氯硅烷残液回收装置制造方法及图纸

技术编号:14655268 阅读:127 留言:0更新日期:2017-02-16 19:25
本氯硅烷残液回收装置由表面蒸发器和螺旋蒸发器两部分组成,表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通。本实用新型专利技术通过采用表面蒸发器和螺旋蒸发器两级蒸发器高温蒸发、回收氯硅烷气体的技术措施,从氯硅烷残液中回收多晶硅生产原料氯硅烷气体,实现了95%以上的高回收率,从而大大降低了多晶硅生产成本,既从作为废弃物的氯硅烷残液中回收了大量可贵的多晶硅生产原料,又解决了氯硅烷残液所造成的严重环境污染问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多晶硅生产残液泥浆状氯硅烷回收装置。
技术介绍
氯硅烷是生产多晶硅的重要原料。多晶硅生产链上某些工序会产生大量的泥浆状氯硅烷残液。由于没有有效的处理、回收手段,大量的泥浆状氯硅烷残液成为废弃之物,其中包含的有用的氯硅烷无法利用,不仅使多晶硅的生产成本很高,而且严重污染环境。
技术实现思路
鉴于目前多晶硅生产环节产生的大量泥浆状氯硅烷作为废弃物而没有有效回收、处理手段,所含的氯硅烷无法利用,不仅增加多晶硅生产成本,而且严重污染环境的现状,本技术的目的是设计一种能从废弃的氯硅烷残液中回收多晶硅生产原料氯硅烷的装置。本技术是一种氯硅烷残液回收装置,由表面蒸发器和螺旋蒸发器两部分组成,表面蒸发器包括电动机驱动装置、封头、筒壁、热媒夹套及其进、出口、残液进口、排气口、人孔、钢丝刷架、耙架及残渣出口,螺旋蒸发器包括筒体、电动机驱动装置、螺旋体、热媒夹套及其进、出口、排气口及残渣进、出口,表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通,其特征在于表面蒸发器的上部设置有一与电机转轴紧密相连的残液环形分布器,该残液环形分布器为环形凹槽,各残液进口的下部均从残液环形分布器凹槽的正上方插入。此外,本技术氯硅烷残液回收装置在表面蒸发器封头上设置有热媒控制系统控制端与封头牢固连接。该残液环形分布器与电动机转轴紧密连接,可随电动机转轴旋转。当氯硅烷残液通过各残液进口进入到残液环形分布器的凹槽内后,在重力和离心力的作用下,均匀流向表面蒸发器筒壁,形成一层均匀的液膜,从而提高了氯硅烷残液蒸发分离的效率。此外,本技术氯硅烷残液回收装置,还设置了热媒控制系统控制端,可实时采集表面蒸发器内部的温度数据,实现智能控制热媒投放量。本技术氯硅烷残液回收装置通过采用两级蒸发器高温蒸发、回收氯硅烷气体的技术措施,实现了95%以上的高回收率,大大降低了多晶硅生产成本,既从废弃物中回收了大量可贵的多晶硅生产原料,又解决了废弃氯硅烷残液所造成的严重环境污染问题。附图说明图1是本技术氯硅烷残液回收装置结构示意图。图中编号内容如下:1表面蒸发器电动机驱动装置2残液进口3热媒控制系统控制端4排气口5封头6残液环形分布器7热媒夹套出口8钢丝刷架9电动机转轴10耙架11筒壁12热媒夹套13热媒夹套进口14残渣出口15螺旋蒸发器筒体16热媒夹套出口17排气口18电动机驱动装置19热媒夹套进口20残渣出口21螺旋体22残渣进口23热媒夹套24人孔。具体实施方式实施例1如图1所示,本技术氯硅烷残液回收装置由表面蒸发器和螺旋蒸发器两大部分组成,所述的表面蒸发器由电动机驱动装置1、残液进口2、热媒控制系统控制端3、排气口4、封头5、残液环形分布器6、热媒夹套出口7、钢丝刷架8、电动机转轴9、耙架10、筒壁11、热媒夹套12、热媒夹套进口13、残渣出口14及人孔24构成,电动机转轴9自上而下贯穿表面蒸发器筒体,表面蒸发器的封头5与筒壁11焊接,残液进口2采用四个,平均分布在封头5上,排气口4、热媒控制系统控制端3、人孔24位于封头上,均与封头焊接连接,残液环形分布器6与电机转轴9紧密连接,可随电机转轴9转动,残液环形分布器6为环形凹槽,每个残液进口的下部均从残液环形分布器6凹槽的正上方插入,钢丝刷架8和耙架10分别固定在电动机转轴9上,热媒夹套12包裹在筒壁11上,热媒夹套进口13位于表面蒸发器筒壁下部,热媒夹套出口7位于表面蒸发器筒壁11上部,残渣出口14位于表面蒸发器筒体底部;所述的螺旋蒸发器由筒体15、热媒夹套出口16、排气口17、电动机驱动装置18、热媒夹套进口19、残渣出口20、螺旋体21、残渣进口22和热媒夹套23构成。热媒夹套23包裹在螺旋蒸发器筒体15上,残渣进口22位于螺旋蒸发器底部,与表面蒸发器残渣出口14采用短钢管气密连通。螺旋体21与电动机驱动装置18的转轴固连为一体,电动机的转轴自上而下贯穿螺旋蒸发器筒体,排气口17位于螺旋蒸发器筒体15上部,残渣出口20位于筒体上排气口17的下方。本实施例的氯硅烷残液回收装置通过两级蒸发器高温蒸发、回收氯硅烷气体,可从氯硅烷残液中高效回收氯硅烷达95%以上,既从废弃物中回收了大量可贵的多晶硅生产原料,又解决了氯硅烷残液造成的严重环境污染问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氯硅烷残液回收装置,由表面蒸发器和螺旋蒸发器两部分组成,表面蒸发器包括电动机驱动装置、封头、筒壁、热媒夹套及其进、出口、数个残液进口、排气口、人孔、钢丝刷架、耙架及残渣出口,螺旋蒸发器包括筒体、电动机驱动装置、螺旋体、热媒夹套及其进、出口、排气口及残渣进、出口,表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通,其特征在于表面蒸发器的上部设置有一与电机转轴(9)紧密相连的残液环形分布器(6),该残液环形分布器为环形凹槽,各残液进口(2)的下部均从残液环形分布器(6)凹槽的正上方插入。

【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷残液回收装置,由表面蒸发器和螺旋蒸发器两部分组成,表面蒸发器包括电动机驱动装置、封头、筒壁、热媒夹套及其进、出口、数个残液进口、排气口、人孔、钢丝刷架、耙架及残渣出口,螺旋蒸发器包括筒体、电动机驱动装置、螺旋体、热媒夹套及其进、出口、排气口及残渣进、出口,表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口...

【专利技术属性】
技术研发人员:王姗
申请(专利权)人:成都蜀菱科技发展有限公司
类型:新型
国别省市:四川;51

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