等离子体处理检测用墨液组合物及等离子体处理检测指示器制造技术

本发明专利技术提供与减压等离子体及大气压等离子体的种类或等离子体强度的大小无关，通过控制变色速度而可根据变色层的变色确认等离子体处理的完成的等离子体处理检测指示器、及用于形成该变色层的等离子体处理检测用墨液组合物。等离子体处理检测用墨液组合物，其特征在于，含有有机染料、和选自由光聚合引发剂、二氧化硅及疏水性氧化铝构成的组中的至少一种。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及等离子体处理检测用墨液组合物及使用其的等离子体处理检测指示器。予以说明，本说明书中的等离子体处理是指使用等离子体产生用气体，利用通过施加交流电压、脉冲电压、高频、微波等而产生的等离子体的等离子体处理，相当于减压等离子体及大气压等离子体这两者。
技术介绍
医院、研究所等中使用的各种器材、器具等为了进行消毒及杀菌而被实施灭菌处理。作为该灭菌处理之一，已知有等离子体处理(例如，非专利文献1的“3.3.1使用了低压力放电等离子体的灭菌试验”栏)。另外，等离子体处理不仅被用于灭菌处理，还被用于半导体元件的制造中的等离子体干式蚀刻及电子部件等被处理物的表面的等离子体清洗。就等离子体干式蚀刻而言，通常对配置于作为真空容器的反应腔室内的电极施加高频功率，将导入至反应腔室内的等离子体产生用气体进行等离子体化，高精度地蚀刻半导体晶圆。另外，等离子体清洗通过除去析出或附着于电子部件等被处理物的表面的金属氧化物、有机物、毛刺等来改善焊接性或焊料的润湿性，从而提高粘接强度，或者改善与密封树脂的密合性、润湿性。作为检测这些等离子体处理的完成的方法，已知有使用变色层在等离子体处理氛围下变色的等离子体处理检测指示器的方法。例如，在专利文献1中公开有墨液组合物以及在基材上形成有包含该墨液组合物的变色层的等离子体处理检测指示器，其中，所述墨液组合物，其特征在于，其为含有1)蒽醌系色素、偶氮系色素及酞菁系色素中的至少1种以及2)粘合剂树脂、阳离子系表面活性剂及增量剂中的至少1种的等离子体处理检测用墨液组合物，用于所述等离子体处理的等离子体产生用气体含有氧气及氮气中的至少1种。另外，在专利文献2中公开有墨液组合物以及在基材上形成有包含该墨液组合物的变色层的等离子体处理检测指示器，其中，所述墨液组合物，其特征在于，其为含有1)蒽醌系色素、偶氮系色素及次甲基系色素中的至少1种以及2)粘合剂树脂、阳离子系表面活性剂及增量剂中的至少1种的不活泼气体等离子体处理检测用墨液组合物，所述不活泼气体含有选自由氦气、氖气、氩气、氪气及氙气构成的组中的至少1种。这些等离子体处理检测指示器为通过变色层的变色而能够判断等离子体处理的完成的有用的指示器。但是，这些等离子体处理检测指示器被指出，特别是即使在减压等离子体中等离子体强度也弱的设定的情况、及通常在等离子体强度比减压等离子体弱的大气压等离子体中使用的情况下，有时变色层的变色延迟，不能准确地判断等离子体处理的完成，在变色性方面有改善的余地。因此，鉴于上述问题点，期望开发与减压等离子体及大气压等离子体的种类及等离子体强度的大小无关，可通过控制变色速度而根据变色层的变色确认等离子体处理的完成的等离子体处理检测指示器、及用于形成该变色层的等离子体处理检测用墨液组合物。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013－98196号公报专利文献2：日本特开2013－95764号公报非专利文献非专利文献1：JournalofPlasmaandFusionResearchVol.83，No.7July2007
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术的目的在于，提供与减压等离子体及大气压等离子体的种类及等离子体强度的大小无关，可通过控制变色速度而根据变色层的变色确认等离子体处理的完成的等离子体处理检测指示器、及用于形成该变色层的等离子体处理检测用墨液组合物。用于解决课题的方案本专利技术人为了实现上述目的，重复进行了深入研究，结果发现，通过采用特定组成的墨液组合物，可以实现上述目的，直至完成本专利技术。即，本专利技术涉及一种下述的等离子体处理检测用墨液组合物及等离子体处理检测指示器。1、一种等离子体处理检测用墨液组合物，其特征在于，含有有机染料、和选自由光聚合引发剂、二氧化硅及疏水性氧化铝构成的组中的至少一种。2、根据上述1所述的墨液组合物，其还含有纤维素系树脂。3、根据上述1所述的墨液组合物，其还含有聚乙烯醇缩丁醛树脂。