晶舟制造技术

本发明专利技术公开了一种放置并保管多个基板的晶舟。在本发明专利技术涉及的晶舟中，被支撑杆支撑的基板的荷重传递至支持部件，并通过支持部件传递至前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，由此传递至晶舟的整个部位。由于基板的荷重作用于晶舟的整个部位，因此能够防止晶舟变形。并且，固定结合有对基板进行支撑的主支撑板，主支撑板上可拆卸地结合有辅助支撑板，所述辅助支撑板对尺寸比主支撑板所支撑的基板更小的基板进行支撑。因此，根据基板的尺寸，可以将基板支撑于主支撑板或辅助支撑板。即，可以使用一个晶舟支撑不同尺寸的多种基板，因此具有节约成本的效果。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种放置并保管多个基板的晶舟。
技术介绍
多个平板显示装置用基板或薄膜型太阳能电池用基板以放置并保管于晶舟的状态装载到热处理装置中，从而接受处理。但是，当放置并保管多个基板时，现有晶舟在结构上有可能发生变形。并且，现有晶舟只能放置并保管一种尺寸的基板。即，一个晶舟只能放置并保管相同尺寸的基板，为了处理另一尺寸的基板，需具备额外的晶舟，因此成本提高。
技术实现思路
所要解决的技术问题本专利技术是为了解决上述的现有技术问题而被提出的，本专利技术的目的在于，提供一种能够防止变形的晶舟。本专利技术的另一目的在于，提供一种能够放置并保管多种尺寸的基板，从而能够节约成本的晶舟。解决问题的技术方案用于实现上述目的的本专利技术涉及的晶舟呈六面体形状，上面以及下面开放，并具有前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，在内部以相互隔开间隔并且竖立的方式储存有多个基板。专利技术效果在本专利技术涉及的晶舟中，被支撑杆支撑的基板的荷重传递至支持部件，并通过支持部件传递至前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，由此传递至晶舟的整个部位。由于基板的荷重作用于晶舟的整个部位，因此能够防止晶舟变形。并且，本专利技术涉及的晶舟固定结合有对基板进行支撑的主支撑板，主支撑板可拆卸地结合有辅助支撑板，所述辅助支撑板对尺寸比被主支撑板支撑的基板更小的基板进行支撑。因此，根据基板的尺寸，可以将基板支撑于主支撑板或辅助支撑板。即，可以使用一个晶舟支撑不同尺寸的多种基板，因此，节约成本。附图说明图1是本专利技术的一实施例涉及的晶舟的立体图。图2是图1所示的晶舟的分解立体图。图3是图2所示的支持部件的局部组装放大立体图。图4是图2所示的支持部件和连接部件的局部组装放大立体图。图5是图2所示的支持部件、连接部件以及支架部件的局部组装放大立体图。图6是图5的组装主视图。图7是图2所示的支持部件、连接部件、支架部件以及扩散引导部件的局部组装放大立体图。图8是图2的局部组装放大立体图。图9是示出本专利技术的一实施例涉及的晶舟的使用状态的图8的组装立体图。图10是示出本专利技术的一实施例涉及的晶舟装载于热处理装置上的立体图。图11是本专利技术的另一实施例涉及的晶舟的局部分解立体图。图12是示出本专利技术的另一实施例涉及的晶舟的使用状态的立体图。附图标记100：晶舟110：支持部件120：连接部件140：支架部件150：扩散引导部件171：前面板173：后面板175：左侧面板177：右侧面板180：主支撑板具体实施方式后述的对于本专利技术的详细说明将参照附图，所述附图示例性地示出了能够实施本专利技术的特定实施例。将充分且详细说明这些实施例，以使本领域的技术人员能够实施本专利技术。应当理解，本专利技术的各种实施例虽然彼此不同，但并非互相排斥。例如，在此所记载的与一个实施例有关的特定形状、特定结构以及特性，在不脱离本专利技术的精神以及范围的情况下，可以通过其它实施例来实现。另外，应当理解，在不脱离本专利技术的精神以及范围的情况下，各公开的实施例中的个别构成要素的位置或者配置能够进行变更。