行于彼此并基本上平行于所述圆盘基板的侧。在又一实施例中,提供一种用于卡紧显示基板的方法,并且所述方法包括以下步骤:提供静电卡盘,所述静电卡盘具有带有卡紧表面的圆盘基板;将所述显示基板放到所述卡紧表面上;以及通过偏置第一电极和第二电极而在所述显示基板的外围形成静电流体密封,所述第一电极和所述第二电极平行于彼此并基本上平行于所述圆盘基板的侧。附图说明因此,为了能够详细地理解本公开的上述特征结构所用方式,上文简要概述的本公开的更具体的描述可以参考实施例进行,一些实施例示出在附图中。然而,应当注意,附图仅示出本公开的典型实施例,并且因此不应视为限制本公开的范围,因为本公开可允许其他等效实施例。图1是静电卡盘的一个实施例的正视图。图2是静电卡盘沿图1的线2-2的横截面图。图3是静电卡盘的另一实施例的正视图。图4是静电卡盘沿图3的线4-4的横截面图。图5是静电卡盘的另一实施例的横截面图。图6是静电卡盘的另一实施例的局部横截面图。图7是根据一个实施例的利用如本文所述的静电卡盘的制造系统的示意性平面图。图8是沉积腔室的一个实施例的俯视横截面图为了促进理解,已尽可能使用相同的元件符号指定各图所共有的相同的元件。构想了一个实施例的元件和特征可有益地并入其他实施例,而无需进一步陈述。具体实施方式本公开的实施例大体涉及一种用于控制卡紧在其上的基板温度的具有背侧气体传送装置的静电卡盘。在一些实施例中,静电卡盘可用作适于在处理过程中将基板维持在竖直取向上的基板载体以及用作使用所述基板载体的方法。本文所公开的实施例可利用竖直沉积系统来实践,所述竖直沉积系统例如竖直CVD腔室或竖直PVD腔室,诸如,可从加利福尼亚州圣克拉拉市的应用材料公司(AppliedMaterials,Inc.,SantaClara,California)获得的改型AKTNewAristoTMTwinPVD系统。应当理解,本公开的实施例也可在其他处理系统中实践,所述其他处理系统包括非直列式系统(即,群集工具)以及由其他制造商销售的系统。还应注意,虽然本文所描述的静电卡盘对于在竖直处理系统中使用是特别有益的,但是所述静电卡盘同样适于将基板保持在非竖直取向(诸如,水平取向)上的处理系统。图1是静电卡盘100的一个实施例的正视图。在这个实施例中,静电卡盘100是双极静电卡盘。静电卡盘100具有支撑在其上的基板105(以虚线示出)。基板105可由适合于材料沉积工艺的任何材料制成。例如,基板105可由选自由以下各项组成的组中的材料制成:玻璃(例如,钠钙玻璃、硼硅玻璃等)、金属、聚合物、陶瓷、化合材料、碳纤维材料或可通过沉积工艺或蒸发工艺涂布的任何其他材料或材料的组合。基板105可以是柔性或刚性的。基板105的外周缘110可在静电卡盘100的外围115上方略微延伸。静电卡盘100可以包括一个或多个中心卡紧模块I-VI以及外围卡紧模块VII。外围卡紧模块VII包括至少第一电极120和第二电极125。第一电极120和第二电极125两者定位在静电卡盘100的外围115的略微向内的位置。第一电极120和第二电极125两者取向为在大体上平行于静电卡盘100的外围115(即,每一侧)的平面。第一电极120和第二电极125两者可以基本上平行于彼此。静电卡盘100还包括背侧气体凹槽(诸如,内部气体凹槽130和135)以及外围气体凹槽140。凹槽130、135和140可耦接到冷却/加热储槽145,所述冷却/加热储槽将温度控制流体提供到基板105的背侧BS(在图2中示出)。温度控制流体可以是适于去除热或将热提供到基板的冷却或加热流体(例如,温度调节介质)。温度控制流体可以是氩、氮、氦或一种或多种其他合适的气体。静电卡盘100还可以耦接到电压供源150,诸如,直流(DC)功率源,所述电压供源将电功率提供到第一电极120、第二电极125和中心卡紧模块I-VI中的电极(在图1中未示出)。电压供源150可用于向中心卡紧模块I-VI中的每一个中心卡紧模块的离散电极(例如,交替的正(+)和负(-)偏置电极)提供偏置电压。能以特定的序列或同时地将偏置电压施加到中心卡紧模块I-VI。例如,可通过首先致动中心卡紧模块I、II和V并接着致动中心卡紧模块II、IV和VI来从一侧到另一侧地顺序地卡紧基板105。以此方式,可净化存在于基板105与静电卡盘100的卡紧表面155之间的任何空气。在另一示例中,可通过首先致动中心卡紧模块III和IV并接着致动中心卡紧模块I-II和V-VI来从中心到边缘卡紧基板105。在这本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种静电卡盘,所述静电卡盘包括:背衬基板;以及圆盘基板,所述圆盘基板设置在所述背衬基板上,所述圆盘基板包括:多个中心卡紧模块,所述多个中心卡紧模块由外围卡紧模块包围,所述外围卡紧模块具有第一电极和第二电极,所述第一电极和所述第二电极平行于彼此,并且基本上平行于所述圆盘基板的侧。

【技术特征摘要】
2015.08.12 US 14/824,1701.一种静电卡盘,所述静电卡盘包括:背衬基板;以及圆盘基板,所述圆盘基板设置在所述背衬基板上,所述圆盘基板包括:多个中心卡紧模块,所述多个中心卡紧模块由外围卡紧模块包围,所述外围卡紧模块具有第一电极和第二电极,所述第一电极和所述第二电极平行于彼此,并且基本上平行于所述圆盘基板的侧。2.根据权利要求1所述的卡盘,其特征在于,所述圆盘基板包括用于使气体流过其中的多个凹槽。3.根据权利要求2所述的卡盘,其特征在于,所述凹槽平行于所述圆盘基板的所述侧。4.根据权利要求2所述的卡盘,其特征在于,所述多个凹槽包括平行于所述圆盘基板的所述侧的外围气体凹槽。5.根据权利要求4所述的卡盘,其特征在于,所述外围气体凹槽定位在所述第一电极和所述第二电极的向内的位置。6.根据权利要求1所述的卡盘,其特征在于,所述外围卡紧模块包括卡紧表面,所述卡紧表面设置在与所述多个中心卡紧模块的卡紧表面的平面相同的平面中。7.根据权利要求1所述的卡盘,其特征在于,所述外围卡紧模块包括卡紧表面,所述卡紧表面设置在与所述多个中心卡紧模块的卡紧表面的平面不同的平面中。8.根据权利要求1所述的卡盘,其特征在于,所述外围卡紧模块包括渐缩的卡紧表面。9.一种基板载体,所述基板载体包括:静电卡盘,所述静电卡盘包括:背衬基板,所述背衬基板由金属材料制成;以及圆盘基板,所述圆盘基板设置在所述背衬基板上,所述圆盘基板包括:多个中心卡紧模块,所述多个中心卡紧模块由外围卡紧模块包围,所述外围卡紧模块具有第一电极和第二电极,所述第一电极和所述第二电极平行于彼此并基本上平行于所述圆盘基板的侧。10...

【专利技术属性】
技术研发人员:王作乾J·M·怀特
申请(专利权)人:应用材料公司
类型:发明
国别省市:美国;US

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