4、根据上述1～3中任一项所述的墨液组合物，其中，所述有机染料为选自由亚硝基系染料、硝基系染料、单偶氮系染料、双偶氮系染料、三偶氮系染料、多偶氮系染料、冰染系染料(重氮组分)、冰染系染料(偶联组分)、茋系染料、类胡萝卜素系染料、二芳基甲烷系染料、三芳基甲烷系染料、呫吨系染料、吖啶系染料、喹啉系染料、次甲基系染料、噻唑系染料、吲达胺系染料、靛酚系染料、吖嗪系染料、噁嗪系染料、噻嗪系染料、硫化系染料、内酯系染料、羟基酮系染料、氨基酮系染料、蒽醌系染料、靛系染料、酞菁系染料、天然系染料及氧化系染料构成的组中的至少一种。5、根据上述1～4中任一项所述的墨液组合物，其中，所述光聚合引发剂为选自由烷基苯酮系光聚合引发剂、酰基氧化膦系光聚合引发剂、二茂钛系光聚合引发剂、苯乙酮系光聚合引发剂、二苯甲酮系光聚合引发剂、噻吨酮系光聚合引发剂、阳离子系光聚合引发剂及阴离子系光聚合引发剂构成的组中的至少一种。6、根据上述1～5中任一项所述的墨液组合物，其还含有增量剂。7、一种等离子体处理检测指示器，其包含含有上述1～6中任一项所述的墨液组合物的变色层。8、一种等离子体处理用包装体，在气体透过性包装体的内部设有上述7所述的指示器。9、根据上述8所述的包装体，其中，以从外部能够确认所述指示器的方式，在包装体的一部分设有透明窗部，。10、一种等离子体处理方法，其具有：在上述8或9所述的包装体中装填被处理物的工序、将装填有被处理物的包装体进行密封的工序、及将该包装体置于等离子体处理气氛下的工序。11、根据上述10所述的处理方法，其中，将包装体置于所述等离子体处理气氛下，直至所述指示器的变色层变色。专利技术效果本专利技术的等离子体处理检测用墨液组合物使用有机染料作为在等离子体处理气氛下变色的变色成分，而且还含有选自由光聚合引发剂、二氧化硅及疏水性氧化铝构成的组中的至少一种，由此，包含该墨液组合物的变色层在等离子体处理气氛下的变色性(变色速度)相较于现有品提高。因此，具有该变色层的等离子体处理检测指示器与减压等离子体及大气压等离子体的种类及等离子体强度的大小无关，可以通过控制变色速度而根据变色层的变色准确地确认等离子体处理的完成。具体实施方式以下，对本专利技术的等离子体处理检测用墨液组合物及等离子体处理检测指示器进行详细说明。1.等离子体处理检测用墨液组合物本专利技术的等离子体处理检测用墨液组合物(以下也简称为“墨液组合物”)，其特征在于，含有有机染料、和选自由光聚合引发剂、二氧化硅及疏水性氧化铝构成的组中的至少一种。具有上述特征的本专利技术的等离子体处理检测用墨液组合物使用有机染料作为在等离子体处理气氛下变色的变色成分，而且还含有选自由光聚合引发剂、二氧化硅及疏水性氧化铝构成的组中的至少一种，由此，包含该墨液组合物的变色层在等离子体处理气氛下的变色性(变色速度)相较于现有品提高。因此，具有该变色层的等离子体处理检测指示器与减压等离子体及大气压等离子体的种类或等离子体强度的大小无关，可通过控制变色速度，根据变色层的变色而准确地确认等离子体处理的完成。以下，对墨液组合物的各成分进行说明。等离子体处理气氛下的变色成分本专利技术的墨液组合物使用有机染料作为用于在等离子体处理气氛下检测等离子体的变色成分。有机染料通过在等离子体处理气氛下，有机染料的结构根据等离子体的作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体处理检测用墨液组合物，其特征在于，含有有机染料、和选自由光聚合引发剂、二氧化硅及疏水性氧化铝构成的组中的至少一种。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09.16 JP 2014-187548;2015.05.07 JP 2015-095241.一种等离子体处理检测用墨液组合物，其特征在于，含有有机染料、和选自由光聚合引发剂、二氧化硅及疏水性氧化铝构成的组中的至少一种。2.根据权利要求1所述的墨液组合物，其还含有纤维素系树脂。3.根据权利要求1所述的墨液组合物，其还含有聚乙烯醇缩丁醛树脂。4.根据权利要求1～3中任一项所述的墨液组合物，其中，所述有机染料为选自由亚硝基系染料、硝基系染料、单偶氮系染料、双偶氮系染料、三偶氮系染料、多偶氮系染料、冰染系染料(重氮组分)、冰染系染料(偶联组分)、茋系染料、类胡萝卜素系染料、二芳基甲烷系染料、三芳基甲烷系染料、呫吨系染料、吖啶系染料、喹啉系染料、次甲基系染料、噻唑系染料、吲达胺系染料、靛酚系染料、吖嗪系染料、噁嗪系染料、噻嗪系染料、硫化系染料、内酯系染料、羟基酮系染料、氨基酮系染料、蒽醌系染料、靛系染料、酞菁系染料、天然...

【专利技术属性】
技术研发人员：森麻里萌，作村武志，平田恭章，
申请(专利权)人：株式会社樱花彩色笔，
类型：发明
国别省市：日本;JP