因此，后述的详细说明并非旨在限定，本专利技术的保护范围应当以权利要求书的内容为准，并包含与权利要求所主张的内容等同的所有范围。为了方便起见，可放大表示附图所示的实施例的长度、面积、厚度以及形状。下面将参照附图对本专利技术的一实施例涉及的晶舟进行详细说明。图1是本专利技术的一实施例涉及的晶舟的立体图，图2是图1所示的晶舟的分解立体图。如图所示，本实施例涉及的晶舟100包括：支持部件110、连接部件120、支架部件140、扩散引导部件150、前面板171、后面板173、左侧面板175、右侧面板177以及主支撑板180。一对支持部件110彼此具有间隔且对置的同时相互平行，连接部件120可拆卸地结合于支持部件110，从而使一对支持部件110相互连接。支架部件140结合在支持部件110以及连接部件120上，从而支撑基板50(参照图9)。前面板171结合在支持部件110a的宽度方向的外侧面，后面板173结合在支持部件110b的宽度方向的外侧面，左侧面板175在结合于支持部件110的长度方向的左侧端面的同时结合于前面板171以及后面板173，右侧面板177在结合于支持部件110的长度方向的右侧端面的同时结合于前面板171以及后面板173。因此，基板50放置并保管于通过前面板171和后面板173和左侧面板175以及右侧面板177所形成的空间。并且，前面板171、后面板173、左侧面板175以及右侧面板177可以分别形成有用于维持气流顺畅的开放部(未图示)。左侧面板175以及右侧面板177的内表面分别结合有多个主支撑板180。即，主支撑板180的一面分别结合在左侧面板175以及右侧面板177的内表面，结合在左侧面板175上的主支撑板180的另一面以及结合在右侧面板177上的主支撑板180的另一面相互对置。并且，相互对置的主支撑板180的另一面形成有多个插入并支撑基板50的支撑槽181。因此，如图9所示，基板50的左侧面被结合于左侧面板175的主支撑板180支撑，右侧面被结合于右侧面板177的主支撑板180支撑。参照图1至图3，对支持部件110进行说明。图3是图2所示的支持部件的放大立体图。由于一对支持部件110的构成相同，因此，仅对位于前方的支持部件110a的构成进行说明。如图所示，支持部件110包括内侧支持部件111、外侧支持部件113、支持块114以及盖板116。内侧支持部件111和外侧支持部件113以彼此隔开间隔的方式结合。为此，在内侧支持部件111的外侧面形成有刚度加强用的加强块112，在加强块112突出形成有第一结合突起112a。并且，在外侧支持部件113上形成有供第一结合突起112a插入并结合的第一结合孔113a。内侧支持部件111和外侧支持部件113还可以通过紧固部件(未图示)相互结合。支持块114通过紧固部件(未图示)等，可拆卸地结合在内侧支持部件111以及外侧支持部件113的下面。支持块114与诸如地面、移送晶舟100的移送装置220(参照图10)或形成有腔室(212)的热处理装置210(参照图10)的下面等的被固定的对象物接触。由于支持块114接触到所述对象物，因此会受损或受污染。但是，由于支持块114可拆卸地结合，容易更换。因此，维护简便。相邻的支持块114之间的内侧支持部件111以及外侧支持部件113的下面形成有开放部，在所述开放部上可以可拆卸地结合连接块115，所述连接块115用于相互连接内侧支持部件111和外侧支持部件113。连接块115在用于相互连接内侧支持部件111和外侧支持部件113的同时，增强内侧支持部件111以及外侧支持部件113的刚度。连接块115的下面高于内侧支持部件111以及外侧支持部件113的下面，并且连接块115的下侧形成有空间115a。用于支撑并移送晶舟110的机器人的手臂(未图示)通过空间115a进出。盖板116结合在内侧支持部件111以及外侧支持部件113的上表面，用于相互连接内侧支持部件111和外侧支持部件113，同时增强内侧支持部件111以及外侧支持部件113的刚度。盖板116形成有被后述的支架部件140的端部贯穿的贯穿槽116a。参照图2至图4，对连接部件120进行说明。