【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种多晶硅生产残液泥浆状氯硅烷回收装置。
技术介绍
氯硅烷是生产多晶硅的重要原料。多晶硅生产链上某些工序会产生大量的泥浆状氯硅烷残液。由于没有有效的处理、回收手段,大量的泥浆状氯硅烷残液成为废弃之物,其中包含的有用的氯硅烷无法利用,不仅使多晶硅的生产成本很高,而且严重污染环境。
技术实现思路
鉴于目前多晶硅生产环节产生的大量泥浆状氯硅烷作为废弃物而没有有效回收、处理手段,所含的氯硅烷无法利用,不仅增加多晶硅生产成本,而且严重污染环境的现状,本技术的目的是设计一种能从废弃的氯硅烷残液中回收多晶硅生产原料氯硅烷的装置。本技术是一种氯硅烷残液回收装置,由表面蒸发器和螺旋蒸发器两部分组成,表面蒸发器包括电动机驱动装置、封头、筒壁、热媒夹套及其进、出口、残液进口、排气口、人孔、钢丝刷架、耙架及残渣出口,螺旋蒸发器包括筒体、电动机驱动装置、螺旋体、热媒夹套及其进、出口、排气口及残渣进、出口,表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通,其特征在于表面蒸发器的上部设置有一与电机转轴紧密相连的残液环形分布器,该残液环形分布器为环形凹槽,各残液进口的下部均从残液环形分布器凹槽的正上方插入。此外,本技术氯硅烷残液回收装置在表面蒸发器封头上设置有热媒控制系统控制端与封头牢固连接。该残液环形分布器与电动机转轴紧密连接,可随电动机转轴旋转。当氯硅烷残液通过各残液进口进入到残液环形分布器的凹槽内后,在重力和离心力的作用下,均匀流向表面蒸发器筒壁,形成一层均匀的液膜,从而提高了氯硅烷残液蒸发分离的效率。此外,本技术氯硅烷残液回收装置,还设置了热媒控制系统控制端,可实时采集 ...
【技术保护点】
一种氯硅烷残液回收装置,由表面蒸发器和螺旋蒸发器两部分组成,表面蒸发器包括电动机驱动装置、封头、筒壁、热媒夹套及其进、出口、数个残液进口、排气口、人孔、钢丝刷架、耙架及残渣出口,螺旋蒸发器包括筒体、电动机驱动装置、螺旋体、热媒夹套及其进、出口、排气口及残渣进、出口,表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通,其特征在于表面蒸发器的上部设置有一与电机转轴(9)紧密相连的残液环形分布器(6),该残液环形分布器为环形凹槽,各残液进口(2)的下部均从残液环形分布器(6)凹槽的正上方插入。
【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷残液回收装置,由表面蒸发器和螺旋蒸发器两部分组成,表面蒸发器包括电动机驱动装置、封头、筒壁、热媒夹套及其进、出口、数个残液进口、排气口、人孔、钢丝刷架、耙架及残渣出口,螺旋蒸发器包括筒体、电动机驱动装置、螺旋体、热媒夹套及其进、出口、排气口及残渣进、出口,表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口...
【专利技术属性】
技术研发人员:王姗,
申请(专利权)人:成都蜀菱科技发展有限公司,
类型:新型
国别省市:四川;51
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