载具的临时保管装置以及临时保管方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供载具的临时保管装置以及临时保管方法。即便在区间台车不设置横向输送机构也增加临时保管装置所能够临时保管的载具的数量。临时保管装置在桥式行驶车与装载区之间临时保管载具。在桥式行驶车的行驶轨道下方并且装载区正上部设置区间台车的行驶轨道，使区间台车行驶。设置在区间台车的行驶轨道正下方的位置与从此处向侧方离开的位置之间自由滑动的滑动缓冲区、和控制区间台车以及滑动缓冲区的控制器，区间台车在从装载区正上部离开的位置待机。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及收纳半导体晶圆等的载具(Carrier)的临时保管。
技术介绍
为了增加半导体处理装置的运转率，请求在其装载区的附近设置临时保管装置(缓冲区)。对此申请人在专利文献1(JP2012-111635)中提出了与桥式行驶车(OHT：OverheadHoistTransport)的行驶轨道平行并且在其下方设置区间台车的行驶轨道的方案。而且，若将区间台车与桥式行驶车的双方所能够移载的缓冲区设置于区间台车的行驶轨道下方且装载区的正上方以外的部分，则例如能够设置4个缓冲区。在缓冲区的数量不足的情况下，考虑在桥式行驶车与区间台车设置载具的横向输送机构并且区间台车的行驶轨道的斜下方追加缓冲区的方案。专利文献1：JP2012-111635然而，若在区间台车设置载具的横向输送机构，则区间台车的高度增加，临时保管装置的占有体积增加。因此，需要不使区间台车的高度增加地增加能够临时保管的载具的数量。
技术实现思路
本专利技术的课题在于即便在区间台车不设置横向输送机构也能够增加临时保管装置所能够临时保管的载具的数量。本专利技术的临时保管装置在沿行驶轨道行驶的桥式行驶车与处理装置的装载区之间临时保管载具，上述临时保管装置具备：区间台车，其具备使载具升降的提升机并且自由行驶；区间台车的行驶轨道，其设置于桥式行驶车的行驶轨道下方并且装载区正上部；滑动缓冲区，其在上述区间台车的行驶轨道正下方的位置、与从上述区间台车的行驶轨道正下方朝侧方离开的位置之间自由滑动，并且自由载置载具；以及控制器，其控制上述区间台车以及上述滑动缓冲区，上述区间台车的行驶轨道从装载区正上部延长而延伸至从正上部分离的区间台车的待机位置，上述区间台车在上述待机位置待机。另外，本专利技术的载具的临时保管方法是在沿行驶轨道行驶的桥式行驶车与处理装置的装载区之间临时保管载具的方法，在该方法中，使用临时保管装置，该临时保管装置具备：区间台车，其具备使载具升降的提升机并且自由行驶；区间台车的行驶轨道，其设置于桥式行驶车的行驶轨道下方并且装载区正上部；滑动缓冲区，其在上述区间台车的行驶轨道正下方的位置且装载区正上部的位置、与从上述区间台车的行驶轨道正下方朝侧方离开的位置之间自由滑动，并且自由载置载具；以及控制器，其控制上述区间台车以及上述滑动缓冲区，上述区间台车的行驶轨道从装载区正上部延长而延伸至从正上部分离的区间台车的待机位置，利用控制器使滑动缓冲区从上述正下方的位置且装载区正上部的位置朝向向上述侧方离开的位置后退，由此使桥式行驶车或者区间台车在与装载区之间交接载具，通过控制器使滑动缓冲区从向上述侧方离开的位置朝向上述正下方的位置并且装载区正上部前进，由此使桥式行驶车或者区间台车在与滑动缓冲区之间交接载具，并且使区间台车在上述待机位置待机。虽然滑动缓冲区的数量是任意的，但使至少其中一个形成为上述正下方的位置成为装载区正上部。优选在每个装载区设置能够向其正上方位置前进的滑动缓冲区。这样的话，在能够向装载区正上部前进的位置也能够配置滑动缓冲区，从而能够增加能够临时保管载具的个数。而且，不必在区间台车设置横向输送机构。另外，由于区间台车在从装载区正上部离开的位置待机，所以即便在区间台车产生故障，也不会妨碍在装载区与桥式行驶车之间进行的载具的搬运。此外，关于滑动缓冲区，优选在区间台车的行驶轨道的单侧沿行驶方向以1列设置多个滑动缓冲区，另外优选在行驶轨道的两侧沿行驶方向以2列各设置多个滑动缓冲区。此外，在本说明书中，关于载具的临时保管装置的记载也同样适合于载具的临时保管方法。此外，也可以形成为即便从控制器向区间台车指令待机，区间台车也自发地向待机位置移动。待机位置可以仅设置于区间台车的行驶轨道的一端、或者也可以设置于两端。优选在上述区间台车的行驶轨道正下方并且从装载区正上部分离的位置，以包含上述待机位置正下方的方式设置有自由载置载具的固定缓冲区。这样的话，能够进一步增加能够临时保管载具的个数。此外，若将固定缓冲区配置于比滑动缓冲区低了载具1层大小的位置，则能够设置向固定缓冲区的上部自由前进的滑动缓冲区。另外，优选在从上述区间台车的行驶轨道正下方朝侧方离开的位置，上述滑动缓冲区上方被敞开，由此，在上述上方被敞开的位置，具备使载具升降的提升机与横向输送提升机的横向输送机构的桥式行驶车利用横向输送机构与提升机将载具自由移载于滑动缓冲区。这样的话，在具备横向输送机构的情况下，桥式行驶车能够在从区间台车的行驶轨道正下方朝侧方离开的位置将载具移载于滑动缓冲区。优选作为上述滑动缓冲区，设置向区间台车的行驶轨道的一侧自由滑动的滑动缓冲区与向另一侧自由滑动的滑动缓冲区，从而增加滑动缓冲区的数量。