图4是图2所示的支持部件和连接部件的局部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶舟，其特征在于，呈六面体形状，上面以及下面开放，并具有前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，在内部以相互隔开间隔并且竖立的方式储存有多个基板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种晶舟，其特征在于，呈六面体形状，上面以及下面开放，并具有前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，在内部以相互隔开间隔并且竖立的方式储存有多个基板。2.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，还包括：一对支持部件，相互对置，并隔开间隔；多个连接部件，一端部可拆卸地结合于任意一个所述支持部件，另一端部可拆卸地结合于另一个所述支持部件，从而使任意一个所述支持部件以及另一个所述支持部件相互连接，所述多个连接部件通过上表面支撑基板的下端面，所述前面板结合于任意一个所述支持部件的宽度方向的外侧面，所述后面板结合于另一个所述支持部件的宽度方向的外侧面，所述左侧面板分别结合于任意一个所述支持部件以及另一个所述支持部件的长度方向的左侧端面，同时分别结合于所述前面板以及所述后面板，所述右侧面板分别结合于任意一个所述支持部件以及另一个所述支持部件的长度方向的右侧端面，同时分别结合于所述前面板以及所述后面板。3.根据权利要求2所述的晶舟，其特征在于，还包括：多个主支撑板，在上下方向隔开间隔，且一面分别结合于所述左侧面板以及所述右侧面板的内表面，另一面分别支撑所述基板的左侧部位以及右侧部位。4.根据权利要求3所述的晶舟，其特征在于，所述支持部件分别包括：内侧支持部件，结合有所述连接部件的端部；外侧支持部件，从所述内侧支持部件的外侧结合于所述内侧支持部件；多个支持块，可拆卸地结合于所述内侧支持部件以及所述外侧支持部件的下表面，并与对象物接触。5.根据权利要求4所述的晶舟，其特征在于，在所述内侧支持部件和所述外侧支持部件的上面结合有用于连接所述内侧支持部件与所述外侧支持部件的盖板。6.根据权利要求5所述的晶舟，其特征在于，在所述内侧支持部件分别结合有刚度加强用的加强块，在所述加强块突出形成有第一结合突起，在所述外侧支持部件上形成有供所述第一结合突起插入并结合的第一结合孔。7.根据权利要求6所述的晶舟，其特征在于，相邻的所述支持块之间的所述内侧支持部件以及所述外侧支持部件的下面形成有开放部，在所述开放部可拆卸地结合有用于相互连接所述内侧支持部件与所述外侧支持部件的连接块。8.根据权利要求7所述的晶舟，其特征在于，朝向所述内侧支持部件以及所述外侧支持部件的下面外侧露出的所述支持块部位的高度随着远离所述支持部件的长度方向的中心而逐渐降低。9.根据权利要求8所述的晶舟，其特征在于，多个支架部件的一端部以及另一端部分别可拆卸地支撑于任意一个所述支持部件以及另一个所述支持部件，所述多个支架部件接触并支撑所述基板的下端面。10.根据权利要求9所述的晶舟，其特征在于，在所述支架部件的一端部以及另一端部分别形成有供所述内侧支持部件可插拔地结合的第一结合槽。11.根据权利要求10所述的晶舟，其特征在于，在所述连接部件的上表面形成有供所述支架部件的中央部可插拔地结合的第二结合槽。12.根据权利要求11所述的晶舟，其特征在于，相邻的所述连接部件之间分别设置有辅助连接部件，所述辅助连接部件的一端部结合在任意一个所述支持部件的所述内侧支持部件上，另一端部结合在另一个所述支持部件的所述内侧支持部件上，从而使一对所述支持部件相互连接，所述辅助连接部件通过上表面支撑基...

【专利技术属性】
技术研发人员：李炳一，李永浩，许官善，
申请(专利权)人：泰拉半导体株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR