感光性组合物、和固化膜、液晶显示装置、有机电致发光显示装置及触摸面板的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供涂布性良好、且能够制造与层叠于固化膜上的上层的密合性优异的固化膜的感光性组合物。此外，提供固化膜、液晶显示装置、有机电致发光显示装置及触摸面板的制造方法。一种感光性组合物，其包含聚合物成分、光酸产生剂、溶剂、具有式S1所表示的结构及式S2所表示的结构的化合物S，相对于聚合物成分A100质量份，含有0.001～20质量份的化合物S。式中，波浪线表示与构成化合物S的原子团的键合位置，R1表示烷基，R2表示氢原子或烷基，L1表示单键或2价的连结基团，Rf表示具有3个以上氟原子的氟烷基，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基或羰基，R100表示氢原子、羟基或碳原子数为1～12的烷基，n表示0～30的整数。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及感光性组合物。进一步详细而言，涉及适于形成液晶显示装置、有机电致发光显示装置等图像显示装置、触摸面板、集成电路元件、固体拍摄元件等电子部件的平坦化膜、保护膜及层间绝缘膜等的感光性组合物。此外，涉及固化膜、液晶显示装置、有机电致发光显示装置、及触摸面板的制造方法。
技术介绍
在液晶显示装置、及有机电致发光显示装置等图像显示装置、及触摸面板等输入装置中，多数情况下设置有形成有图案的层间绝缘膜。在层间绝缘膜的形成中，由于用于得到所需的图案形状的工序数少、并且可以得到充分的平坦性，所以广泛使用感光性组合物。对于上述装置中的层间绝缘膜，正在尝试使用丙烯酸系树脂作为膜形成成分(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-215596号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题感光性组合物中为了提高涂布性，经常使用表面活性剂。在专利文献1中，也为了提高涂布性而使用氟系表面活性剂。然而，氟系表面活性剂有时在涂布后在涂膜的表面不均衡存在。当将使用感光性组合物而制造的固化膜作为永久膜使用时，经常在固化膜上层叠各种层。此时，若在膜表面中氟系表面活性剂不均衡存在，则有时层叠于固化膜上的上层与固化膜的密合性降低。因此，有时对固化膜的表层进行灰化处理等，从而将氟系表面活性剂不均衡存在的膜表层除去。这样，以往，有时对于固化膜需要灰化处理等工序，有时工序数增加。近年来，期望削减工序数，简化工序和抑制制造成本。因而，本专利技术的目的在于提供涂布性良好、且能够制造与层叠于固化膜上的上层的密合性优异的固化膜的感光性组合物。此外，在于提供固化膜、液晶显示装置、有机电致发光显示装置、及触摸面板的制造方法。用于解决课题的手段基于所述状况，本专利技术人进行了研究，结果发现，通过使感光性组合物中含有后述的具有式S1所表示的结构及式S2所表示的结构的化合物S，涂布性良好，并且，能够不经由灰化等工序而制造与层叠于固化膜上的上层的密合性优异的固化膜，从而完成本专利技术。即，本专利技术提供以下方案。<1>一种感光性组合物，其包含：聚合物成分A，其包含含有具有酸基被酸分解性基团保护的基团的构成单元a1的聚合物A1；产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂B；溶剂C；和具有式S1所表示的结构及式S2所表示的结构的化合物S，相对于聚合物成分A的100质量份，含有0.001～20质量份的化合物S，所述感光性组合物满足下述的a～c中的至少一个必要条件；a：聚合物A1进一步包含具有交联性基团的构成单元a2；b：聚合物成分A包含含有具有交联性基团的构成单元a2的聚合物；c：感光性组合物进一步包含具有交联性基团的分子量为1,000以下的化合物；[化学式1]式中，波浪线表示与构成化合物S的原子团的键合位置，R1表示烷基，R2表示氢原子或烷基，L1表示单键或2价的连结基团，在L1表示2价的连结基团的情况下，R1也可以与L1键合而形成环，Rf表示具有3个以上氟原子的氟烷基，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基或羰基，R100表示氢原子、羟基或碳原子数为1～12的烷基，n表示0～30的整数，当n为0时，R100表示羟基，当n为1时，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基或羰基，R100表示氢原子或碳原子数为1～6的烷基，当n为2～30时，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基，R100表示氢原子或碳原子数为1～12的烷基，多个L100可以相同，也可以不同。<2>根据<1>所述的感光性组合物，其中，化合物S为具有在侧链上具有式S1所表示的结构的构成单元S1-1和在侧链上具有式S2所表示的结构的构成单元S2-1的聚合物。<3>根据<1>或<2>所述的感光性组合物，其中，化合物S为具有式S1-2所表示的构成单元和式S2-2所表示的构成单元的聚合物；[化学式2]式中，R11表示氢原子或碳原子数为1～3的烷基，R12表示烷基，R13表示氢原子或烷基，L10表示单键或2价的连结基团，在L10表示2价的连结基团的情况下，R12也可以与L10键合而形成环，Rf表示具有3个以上氟原子的氟烷基，L101表示碳原子数为1～12的亚烷基，R101表示氢原子或碳原子数为1～12的烷基，n1表示0～30的整数，当n1为0或1时，R101表示氢原子或碳原子数为1～6的烷基，当n1为2～30时，多个L101可以相同，也可以不同。<4>根据<1>～<3>中任一项所述的感光性组合物，其中，化合物S为具有式S1-3所表示的构成单元和式S2-3所表示的构成单元的聚合物；[化学式3]式中，R21表示氢原子或碳原子数为1～3的烷基，R22表示碳原子数为1～3的烷基，R23表示氢原子，L20表示碳原子数为1～12的亚烷基，Rf1表示碳原子数为3～6的全氟烷基，R22也可以与L20键合而形成环，L201表示碳原子数为1～12的亚烷基，R201表示氢原子或碳原子数为1～6的烷基，n2表示1～20的整数，当n2为2～20时，多个L201可以相同，也可以不同。<5>根据<2>～<4>中任一项所述的感光性组合物，其中，化合物S为含有化合物S的全部构成单元的70质量％以上的构成单元S1-1和构成单元S2-1的聚合物，并且，构成单元S1-1与构成单元S2-1的质量比为构成单元S1-1：构成单元S2-1＝5：95～95：5。<6>根据<1>～<5>中任一项所述的感光性组合物，其中，化合物S的重均分子量为100～100000。<7>根据<1>～<6>中任一项所述的感光性组合物，其中，构成单元a1以式A2’表示；[化学式4]式中，R1及R2分别独立地表示氢原子、烷基或芳基，R1及R2中的至少一个为烷基或芳基，R3表示烷基或芳基，R1或R2与R3也可以连结而形成环状醚，R4表示氢原子或甲基，X表示单键或亚芳基。<8>根据<1>～<7>中任一项所述的感光性组合物，其中，交联性基团为选自环氧基及氧杂环丁烷基中的至少1种。<9>一种固化膜的制造方法，其包括以下工序：将<1>～<8>中任一项所述的感光性组合物涂布到基板上的工序；从所涂布的感光性组合物中除去溶剂的工序；将除去了溶剂的感光性组合物利用活性光线进行曝光的工序；将曝光后的感光性组合物利用显影液进行显影的工序；以及将显影后的感光性组合物进行热固化的工序。<10>一种液晶显示装置的制造方法，其包含<9>所述的固化膜的制造方法。<11>一种有机电致发光显示装置的制造方法，其包含<9>所述的固化膜的制造方法。<12>一种触摸面板的制造方法，其包含<9>所述的固化膜的制造方法。专利技术效果能够提供涂布性良好、并且能够不经由灰化等工序而制造与层叠于固化膜上的上层的密合性优异的固化膜的感光性组合物。此外，能够提供固化膜的制造方法、固化膜及装置。附图说明图1表示液晶显示装置的一个例子的构成概念图。图2是液晶显示装置的其他例子的构成概念图。图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性组合物，其包含：聚合物成分A，其包含含有具有酸基被酸分解性基团保护的基团的构成单元a1的聚合物A1；产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂B；溶剂C；和具有式S1所表示的结构及式S2所表示的结构的化合物S，相对于所述聚合物成分A的100质量份，含有0.001～20质量份的所述化合物S，所述感光性组合物满足下述的a～c中的至少一个必要条件；a：所述聚合物A1进一步包含具有交联性基团的构成单元a2；b：所述聚合物成分A包含含有具有交联性基团的构成单元a2的聚合物；c：所述感光性组合物进一步包含具有交联性基团的分子量为1,000以下的化合物；式中，波浪线表示与构成化合物S的原子团的键合位置，R1表示烷基，R2表示氢原子或烷基，L1表示单键或2价的连结基团，在L1表示2价的连结基团的情况下，R1也可以与L1键合而形成环，Rf表示具有3个以上氟原子的氟烷基，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基或羰基，R100表示氢原子、羟基或碳原子数为1～12的烷基，n表示0～30的整数，当n为0时，R100表示羟基，当n为1时，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基或羰基，R100表示氢原子或碳原子数为1～6的烷基，当n为2～30时，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基，R100表示氢原子或碳原子数为1～12的烷基，多个L100可以相同，也可以不同。...

【技术特征摘要】
2015.07.28 JP 2015-148952;2015.09.15 JP 2015-181661.一种感光性组合物，其包含：聚合物成分A，其包含含有具有酸基被酸分解性基团保护的基团的构成单元a1的聚合物A1；产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂B；溶剂C；和具有式S1所表示的结构及式S2所表示的结构的化合物S，相对于所述聚合物成分A的100质量份，含有0.001～20质量份的所述化合物S，所述感光性组合物满足下述的a～c中的至少一个必要条件；a：所述聚合物A1进一步包含具有交联性基团的构成单元a2；b：所述聚合物成分A包含含有具有交联性基团的构成单元a2的聚合物；c：所述感光性组合物进一步包含具有交联性基团的分子量为1,000以下的化合物；式中，波浪线表示与构成化合物S的原子团的键合位置，R1表示烷基，R2表示氢原子或烷基，L1表示单键或2价的连结基团，在L1表示2价的连结基团的情况下，R1也可以与L1键合而形成环，Rf表示具有3个以上氟原子的氟烷基，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基或羰基，R100表示氢原子、羟基或碳原子数为1～12的烷基，n表示0～30的整数，当n为0时，R100表示羟基，当n为1时，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基或羰基，R100表示氢原子或碳原子数为1～6的烷基，当n为2～30时，L100表示碳原子数为1～12的亚烷基，R100表示氢原子或碳原子数为1～12的烷基，多个L100可以相同，也可以不同。2.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述化合物S为具有在侧链上具有所述式S1所表示的结构的构成单元S1-1和在侧链上具有所述式S2所表示的结构的构成单元S2-1的聚合物。3.根据权利要求1或2所述的感光性组合物，其中，所述化合物S为具有式S1-2所表示的构成单元和式S2-2所表示的构成单元的聚合物；式中，R11表示氢原子或碳原子数为1～3的烷基，R12表示烷基，R13表示氢原子或烷基，L10表示单键或2价的连结基团，在L10表示2价的连结基团的情况下，R12也可以与L10键合而形成环，Rf表示具有3个以上氟原子的氟烷基，L101表示碳原子数为1～12的亚烷基，R...

【专利技术属性】
技术研发人员：真崎庆央，安藤豪，山﨑健太，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP