【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种坐标测量机的垂直度误差测量。特别是涉及一种含有或可放置影像测头的基于影像测量的Z轴垂直度误差测量装置。
技术介绍
坐标测量机是一种高效的精密测量仪器，已经广泛应用于机械制造、航空航天、电子和汽车等行业中。由于受到制造和安装工艺等条件的限制，测量机Z轴不可避免的将会存在垂直度误差。在测量过程中，这一误差将对坐标测量机的测量精度产生直接影响。因此，坐标测量机Z轴的垂直度误差测量具有重要意义。垂直度误差评价的是直线之间、平面之间或者直线与平面之间的垂直状态。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种具有通用性的Z轴垂直度误差快速检测的基于影像测量的Z轴垂直度误差测量装置。本技术所采用的技术方案是：一种用于基于影像测量的Z轴垂直度误差测量装置，包括有工作台和激光器，依次设置在激光器的激光光路上的接收靶和45°转向镜，依次设置在45°转向镜出射光路上的掩膜版和影像测量镜头，其中，所述的接收靶安装在所述工作台上并能够沿工作台移动，掩膜版和所述影像测量镜头安装在待测Z轴上，并能够沿所述待测Z轴移动。所述的45°转向镜是五棱镜或五面镜。所述的接收靶是CCD或PSD。本技术的基于影像测量的Z轴垂直度误差测量装置，针对坐标测量机中Z轴向，以工作台表面为基准，利用激光束直线度良好且光强稳定的特性，与五棱镜结合，为坐标测量机Z轴垂直度误差确立了一个理想的基准直线。在测量过程中，直接利用影像测量镜头的二维位置度判别能力，获取光斑位置进行误差评定，从而实现便捷、精准、快速地完成Z轴垂直度误差检定。附图说明图1是本技术用于基于影像测量的Z轴垂直度误差测量方法的装置...
【技术保护点】
一种基于影像测量的Z轴垂直度误差测量装置，其特征在于，包括有工作台(7)和激光器(1)，依次设置在激光器(1)的激光光路上的接收靶(2)和45°转向镜(3)，依次设置在45°转向镜(3)出射光路上的掩膜版(4)和影像测量镜头(5)，其中，所述的接收靶(2)安装在所述工作台(7)上并能够沿工作台(7)移动，掩膜版(4)和所述影像测量镜头(5)安装在待测Z轴(6)上，并能够沿所述待测Z轴(6)移动。
【技术特征摘要】
1.一种基于影像测量的Z轴垂直度误差测量装置，其特征在于，包括有工作台(7)和激光器(1)，依次设置在激光器(1)的激光光路上的接收靶(2)和45°转向镜(3)，依次设置在45°转向镜(3)出射光路上的掩膜版(4)和影像测量镜头(5)，其中，所述的接收靶(2)安装在所述工作台(7)上并能够沿工作台(7)移动，掩膜...
【专利技术属性】
技术研发人员：付鲁华，王祎雯，王仲，赵炎，文信，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：新型
国别省市：天津;12
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。