优选上述滑动缓冲区由基座与从基座向上述区间台车的行驶轨道正下方前进的可动台座构成，上述基座固定于从上述区间台车的行驶轨道正下方朝侧方离开的位置，还设置有对上述台座位于上述区间台车的行驶轨道正下方的情况进行检测的传感器、与对上述台座位于上述基座上的情况进行检测的传感器，上述控制器构成为，根据上述台座被检测出的位置，对桥式行驶车以及上述区间台车许可在与上述滑动缓冲区之间进行载具的移载。这样的话，能够可靠地进行在桥式行驶车以及区间台车与滑动缓冲区之间进行载具的移载。特别优选在上述台座设置有对有无载具进行检测的传感器，上述控制器构成为，根据有无载具，对桥式行驶车以及上述区间台车许可在与上述滑动缓冲区之间进行载具的移载。这样的话，能够防止欲从不具有载具的滑动缓冲区装载、欲向具有载具的滑动缓冲区卸下等错误。附图说明图1是实施例的载具的临时保管装置的俯视图。图2是实施例的载具的临时保管装置的局部带切口部的侧视图。图3是实施例的载具的临时保管装置的局部带切口部的主视图。图4是示意表示将收容能力进一步扩大的变形例的俯视图。图5是示意表示将收容能力进一步扩大的变形例的侧视图。图6是示意表示与小的处理装置对应的变形例的俯视图。图7是滑动缓冲区的俯视图。图8是区间台车的俯视图。图9是表示实施例中的区间台车与桥式行驶车的控制系统的框图。图10是表示实施例中的联锁机构的框图。图11是表示实施例中的桥式行驶车的移载算法的图。图12是表示实施例中的桥式行驶车与区间台车的干扰的避免算法的图。图13是从天花板支承载具的临时保管装置的变形例的局部带切口部的侧视图。具体实施方式以下示出用于实施本专利技术的最佳实施例。本专利技术的范围应基于权利请求书的记载并参照说明书的记载与本领域的公知技术根据本领域技术人员的理解来确定。实施例图1～图12表示实施例的载具的临时保管装置(临时保管装置)2及其变形例。临时保管装置2设置于无尘室内等，从无尘室的天花板侧支承图3所示的桥式行驶车30(OHT)的行驶轨道4。6是半导体等的处理装置，处理装置包含检查装置，具备一个至多个装载区16。另外，半导体晶圆、中间掩膜等物品收纳于FOUP(Front-OpeningUnifiedPod：前开式晶圆传送盒)等载具18而临时保管于滑动缓冲区12、固定缓冲区14并且由桥式行驶车(OHT)30与区间台车10搬运。临时保管装置2以不与人干扰的高度配置于无尘室内的通道7上。区间台车10在临时保管装置2的最上部，沿一对行驶轨道8、8在装载区16的列的正上部与处理装置6平行地行驶。在行驶轨道8、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种临时保管装置，其在沿行驶轨道行驶的桥式行驶车与处理装置的装载区之间临时保管载具，所述临时保管装置的特征在于，具备：区间台车，其具备使载具升降的提升机并且自由行驶；区间台车的行驶轨道，其设置于桥式行驶车的行驶轨道下方并且装载区正上部；滑动缓冲区，其在所述区间台车的行驶轨道正下方的位置、与从所述区间台车的行驶轨道正下方朝侧方离开的位置之间自由滑动，并且自由载置载具；以及控制器，其控制所述区间台车以及所述滑动缓冲区，所述区间台车的行驶轨道从装载区正上部延长而延伸至从正上部分离的区间台车的待机位置，所述区间台车在所述待机位置待机。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.06.19 JP 2014-1260121.一种临时保管装置，其在沿行驶轨道行驶的桥式行驶车与处理装置的装载区之间临时保管载具，所述临时保管装置的特征在于，具备：区间台车，其具备使载具升降的提升机并且自由行驶；区间台车的行驶轨道，其设置于桥式行驶车的行驶轨道下方并且装载区正上部；滑动缓冲区，其在所述区间台车的行驶轨道正下方的位置、与从所述区间台车的行驶轨道正下方朝侧方离开的位置之间自由滑动，并且自由载置载具；以及控制器，其控制所述区间台车以及所述滑动缓冲区，所述区间台车的行驶轨道从装载区正上部延长而延伸至从正上部分离的区间台车的待机位置，所述区间台车在所述待机位置待机。2.根据权利请求1所述的临时保管装置，其特征在于，设置有所述滑动缓冲区，该滑动缓冲区正下方的位置为装载区正上部。3.根据权利请求2所述的临时保管装置，其特征在于，在所述区间台车的行驶轨道正下方并且从装载区正上部分离的位置，以包含所述待机位置正下方的方式设置有自由载置载具的固定缓冲区。4.根据权利请求1～3中的任一项所述的临时保管装置，其特征在于，在从所述区间台车的行驶轨道正下方朝侧方离开的位置，所述滑动缓冲区上方被敞开，由此，在所述上方被敞开的位置，具备使载具升降的提升机与横向输送提升机的横向输送机构的桥式行驶车利用横向输送机构与提升机将载具自由移载于滑动缓冲区。5.根据权利请求1～4中的任一项所述的临时保管装置，其特征在于，作为所述滑动缓冲区，具备向所述区间台车的行驶轨道的一侧自由滑动的滑动缓冲区与向另一侧自由滑动的滑动缓冲区。6.根据权利请求1～5中的任一项所述的临时保管装置，其特征在于，所述滑动缓冲区...

【专利技术属性】
技术研发人员：高井要，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP